DE3517729A1 - Verfahren zum herstellen von spinnduesenplatten - Google Patents
Verfahren zum herstellen von spinnduesenplattenInfo
- Publication number
- DE3517729A1 DE3517729A1 DE19853517729 DE3517729A DE3517729A1 DE 3517729 A1 DE3517729 A1 DE 3517729A1 DE 19853517729 DE19853517729 DE 19853517729 DE 3517729 A DE3517729 A DE 3517729A DE 3517729 A1 DE3517729 A1 DE 3517729A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- channels
- mold
- layer
- galvanic electrode
- galvanic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D1/00—Electroforming
- C25D1/08—Perforated or foraminous objects, e.g. sieves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/16—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass plates with holes of very small diameter, e.g. for spinning or burner nozzles
Description
Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten
nach dem Oberbegriff von Anspruch 1.
Bei der großtechnischen Herstellung von Fasern aus organischem oder
-anorganischem Material wird der Ausgangsstoff in fließfähigem Zustand durch Spinndüsenplatten gepreßt, die zahlreiche Spinndüsenkanäle
enthalten. Die Spinndüsenkanäle bestehen in den meisten Fällen aus einer Düsenkapillare, durch die das zu verspinnende Material austritt und
einem wesentlich weiteren Vorkanal, dem das zu verspinnende Material
zugeführt wird. Die im allgemeinen zylindrischen bzw. trichterförmigen
Vorkanäle können relativ leicht durch Bohren oder Stechen eingebracht werden, während das Einbringen der in vielen Fällen profilierten, z.B.
mit sternförmigem Querschnitt versehenen Düsenkapillaren aufwendigere
.Techniken,z.B. Drahterodieren oder erosives Senken erfordert.
Spinndüsenplatten sind Verschleißteile. Insbesondere Spinndüsenplatten
mit profilierten Düsenkapillaren stellen bei der bisherigen
Herstellungsweise einen nicht zu unterschätzenden Kostenfaktor
für die zu erzeugenden Faserprodukte dar. Außerdem liegt bei der
bisherigen Herstellungsweise für profilierte Düsenkapillaren die
mit tragbarem Aufwand erreichbare Grenze der kritischen Abmessungen im allgemeinen bei etwa 30 ,um. Dadurch ergeben sich Einschränkungen
bei der Konstruktion des Filaments.
Ausgehend von diesem Stand der Technik hat die vorliegende Erfindung
die Aufgabe, ein besonders wirtschaftliches Verfahren für die Massenfertigung von Spinndüsenplatten, insbesondere mit
profilierten Düsenkapillaren zu schaffen, bei dem sich die
kritischen Abmessungen von Düsenkapi11aren mit tragbarem Aufwand
auf Werte unter die mit den vorbekannten Verfahren erreichbare Grenze absenken lassen.
4 -
Zur Lösung dieser Aufgabe wird ein Verfahren gemäß Anspruch i vorgeschlagen.
Der Anspruch 2 betrifft eine bevorzugte AusfUhrungsform des Verfahrens.
Das Verfahren wird im folgenden anhand der Figuren 1 bis 9 beispielr
.haft erläutert, wobei sich die Figuren 1 bis 4 und 9 auf Anspruch 1
und die Figuren 5 bis 8 auf Anspruch 2 beziehen.
Nach Fig. 1 wird eine Formplatte 12, die den SpinndUsenkanälen entsprechende
Formkanäle 11 enthält mit einer Zuführungskanäle 13 enthaltenden Galvanikelektrode 14 so zusammengefügt, daß die· Formkanäle
.11 und die Zuführungskanäle 13 aneinander anschließen..Nach Verschließen
der Formkanäle 11 mit einer Abdeckplatte 15 werden die Formkanäle 11 JJnd
die ZufUhrungskanäle 13 unter Vakuum gemeinsam mit einem elektrisch
isolierenden Abformmaterial 22 aufgefüllt. Nach der Verfestigung des Abformmaterials werden die Abdeckplatte 15 und die Formplatte 12 ent-,fernt,
wodurch Negativformen 21 (Fig. 2) der SpinndUsenkanäle freigelegt
werden, die mit der Galvanikelektrode 14 über das in den Zufüh-·
rungskanälen 13 enthaltene Abformmaterial 22 verbunden sind. In einem Galvanikbad wird auf der Galvanikelektrode 14 eine Galvanikschicht
(Fig. 3) erzeugt, die die Negativformen 21 der SpinndUsenkanäle bündig
einschließt. Nach Einebnen der Galvanikschicht 31 und Entfernen der Negativformen 21 und des restlichen Abformmaterials 22 verbleibt entsprechend
Fig. 4 eine Spinndüsenplatte 41 mit Spinndüsenkanälen 42, die mit der Zuführungskanäle 13 enthaltenden Galvanikelektrode 14 verbunden
ist. Auf die Anwendung von Vakuum kann verzichtet werden, wenn man das Abformmaterial am Ende der DUsenkapillaren austreten läßt und
das überschüssige Abformmaterial entfernt.
Bei den meisten Anwendungen, insbesondere wenn die Spinndüsenplatte
im Betrieb größeren Druckkräften ausgesetzt werden soll, wird man die Galvanikelektrode 14 als mechanische Verstärkung im Verbund mit der
Spinndüsenplatte 41.belassen und das zu verspinnende Material durch
die ZufUhrungskanäle 13 zuführen. Selbstverständlich läßt sich die
Galvanikelektrode 14 auch entfernen, z.B. durch einfaches Auflösen,
wenn für ihre Herstellung ein Material verwendet wird, das sich in
einem Lösungsmittel auflöst, welches die Spinndüsenplatte 41 nicht angreift. Das Entfernen der Galvanikelektrode 14 gelingt auch ohne
!ihre Zerstörung durch vorsichtiges Abziehen der SpinndüsenpTatte von der Galvanikelektrode 14, wenn die Haftfestigkeit der Galvanikschicht
31 in bekannter Weise durch entsprechende Vorbehandlung, z.B. Passivierung der Galvanikelektrode 14>vermindert worden ist.
Um die zerstörungsfreie Entfernung der Galvanikelektrode zu erleichtern,
kann man auch vor dem Verfahrensschritt c) eine dünne Schicht eines leicht löslichen elektrisch leitenden Materials auf
die Galvanikelektrode aufbringen, die zur Trennung von Galvanikelektrode und Spinndüsenplatte herausgelöst wird. Umgekehrt kann
man bei Bedarf auch durch geeignete Vorbehandlung» z.B. Akti^-
vierung. der Galvanikelektrode,die spätere Haftfestigkeit der
Spinndüsenplatte auf der Galvanikelektrode erhöhen.
Die bei dem erfindungsgemä'ßen Verfahren benutzte Formplatte kann
mit den Techniken hergestellt werden, die heute zur Herstellung
von Spinndüsenplatten benutzt werden, also beispielsweise durch Einbringen von Spinndüsenkanälen in eine Metallplatte durch Drahterodieren,
erosives Senken und Bohren. Da mit Hilfe einer Formplatte
zahlreiche Spinndüsenplatten hergestellt werden können, kann bei der Herstellung der Formplatte ein höherer Aufwand in Kauf
genommen werden als bei der Herstellung von Spinndüsenplatten. Die bekannten Techniken lassen sich daher in einer aufwendigeren Form,
z.B. mit dünneren Drähten beim Drahterodieren, oder mit feineren Elektroden beim erosiven Senken anwenden. Dadurch können die kritischen
Abmessungen der Düsenkapillaren bei Bedarf mit tragbarem
Aufwand auf Werte unter die mittels den vorbekarmten Verfahren erreichbare
Grenze abgesenkt werden.
Bei besonders hohen Ansprüchen an die kritischen Abmessungen der Düsenkapillaren, ihre Querschnittsform und an das Verhältnis von
Kapillarlänge zu Kapillardurchmesser ist die Verwendung einer gemäß
Anspruch 2 hergestellten Formplatte angezeigt. Anhand der
Figuren 5 bis 8 wird ein spezielles Ausführungsbeispiel für die Herstellung der Formplatte gemäß Anspruch 2 beschrieben.
In Fig. 5 bedeutet 51 eine Galvanikelektrode, die an den für die
Düsenkapillaren vorgesehenen Positionen trichterförmige Vorkanäle 52 enthält, die mit einem leicht entfernbarem Füllmaterial 53
bündig verschlossen sind. 54 ist eine Schicht aus durch energie-.reiche
Strahlung in seinen Eigenschaften veränderbarem Material (Resistmaterial), die mit der Galvanikelektrode 51 verbunden ist.
Durch partielles Bestrahlen mit enengiereicher Strahlung 55
und partielles Entfernen des Resistmaterial unter Ausnutzung der durch die Strahlung erzeugten unterschiedlichen Materialeigenschaften
werden Negativformen 61 (Fig. 6) der Düsenkapillaren erzeugt, die mit der Galvanikelektrode 51 über das Füllmaterial 53 in Verbindung
stehen. In einem Galvanikbad wird auf der Galvanikelektrode 51 eine Galvanikschicht 71 (Fig. 7) erzeugt, die die Negativformen
61der Düsenkapillaren bündig einschließt. Nach Einebnen der Galvanikschicht
71 und Entfernen der Negativformen 61 wird im Verfahrensschritt g lediglich das Füllmaterial 53 der Galvanikelektrode 51 entfernt.
Es verbleibt eine Formplatte 81 mit aus Düsenkapillaren
S2und Vorkanälen 52 bestehenden Formkanälen (Fig. 8). Als Füllmaterial 53 kann sowohl ein elektrisch leitender als auch ein
elektrisch isolierender Stoff verwendet werden. Mit elektrisch leitendem Füllmaterial ergibt sich ein relativ scharfkantiger übergang
zwischen den DüsenkapiTiaren 82 und den Vorkanälen 52. Mit
elektrisch isolierendem Füllmaterial wird ein kontinuierlicherer übergang erzielt, wobei dieser für die praktische Anwendung im allgemeinen
günstige Effekt noch dadurch verstärkt werden kann, daß der kleinste Durchmesser der Vorkanäle deutlich größer als der
Durchmesser der DüsenkapiTiaren gewählt wird.
Als energiereiche Strahlung kommen sowohl Korpuskularstrahlen als auch elektromagnetische Wellen, insbesondere die von einem ETektronen-
synchrotron erzeugte Röntgenstrahlung (Synchrotronstrahlung) in Frage.
Während man bei der Verwendung elektromagnetischer Wellen zur Erzeugung der gewünschten Strukturen in bekannter Weise mit Masken
arbeitet, kann man bei Verwendung von Korpuskularstrahlen die Struktur auch durch elektromagnetische Steuerung erzeugen.
In manchen Fällen, z.B. wenn der Kapillarbereich der Spinndüsenplatte
aus Edelmetall hergestellt werden soll, kann es zweckmäßig sein, bei der Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, unter
Abwandlung von Fig. 1 entsprechend Fig. 9, die trichterförmigen
Vorlaufkanäle 91 in der Galvanikelektrode 92 unterzubringen. Die
dann benötigte lediglich Düsenkapillaren 93 enthaltende Formplatte
94 läßt sich ebenfalls nach Anspruch 2 herstellen, wobei eine Galvanikelektrode ohne Vorkanäle verwendet wird, die im Verfahrnsschritt
g vollständig entfernt wird.
Bei der Herstellung von Spinndüsenplatten nach dem in Fig. 1 bis
dargestellten Verfahren nach Anspruch 1 wird eine Formplatte 12 auf Nickel verwendet. Die die Zuführungskanäle 13 enthaltende
Galvanikelektrode 14 ist wie die Abdeckplatte 15 aus Edelstahl gefertigt.
Die Abdichtung zwischen der Formplatte 12 und der Abdeckplatte 15 sowie der Galvanikelektrode 14 wird durch eine Feinstbearbeitung
der entsprechenden Oberflächen sichergestellt. Als Abformmaterial
22 wird ein nicht vernetzendes Gießharz auf Methacrylat-.Basis
(Plexit M 60, Röhm GmbH, Darmstadt) verwendet, dem zur
Verringerung der Haftung auf den Formoberflächen ein internes Trennmittel
(PAT-665, Würtz GmbH & Co KG, Bingen) zugesetzt wird. Die Galvanikschicht 31 wird durch Abscheiden von Nickel auf der Galvanikelektrode
14 in einem chloridfreien Nickelsulfamatbad hergestellt.
Das Einebnen der Galvanikschicht 31 erfolgt durch Polierfräsen.
Die Negativformen 21 sowie das restliche Abformmaterial 22 werden mechanisch aus der Galvanikschicht 31 bzw. Galvanikelektrode 14 entformt,
eventuell noch vorhandene Rückstände werden in einem an-
schließenden Reinigungsschritt mit Dichlormethan aufgelöst.
Soll die Galvanikelektrode 14 nach Herstellung der Spinndüsenplatte
41 aufgelöst werden, so wird als Material Kupfer verwendet, das in einem alkalischen Ätzbad selektiv aufgelöst wird. Die zerstörungsfreie
Entfernung der Galvanikelektrode 14 wird durch Aufbringen einer
dünnen Kupferschicht auf die Galvanikelektrode erleichtert. Diese Kupferschicht wird gleichfalls in einem alkalischen Ätzbad selektiv
aufgelöst.
Zur Herstellung einer Formplatte nach dem in Fig. 5-8 dargestellten
Verfahren nach Anspruch 2 wird eine Galvanikelektrode 51 aus Edelstahl (Werkstoff Nr. 1.4301) verwendet. Die in die Galvanikelektrode
51 eingebrachten trichterförmigen Vorkanäle 52 werden mit einer Epoxide
harzmasse bündig verschlossen. Der Epoxidharzmasse wird zur. Verminderung
der Haftung auf den Oberflächen der Vorkanäle 52 ein internes Trennmittel zugesetzt, so daß in einem späteren Schritt das Füllmaterial
53 über eine Hilfsplatte, die formschlüssig mit dem Füllmaterial 53 verbunden ist, leicht aus den Vorkanälen 52 mechanisch entfernbar
ist. Die Resistschicht 54 wird durch Aufgießen eines Gießharzes
auf Methacrylat-Basis (Piexit 74, Röhm GmbH, Darmstadt) mit anschließender
Härtung hergestellt. Zur Erhöhung der Haftfestigkeit der Resistschicht 54 aus PMMA wird die Oberfläche der Galvanikelektrode
51 vor dem Aufbringen des Gießharzes durch Sandstrahlen mit Korund mit einer mittleren Körnung von 10 ,um aufgerauht. Die partielle
Bestrahlung der Resistschicht 54 erfolgt über eine Röntgenmaske mit Synchrotronstrahlung55 mit einer charakteristischen Wellenlänge
Ac= 0,2 nm. Die Röntgenmaske besteht aus einem für die Synchrotron-Strahlung
weitgehend durchlässigen Maskenträger aus ca. 20 ,um starkem Beryllium und einem für Röntgenstrahlung weitgehend undurchlässigen
Absorber aus ca. 15 ,um starkem Gold. Das partielle Entfernen des bestrahlten Resistmaterials erfolgt in bekannter Weise mit
einem flüssigen Entwickler. Bie Galvanikschich't 71 wird durch Abscheiden
von rücke! auf der Galvanikelektrode 51 in einem .chloridfreien
Nickelsulfamatbad hergestellt. Die Galvanikschicht
71 wird durch Polierfräsen eingeebnet. Durch erneutes Bestrahlen mit Synchrotronstrahlung und anschließendes
Entwickeln werden die Negativformen 61 entfernt. Das Füllmaterial
53 wird wie bereits beschrieben mechanisch aus den Vorkanälen der Galvanikelektrode 51 entfernt.
- 10 -
Claims (2)
1. Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten mit Spinndüsenkanälen
unter Verwendung einer Formplatte, die den Spinndüsenkanälen entsprechende Formkanäle enthält, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:
a) Zusammenfügen der die Formkanäle (11) enthaltenden Formplatte (12)
mit einer Zuführungskanäle (13) enthaltenden Galvanikelektrode (14),
so, daß die Formkanäle (11) und die Zuführungskanäle (13) aneinander anschließen.
b) Erzeugen von mit der Galvanikelektrode (14) verbundenen Negativformen
(21) der Spinndüsenkanäle durch gemeinsames Auffüllen der Formkanäle (11) und der Zuführungskanäle (13) mit einem elektrisch
isolierenden Abformmaterial (22)und anschließendes Entfernen der
Formplatte (12).
c) Erzeugen einer die Negativformen (21) der Spinndüsenkanäle einschließenden
Galvanikschicht (31), Einebnen dieser Galvanikschicht und Entfernen der Negativformen (21) und des restlichen Abformmaterials
(22).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Formplatte
durch folgende Verfahrensschritte hergestellt wird:
d) Verbinden einer Schicht (54) aus durch energiereiche Strahlung in
seinen Eigenschaften veränderbarem Material (Resistmaterial) mit einer Galvanikelektrode (51);
e) Erzeugen von mit der Galvanikelektrode (51) verbundenen Negativformen
(61) der Formkanäle durch partielles Bestrahlen und partielles Entfernen des Resistmaterial unter Ausnutzung der durch die Bestrahlung
erzeugten unterschiedlichen Materialeigenschaften.
f) Erzeugen einer die Negativformen (61) der Formkanäle einschließenden
Galvanikschicht (71) auf der Galvanikelektrode (51), Einebnen der
Galvanikschicht (71) und Entfernen der Negativformen(61).
g) Vollständiges oder teilweises Entfernen der Galvanikelektrode bei
Bedarf.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853517729 DE3517729A1 (de) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | Verfahren zum herstellen von spinnduesenplatten |
DE8686103640T DE3660468D1 (en) | 1985-05-17 | 1986-03-18 | Method of making spinneret plates |
AT86103640T ATE36261T1 (de) | 1985-05-17 | 1986-03-18 | Verfahren zum herstellen von spinnduesenplatten. |
EP86103640A EP0202417B1 (de) | 1985-05-17 | 1986-03-18 | Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten |
JP61110938A JPH0739060B2 (ja) | 1985-05-17 | 1986-05-16 | 紡糸口金板の製造法 |
US06/863,987 US4693791A (en) | 1985-05-17 | 1986-05-16 | Method for producing spinning nozzle plates |
CA000509365A CA1272463A (en) | 1985-05-17 | 1986-05-16 | Method for producing a spinning nozzle plate |
AU57553/86A AU580412B2 (en) | 1985-05-17 | 1986-05-19 | Method for producing a spinning nozzle plate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853517729 DE3517729A1 (de) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | Verfahren zum herstellen von spinnduesenplatten |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3517729A1 true DE3517729A1 (de) | 1986-11-20 |
DE3517729C2 DE3517729C2 (de) | 1989-03-30 |
Family
ID=6270932
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19853517729 Granted DE3517729A1 (de) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | Verfahren zum herstellen von spinnduesenplatten |
DE8686103640T Expired DE3660468D1 (en) | 1985-05-17 | 1986-03-18 | Method of making spinneret plates |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8686103640T Expired DE3660468D1 (en) | 1985-05-17 | 1986-03-18 | Method of making spinneret plates |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4693791A (de) |
EP (1) | EP0202417B1 (de) |
JP (1) | JPH0739060B2 (de) |
AT (1) | ATE36261T1 (de) |
AU (1) | AU580412B2 (de) |
CA (1) | CA1272463A (de) |
DE (2) | DE3517729A1 (de) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5189777A (en) * | 1990-12-07 | 1993-03-02 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method of producing micromachined differential pressure transducers |
US5206983A (en) * | 1991-06-24 | 1993-05-04 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method of manufacturing micromechanical devices |
US5190637A (en) * | 1992-04-24 | 1993-03-02 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Formation of microstructures by multiple level deep X-ray lithography with sacrificial metal layers |
US5378583A (en) * | 1992-12-22 | 1995-01-03 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Formation of microstructures using a preformed photoresist sheet |
US5412265A (en) * | 1993-04-05 | 1995-05-02 | Ford Motor Company | Planar micro-motor and method of fabrication |
DE4404021A1 (de) * | 1994-02-09 | 1995-08-10 | Bosch Gmbh Robert | Düsenplatte, insbesondere für Einspritzventile und Verfahren zur Herstellung einer Düsenplatte |
DE19530193A1 (de) * | 1995-08-17 | 1997-02-20 | Bosch Gmbh Robert | Düsenplatte, insbesondere für Kraftstoffeinspritzventile, und Verfahren zur Herstellung einer Düsenplatte |
US6881203B2 (en) | 2001-09-05 | 2005-04-19 | 3M Innovative Properties Company | Microneedle arrays and methods of manufacturing the same |
MXPA05000597A (es) * | 2002-07-19 | 2005-04-28 | 3M Innovative Properties Co | Dispositivos de microaguja y aparatos de administracion por microaguja. |
CN101033561B (zh) * | 2007-03-29 | 2011-01-05 | 上海交通大学 | 异形喷丝头制造方法 |
CN107988636A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-05-04 | 江苏中奕复高新科技有限公司 | 碳纤维熔纺法纺丝喷丝头组件 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3192136A (en) * | 1962-09-14 | 1965-06-29 | Sperry Rand Corp | Method of preparing precision screens |
DE1627732A1 (de) * | 1966-11-16 | 1971-04-08 | Celanese Corp | Verfahren zur Herstellung von Spinnduesen |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1288846A (fr) * | 1961-02-15 | 1962-03-30 | Perfectionnements aux procédés d'établissement de plaques perforées | |
US3506545A (en) * | 1967-02-14 | 1970-04-14 | Ibm | Method for plating conductive patterns with high resolution |
NL6901355A (de) * | 1968-01-30 | 1969-08-01 | ||
US3853715A (en) * | 1973-12-20 | 1974-12-10 | Ibm | Elimination of undercut in an anodically active metal during chemical etching |
DE3118335A1 (de) * | 1981-05-08 | 1982-11-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur galvanischen und aetztechnischen strukturierung von scheiben mit isolierenden ringzonen im muendungsbereich von bohrungen |
US4404060A (en) * | 1981-05-08 | 1983-09-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for producing insulating ring zones by galvanic and etch technologies at orifice areas of through-holes in a plate |
-
1985
- 1985-05-17 DE DE19853517729 patent/DE3517729A1/de active Granted
-
1986
- 1986-03-18 EP EP86103640A patent/EP0202417B1/de not_active Expired
- 1986-03-18 AT AT86103640T patent/ATE36261T1/de not_active IP Right Cessation
- 1986-03-18 DE DE8686103640T patent/DE3660468D1/de not_active Expired
- 1986-05-16 US US06/863,987 patent/US4693791A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-05-16 CA CA000509365A patent/CA1272463A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-05-16 JP JP61110938A patent/JPH0739060B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1986-05-19 AU AU57553/86A patent/AU580412B2/en not_active Ceased
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3192136A (en) * | 1962-09-14 | 1965-06-29 | Sperry Rand Corp | Method of preparing precision screens |
DE1627732A1 (de) * | 1966-11-16 | 1971-04-08 | Celanese Corp | Verfahren zur Herstellung von Spinnduesen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61265216A (ja) | 1986-11-25 |
EP0202417A1 (de) | 1986-11-26 |
CA1272463A (en) | 1990-08-07 |
JPH0739060B2 (ja) | 1995-05-01 |
ATE36261T1 (de) | 1988-08-15 |
EP0202417B1 (de) | 1988-08-10 |
AU580412B2 (en) | 1989-01-12 |
DE3517729C2 (de) | 1989-03-30 |
AU5755386A (en) | 1986-11-20 |
DE3660468D1 (en) | 1988-09-15 |
US4693791A (en) | 1987-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3704546C2 (de) | ||
DE3937308C1 (de) | ||
EP0209651B1 (de) | Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten | |
EP0202417B1 (de) | Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten | |
DE3321139C2 (de) | Befestigungselement zum Befestigen eines Zahnersatzes | |
DE4024275A1 (de) | Verfahren zur herstellung von mikrostrukturen mit bereichsweise unterschiedlicher strukturhoehe | |
EP0202416B1 (de) | Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten | |
DE2920499C2 (de) | Verfahren zum Herstellen von Kanalplatten für pneumatische oder hydraulische Geräte | |
DE3735558C2 (de) | ||
DE19535666C2 (de) | Verfahren zur Erzeugung einer Feinkeramikstruktur | |
EP0539671B1 (de) | Verfahren zum Bearbeiten eines mit Mikrovertiefungen versehenen Kunststoff-Halbzeugs | |
EP0305318A1 (de) | Verfahren zum Ausbilden von Tintenkanälen in einem Schreibkopf für eine Tintenmosaikschreibeinrichtung | |
EP0154797B1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Vielkanalplatten und deren Verwendung | |
EP0618502B1 (de) | Verfahren zum Herstellen gestufter Formeinsätze, gestufte Formeinsätze und damit abgeformte gestufte Mikrostrukturkörper hoher Präzision | |
DE3631804A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von mikrofiltern, sowie hiernach hergestelltes mikrofilter | |
EP1740741A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines grünkörpers | |
DE19518994C1 (de) | Formkörper aus Verbundwerkstoff, insbesondere Implantat und Verfahren zu dessen Herstellung | |
WO2005102593A1 (de) | Verfahren zur direktstrukturierung eines formelementes für die herstellung von faservliesen | |
DD139402B1 (de) | Verfahren zur herstellung von mikrobohrungen in duennwandige,saeulenfoermige hohlkoerper | |
DE19709137A1 (de) | Verfahren zur Herstellung und Magazinierung mindestens eines metallischen Mikrobauteils | |
DE1690007B2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines kappenisolators fuer elektrische hochspannungsleitungen | |
EP0305317A1 (de) | Verfahren zum Ausbilden von Tintenkanälen in einem Schreibkopf für eine Tintenmosaikschreibeinrichtung | |
DE102017223870A1 (de) | Verfahren zum Herstellen einer verlorenen Form für ein Gussbauteil und Verfahren zum Herstellen eines Gussbauteils mittels einer verlorenen Form | |
EP1590101A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum entfernen von vernetzten polymeren aus metallstrukturen | |
DE1212815B (de) | Verfahren zur galvanoplastischen Herstellung eines Metallgitters |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: C25D 1/08 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |