DE3047513C2

DE3047513C2 -

Info

Publication number: DE3047513C2
Application number: DE3047513A
Authority: DE
Inventors: George L. Lafayette Calif. Us Coad; Raymond Howard Palo Alto Calif. Us Shaw; Martin Albert Sunnyvale Calif. Us Hutchinson
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1979-12-21
Filing date: 1980-12-17
Publication date: 1990-03-29
Also published as: JPH0159352B2; US4311427A; JPS56100440A; JPS614188B2; NL8006934A; IT1134852B; IT8026865A0; JPS6063947A; FR2473022A1; DE3047513A1; GB2066570B; GB2066570A; CH652376A5; GB2135120B; GB2135120A; FR2473022B1; GB8328038D0; GB8400423D0

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beschickung von Mikroplättchen mittels einer Schleuse zu einer Vakuumkammer mit einer Eingangswandöffnung und einer Tür zum Verschließen der Öffnung.

Bei der Herstellung elektronischer Mikroschaltkreise oder Schaltungselemente wird von bekannten Verfahren zum Beschichten, Maskieren und Einführen von Verunreinigungen Gebrauch gemacht. Bei der dabei erforderlichen Handhabung der Mikroplättchen muß beachtet werden, daß diese sehr zerbrechlich sind und leicht beschädigt werden können, da sie nur eine Dicke in der Größenordnung von etwa 0,25 bis etwa 0,5 mm aufweisen und einen größten Durchmesser von etwa 50 bis etwa 125 mm haben.

Die Flachseiten der Mikroplättchen sind auf Hochglanz poliert und können für die Herstellung der betreffenden Vorrichtungen unbrauchbar werden, wenn eine Verunreinigung, ein Zerkratzen oder dergleichen erfolgt. Daher müssen von Anfang an besondere Vorsichtsmaßnahmen zur Handhabung der Plättchen getroffen werden, und hierbei ist es erwünscht, ein Erfassen der Plättchen mit der Hand während des Transports möglichst zu vermeiden. Da die Plättchen eine große Anzahl von Behandlungsstationen durchlaufen, die z. B. dazu dienen, die vorstehend genannten Behandlungsverfahren durchzuführen, nimmt der Wert der Plättchen ständig zu, so daß es immer wichtiger wird, jede Beschädigung und Verunreinigung zu vermeiden; gleichzeitig wird die Gefahr einer Beschädigung ständig größer.

Bis jetzt werden zur Handhabung der Plättchen Pinzetten und mit Unterdruck beaufschlagte Trageinrichtungen verwendet; hierdurch ließ sich bestenfalls eine Berührung mit der Hand weitgehend vermeiden. Ferner wurde versucht, die Handhabung der Plättchen dadurch mehr oder weniger weitgehend zu automatisieren, daß man zum Hindurchführen der Plättchen durch die Behandlungsstationen die verschiedensten Einrichtungen benutzte, z. B. Drehtische, Tragschlitten oder Platten mit endlosen Förderbändern, lineare Luftlager oder Führungen, schwingende Führungen und mit dem Hand des Plättchens zusammenarbeitende Klammern der verschiedensten Art. Bei diesen bekannten Vorrichtungen werden die Plättchen entweder chargenweise jeweils an einer Station behandelt, oder es erfolgt eine Behandlung jeweils eines einzelnen Plättchens an einer bestimmten Station. Zwar ergeben sich hierbei in bestimmten Anwendungsfällen bestimmte Vorteile, doch sind viele dieser Vorrichtungen zu kompliziert, sie arbeiten nicht hinreichend zuverlässig, um eine Beschädigung und Verunreinigung zu vermeiden, sie sind mit den Transport- oder Behandlungseinrichtungen nicht kompatibel, es ist schwierig, die Plättchen einzusetzen und später wieder zu entnehmen, und sie ermöglichen es nicht ohne weiteres, die Plättchen einer Behandlungsstation zuzuführen und zu entnehmen, wenn eine Vakuumkammer benötigt wird, der eine Schleuse zum Beschicken zugeordnet ist.

Bei den chargenweise arbeitenden Vorrichtungen zum Handhaben von Mikroplättchen ergeben sich weitere Nachteile. Da jeweils eine große Anzahl von Plättchen gehandhabt wird, vergrößert sich die Gefahr einer Beschädigung oder Verunreinigung an jeder der verschiedenen Stationen oder während der Überführung von einer Station zur nächsten, und es ergeben sich Schwierigkeiten beim Beschicken und Entladen der Vorrichtungen, insbesondere dann, wenn eine vollständige Charge in eine Vakuumkammer eingeführt bzw. ihr entnommen werden muß. Andererseits ergibt sich bei der Einzelhandhabung von Mikroplättchen der Nachteil, daß eine manuelle Handhabung in einem maximalen Ausmaß erforderlich ist, insbesondere beim Beschicken und Entladen der Vorrichtungen, daß sich die Behandlung insgesamt verlangsamt und daß sich das Hindurchführen durch Beschickungsschleusen als kompliziert oder unzuverlässig erweist. Die Gefahr einer Beschädigung und Verunreinigung vergrößert sich weiter, wenn die Plättchen mehrmals Kassetten entnommen bzw. zugeführt werden müssen, wie es bei der Einzelbehandlung erforderlich ist, denn gewöhnlich erfolgt die Handhabung der einzelnen Plättchen mittels einer Zunge bzw. eines Schiebers, der von unten her in die Kassette eingeführt wird, um ein Plättchen zu erfassen, wobei die Plättchen gewöhnlich eine waagrechte Lage einnehmen. Die Verwendung von Förderbändern und Platten oder von Druckluft oder Vibrationsführungen steigert in Verbindung mit der waagrechten Anordnung der Plättchen ebenfalls die Gefahr einer Beschädigung. Außerdem muß man in Verbindung mit solchen Förderbändern, Führungen, Platten und Kassetten komplizierte Beschickungsschleusen und/oder Plättchen-Übergabeeinrichtungen vorsehen, damit die Plättchen in solche Behandlungsstationen überführt werden können, denen eine Vakuumkammer zugeordnet ist.

Eine Vorrichtung zur Beschickung von Mikroplättchen mittels einer Schleuse zu einer Vakuumkammer nach dem Stand der Technik ist durch die US-PS 34 21 765 bekannt geworden. Diese Vorrichtung sieht Führungsteile vor, die als Halteeinrichtungen für die Plättchen dienen, wenn sie durch die Schleuse bewegt werden. In nachteiliger Weise machen es diese Teile erforderlich, daß die Plättchen vom Förderer hochkant zwischen die Führungsteile eingeschoben werden müssen. Insbesondere können die Plättchen nicht elastisch am Umfang erfaßt werden, und die Gefahr einer Beschädigung und ein Abschaben der Kanten ist sehr groß. Vor allem aber ist es weiter als nachteilig anzusehen, daß nicht beide Seiten des Mikroplättchens für eine Bearbeitung voll zugänglich sind.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art verfügbar zu machen, die ein Handhaben von Mikroplättchen ermöglicht, ohne daß Beschädigungen und ein Abrieb mit damit in Zusammenhang stehenden Staubproblemen auftreten, wobei beide Seiten des Plättchens für eine Behandlung voll zugänglich sind.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung gelöst durch eine in der Vakuumkammer unmittelbar hinter der Eintrittsöffnung angeordneten, plattenähnlichen Plättchenunterstützung mit einem Ausschnitt, der in Deckung mit der Eintrittsöffnung kommt und einen größeren Durchmesser als ein Mikroplättchen aufweist, durch eine Klemmeinrichtung, die auf der Plättchenunterstützung in Abständen über den Umfang des Ausschnittes vorgesehen ist und ein Plättchen elastisch erfaßt, um es an seinem Umfang in dem Ausschnitt zu halten, durch eine Hebeeinrichtung, die ein Plättchen zur Eintrittsöffnung der Vakuumkammer anhebt, durch eine Einrichtung, die jeweils ein Plättchen erfaßt und es in Eingriff mit der Klemmeinrichtung bringt oder dieser entnimmt, und durch Dichtungen, die eine Abdichtung der Plättchenunterstützung gegenüber der Eintrittsöffnung der Kammer herbeiführen.

Mit Vorteil schlägt die Erfindung vor, daß die ein Plättchen erfassenden Einrichtungen innerhalb der Kammertür angeordnet sind und das Plättchen festhalten, während die Kammertür geschlossen ist, so daß das Plättchen in Eingriff mit der Klemmeinrichtung kommt und gleichzeitig die Eingangsöffnung der Kammer abgedichtet ist.

Dabei ist zweckmäßig vorgesehen, daß die Hebeeinrichtung jeweils ein Plättchen senkrecht nach oben zur Eintrittsöffnung der Kammer bewegt, wenn die Kammertür geöffnet ist.

In ihrer Weiterbildung schlägt die Erfindung vor, daß zu den Einrichtungen zum Erfassen eines Plättchens ein Unterdruckspannfutter gehört, das mit dem Plättchen durch Aufbringen von Unterdruck zusammenarbeitet und herausragt, um das von ihm erfaßte Plättchen in Eingriff mit der Klemmeinrichtung zu bringen und entsprechend von dieser zu entnehmen.

Dabei ist zweckmäßig das Unterdruckspannfutter konzentrisch mit der Kammertür der Eintrittsöffnung der Kammer und des Ausschnitts der Plättchenunterstützung angeordnet.

Gemäß einer Fortbildung sieht die Erfindung vor, daß die Klemmeinrichtung für jede Eintrittsöffnung zum Aufnehmen eines Plättchens mehrere Klammern umfaßt und daß zu jeder Klammer ein flacher Abschnitt gehört, der von außen nach innen in die Eintrittsöffnung in Richtung auf ihren Mittelpunkt hineinragt.

Dabei kann mit Vorteil vorgesehen sein, daß die Kammertür mit mehreren ausfahrbaren Klammerbetätigungseinrichtungen versehen ist, die jeweils einen Stift aufweisen, welcher beim Schließen der Tür in Richtung auf den flachen Abschnitt der betreffenden Kammer ausfahrbar ist, die Klammern während des Einführens bzw. Entnehmens eines Plättchens öffnet und eine Beanspruchung und Beschädigung der Ränder des Plättchens durch die Klammern verhindert.

Gemäß einer weiteren Ausbildung ist vorgesehen, daß die Kammertür mit der Kammer durch ein Gelenk verbunden ist und daß die Eintrittsöffnung und die Plättchenunterstützung stehend angeordnet sind, so daß die Tür beim Öffnen in eine Stellung kommt, in der sie sich in einer senkrechten Ebene im rechten Winkel zur Eintrittsöffnung der Kammer befindet.

Eine Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß zur Hebeeinrichtung ein senkrecht bewegbarer Schieber gehört, der mit dem Rand eines Plättchens zusammenarbeitet, das Plättchen nach oben in Nähe der Innenfläche der Kammertür bewegt und es parallel dazu anordnet.

In ihrer Fortbildung schlägt die Erfindung eine Kassette zum Bereithalten mehrerer Plättchen vor, die in Abständen parallel zueinander angeordnet sind, sowie eine Kassettenfördereinrichtung, die unterhalb der Kammertür und der Eintrittsöffnung der Kammer angeordnet ist und jeweils mit einer Kassette zusammenarbeitet, um die Kassette an der Eintrittsöffnung vorbeizubewegen, wobei die Hebeeinrichtung von unten her Zugang zur Kassette hat, jeweils ein Plättchen aus der Kassette heraushebt und zur Eintrittsöffnung der Kammer bringt.

Eine weitere Verbesserung der Erfindung besteht darin, daß die palettenähnliche Plättchenunterstützung mehrere Ausschnitte aufweist, von denen jede mit mehreren Klammern versehen ist, daß die Plättchenunterstützung bewegbar ist und nacheinander jeder Eintrittsöffnung der Kammer ein Plättchen zuführt und daß jeder Ausschnitt durch die Kammertür und die Dichtungen abgedichtet ist, um die Beschickungsschleuse abzugrenzen, so daß mehrere Plättchen in kurzen Zeitabständen nacheinander in die Kammer gelangen.

Eine Weiterbildung sieht vor, daß an der Beschickungsschleuse eine Einrichtung zum Evakuieren angeschlossen ist.

Die Erfindung soll nachstehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Beschickung von Mikroplättchen mit teilweise weggebrochenen Teilen und

Fig. 2 eine axiale Schnittansicht des Vakuumkammerbereichs der Vorrichtung nach Fig. 1 in vergrößertem Maßstab.

Die Wirkungsweise der Vorrichtung zur Beschickung von Mikroplättchen zu einer Vakuumkammer 11 ist im Zusammenhang mit der in Fig. 1 dargestellten Plättchentransportvorrichtung beschrieben, um die Vorteile und Wirkungsweise der Erfindung gut erkennbar zu machen. Zu der Plättchentransportvorrichtung nach Fig. 1 gehören als Hauptbaugruppen eine Baugruppe 1 zum Zuführen und Abführen von Kassetten, ferner Kassetten 3 und 4, die jeweils mehrere Halbleiterplättchen 5 oder andere Substrate enthalten, eine der Kammer zugeordnete Schleuse 8 zum Beschicken sowie eine Vakuumkammer 11. Allgemein gesprochen werden Kassetten, z. B. die Kassetten 3 und 4, mit Hilfe der Einrichtung 1 zum Zu- und Abführen von Kassetten in eine Lage unterhalb der Beschickungsschleuse 8 gebracht, woraufhin die Plättchen der Beschickungsschleuse 8 einzeln nacheinander zugeführt werden, um in der Vakuumkammer 11 einer Behandlung unterzogen zu werden. Bei dieser Vakuumkammer 11 kann es sich um Einrichtungen der verschiedensten Art handeln, z. B. zum Beschichten von Halbleiterplättchen, zum Ätzen von Plättchen, zum Durchführen lithografischer Arbeitsschritte, zum Glühen der Plättchen usw. Die Vakuumkammer 11 weist eine kreisrunde Eintrittsöffnung 13 auf, die einen größeren Durchmesser hat als ein zu behandelndes Plättchen, und die Beschickungsschleuse 8 ist auf die Eintrittsöffnung 13 ausgerichtet.

Die Beschickungsschleuse 8 ist mit weiteren Einzelheiten in Fig. 2 dargestellt. Die eigentliche Schleuse wird durch mehrere zusammenwirkende Elemente gebildet; hierzu gehören eine Baugruppe der Kammertür 16, die in Fig. 2 ihre geschlossene Stellung einnimmt, die Vorderwand 17 einer Vakuumkammer 11, ein runder Ausschnitt 18 in einer Plättchentragplatten-Baugruppe 20, die in der Vakuumkammer 11 kurz hinter der Eintrittsöffnung 13 parallel zur Vorderwand 17 angeordnet ist, sowie eine Druckplatte 22, die in der Kammer hinter der Plattenbaugruppe 20 angeordnet ist. Jeweils ein Plättchen 5 wird in der Beschickungsschleuse 8 und der Plattenbaugruppe innerhalb des Ausschnitts 18 auf eine noch zu erläuternde Weise festgehalten. Die Vakuumkammer 11 kann zur Durchführung bestimmter Behandlungen bei den Plättchen eine geregelte Atmosphäre enthalten, deren Druck unter dem Druck der Atmosphäre liegt. Somit kann es erwünscht sein, die Eintrittsöffnung 13 gegen die übrigen Teile der Kammer abzudichten, um in der Kammer einen Unterdruck aufrechtzuerhalten. Die Druckplatte 22 dient dazu, den Bereich der Beschickungsschleuse gegenüber dem Innenraum der Kammer abzugrenzen; zu diesem Zweck wird die Druckplatte 22 an die Plattenbaugruppe 20 und die Wand 17 der Kammer mit Hilfe eines Stößels 23 angepreßt, wobei der Bereich des Kammereingangs gegenüber den übrigen Teilen der Kammer abgedichtet wird. Sowohl die Druckplatte 22 als auch die Vorderwand 17 der Kammer ist mit O-Ringen 25 versehen, die konzentrisch zur Eintrittsöffnung 13 angeordnet sind, um eine Abdichtung in der beschriebenen Weise zu ermöglichen. Die Kammertürbaugruppe 16, die mit einem mit ihr konzentrischen O-Ring 26 versehen ist, arbeitet mit abdichtender Wirkung mit der Außenfläche der Vorderwand 17 zusammen, um die Beschickungsschleuse dadurch abzuschließen, daß sie die Eintrittsöffnung 13 nach außen abdichtet. Wie Fig. 2 zu entnehmen ist, entsteht hierdurch eine Beschickungsschleuse von ungewöhnlich geringer Bauhöhe und kleinem Rauminhalt, deren Größe gerade ausreicht, um eines der Plättchen 5 aufzunehmen. Wenn es erwünscht ist, die Beschickungsschleuse zu evakuieren, um Störungen der geregelten Atmosphäre in der Vakuumkammer 11, in der Unterdruck herrscht, möglichst weitgehend auszuschalten, so kann dies ohne Schwierigkeit geschehen, da die Beschickungsschleuse nur einen kleinen Rauminhalt hat, da keine von außen her in die Schleuse hineinragenden Plättchenunterstützungen und daher keine großen Verbindungsöffnungen zur Atmosphäre vorhanden sind, die ebenfalls evakuiert werden müßten. Eine Hilfsvakuumpumpe, die mit dem Innenraum der Beschickungsschleuse auf bekannte Weise verbunden ist, würde es dann ermöglichen, die Schleuse innerhalb kurzer Zeit im erforderlichen Ausmaß zu evakuieren.

Für die Brauchbarkeit der eine geringe Bauhöhe aufweisenden Beschickungsschleuse 8 ist die Verwendung mehrerer Klemmeinrichtungen 28 von Bedeutung, die ein Plättchen jeweils an seinem Rand erfassen, in der Schleuse angeordnet sind und dazu dienen, mit dem Plättchen elastisch zusammenzuarbeiten und es in einer aufrechten Lage zu unterstützen. Fig. 2 zeigt die Einzelheiten einer besonders vorteilhaften Anordnung solcher Klemmeinrichtungen 28, die in Abständen über den Umfang des runden Ausschnitts 18 der Plattenbaugruppe 20 verteilt sind. Diese Anordnung der Klammern ermöglicht einen ungehinderten Zugang zu beiden Flachseiten eines Plättchens 5, und zusammen mit der Plättchentragplattenbaugruppe bilden sie eine Plättchenunterstützungseinrichtung 31, die das Plättchen gegen Stöße und mechanische Beschädigungen schützt (US-Anmeldung 1 06 179).

Gemäß Fig. 1 sind vier Klemmeinrichtungen 28 in einen Haltering 29 eingebaut, der lösbar mit der Plättchenunterstützungseinrichtung 31 verbunden und konzentrisch mit dem Ausschnitt 18 der Platte verbunden ist, um eine Plättchentragplattenbaugruppe 20 zu bilden. Bei dieser Anordnung werden die Klemmeinrichtungen 28 längs des Umfangs des Ausschnitts 18 der Plättchenunterstützungseinrichtung 31 in Abständen unterstützt. Der Ausschnitt 18 hat einen größeren Durchmesser als das Plättchen 5, so daß genügend Raum zur Aufnahme der Klemmeinrichtungen 28 und eines Plättchens vorhanden ist. Der Haltering 29 hat einen U-förmigen Querschnitt, und er weist Flansche 33 und 34 auf, die sich längs des inneren bzw. äußeren Handes erstrecken; die Klemmeinrichtungen 28 sind zwischen den Flanschen 33 und 34 vertieft angeordnet.

Zu jeder Klemmeinrichtung 28 gehören ein allgemein rechteckiger Klotz 36, der aus Isoliermaterial bestehen kann, und eine langgestreckte federnde Klammer 37, welche um den Klotz 36 so herumgelegt ist, daß sie fest in ihrer Lage gehalten wird. Jede Klammer 39 weist an ihrem vom Klotz 36 abgewandten Ende einen gekrümmten Finger 38 auf, dessen Krümmungsradius so gewählt ist, daß er es ermöglicht, ein Plättchen an ihrem Rand zu erfassen. Vom Klotz 36 aus erstreckt sich ein flacher Abschnitt 39 in einer Ebene, die in kleinem Abstand von der Ebene des Ausschnitts 18 und parallel dazu verläuft. Der entgegengesetzte Abschnitt 40 der Klammer ist von dem flachen Abschnitt weg in Richtung auf die Plattenöffnung 18 unter spitzem Winkel abgewinkelt. Bei dieser Konstruktion liegen die gekrümmten, fingerartigen Abschnitte 38 der Klammern 37 auf einem Kreis, der einen etwas größeren Durchmesser hat als ein typisches Plättchen 5, und dieser Kreis liegt ebenfalls innerhalb der Ebene der Plättchenunterstütztungseinrichtung 31. Gegebenenfalls kann man das Plättchen innerhalb der Klemmeinrichtung 28 elektrisch isolieren, indem man die Klötze 36 aus Isoliermaterial herstellt.

Es ist möglich, ein Plättchen einfach dadurch in die Beschickungsschleuse einzuführen, daß man das Plättchen mit der Hand an seinem Rand oder seiner Rückseite erfaßt und es in Eingriff mit den Klemmeinrichtungen 28 bringt. Hierbei wird jedoch in einem gewissen Ausmaß eine Reibung zwischen dem Plättchen und den Abschnitten 40 der Klammern 37 hervorgerufen, damit die Klammern etwas aufgespreizt werden, um das Plättchen von den fingerartigen Abschnitten 38 aufnehmen zu lassen. Soll eine solche reibende Bewegung vermieden werden, muß man beim Einsetzen eines Plättchens 5 die Klammern 37 zuerst etwas aufspreizen, woraufhin man sie gegen den Rand des Plättchens 5 zurückfedern lassen kann, nachdem das Plättchen in die Schleuse 8 eingeführt worden ist. Zwar ist es möglich, das Plättchen 5 mit der Hand einzusetzen und die Klammern 37 manuell aufzuspreizen, doch ist es bei weitem vorzuziehen, derartige Handgriffe zu vermeiden, um jede Gefahr von Beschädigungen, Fehlern und Verunreinigungen auszuschalten. Eine vollständige automatisierte Einrichtung zum Einsetzen und Entnehmen eines Plättchens, die mit der Beschickungsschleuse 8 und der Vakuumkammer 11 zusammenarbeitet und bei der jede Handberührung vermieden wird, wird durch das Unterdruck-Spannfutter 42 und mehrere Klammerbetätigungseinrichtungen 44 der Kammertürbaugruppe 16 in Verbindung mit der damit zusammenarbeitenden Kassetten- Beschickungs- und -Entnahmeeinrichtung gebildet; hierauf wird im folgenden näher eingegangen.

Gemäß Fig. 1 ist die Kammertürbaugruppe 16 mit der Vorderwand 17 der Vakuumkammer 11 durch ein kräftiges Scharnier 45 mit senkrechter Schwenkachse verbunden, damit sich die Tür auf bekannte Weise öffnen und schließen läßt; ist die Tür vollständig geöffnet, nimmt ihre Innenfläche 47 eine senkrechte Stellung ein, und sie erstreckt sich im rechten Winkel zur Ebene der Eintrittsöffnung 13 sowie zur Plattenbaugruppe 20. In die Kammertürbaugruppe 16 ist das Unterdruckspannfutter 42 eingebaut, das sich in axialer Richtung so durch die Tür erstreckt, daß sein aktives Ende einen Bestandteil der Innenfläche der Tür 16 bildet. Das Spannfutter kann jeweils ein Plättchen 5 erfassen, das der Innenfläche 47 der Tür 16 in senkrechter Lage gegenübergestellt wird, um das Plättchen 5 beim Schließen der Tür 16 mit Hilfe von Unterdruck festzuhalten; danach wird das Spannfutter in axialer Richtung gegenüber der Innenfläche der Tür 16 ausgefahren, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, um das Plättchen in Eingriff mit den Klemmeinrichtungen 28 zu bringen. Hierauf wird das Spannfutter außer Betrieb gesetzt, um das Plättchen freizugeben, woraufhin das Spannfutter zurückgezogen wird. Danach wird das Plättchen 5 in der Vakuumkammer 11 durch die Klemmeinrichtungen 28 in seiner Lage gehalten, so daß es einer Behandlung unterzogen werden kann.

Während das Plättchen 5 mit Hilfe des Spannfutters 42 eingeführt wird, werden die Klammern 37 automatisch aufgespreizt, um jede Reibungsberührung zwischen dem Plättchen 5 und den Klammern 37 zu vermeiden. Zum Aufspreizen der Klammern 37 dienen vier in die Türbaugruppe 16 eingebaute Klammerbetätigungseinrichtungen 44. Jede dieser Einrichtungen ist so angeordnet, daß sie in Fluchtung mit einer zugehörigen Klemmeinrichtung 28 steht, wenn die Tür 16 geschlossen wird. Wie im unteren Teil der Fig. 2 gezeigt, gehören zu jeder Klammerbetätigungseinrichtung 44 ein pneumatischer Zylinder 49, ein Druckstift 50, der sich axial nach innen und außen bewegen läßt und durch den Zylinder 49 betätigt werden kann, sowie auf dem Druckstift angeordnete Dichtungen 51. Die Druckstifte 50 sind jeweils auf einen der flachen Klammerabschnitte 39 ausgerichtet, wenn die Tür 16 geschlossen ist. Bei geschlossener Tür 16 werden die Druckstifte 50 kurz vor dem Einführen eines Plättchens 5 bzw. vor dem Entnehmen desselben vorgeschoben. Durch den Druck, den der Stift 50 auf den ihm benachbarten flachen Abschnitt 39 der betreffenden Klammer ausübt, wird die Klammer 37 niedergedrückt, so daß der fingerartige Abschnitt 38 nach unten und außen geschwenkt wird. Auf diese Weise werden die Klammern 37 so aufgespreizt, daß ihre fingerartigen Abschnitte 38 das Plättchen 5 freigeben und jetzt auf einem Kreis liegen, der einen größeren Durchmesser hat als das Plättchen 5, so daß das Einführen bzw. Entnehmen eines Plättchens 5 möglich ist, ohne daß Reibungskräfte zur Wirkung kommen.

Zum Entnehmen des Plättchens 5 nach dem Abschluß seiner Behandlung werden diese Arbeitsschritte im umgekehrten Sinn ausgeführt, wobei das Spannfutter 42 erneut betätigt und die Rückseite des Plättchens wiederum mit Unterdruck beaufschlagt wird, um es zu erfassen, wobei die Klammerbetätigungseinrichtungen 44 wiederum zusammenarbeiten, um die Klammern 37 außer Eingriff mit dem Plättchen 5 zu bringen. Danach wird die Tür 16 geöffnet, wobei das Spannfutter 42 das Plättchen 5 durch Aufbringen von Unterdruck auf der Innenfläche der Tür festhält.

Handelt es sich bei der Behandlungskammer 1 um eine Vakuumkammer, wird die Druckplatte 22 vom Inneren der Kammer aus betätigt, um den Ausschnitt 18 und die Eintrittsöffnung 13 gegenüber der geregelten Atmosphäre in der Kammer 11 abzudichten. Dies geschieht immer dann, wenn die Kammertür 16 zum Einbringen oder Entnehmen eines Plättchens 5 geöffnet wird. Die Plattenbaugruppe 20 kann auch auf vorteilhafte Weise einen Bestandteil einer Plättchenbehandlungskammer mit mehreren Stationen bilden und so bewegbar sein, daß die Kammer 11 mehrere Plättchen aufnehmen kann, wenn die Plattenbaugruppe 20 mit einer entsprechenden Anzahl weiterer Öffnungen 53 versehen ist.

Ist die Türbaugruppe 16 vollständig geöffnet, kann ein Plättchen in die Beschickungsschleuse 8 eingeführt werden.

Alternativ hat sich die Tür 16 gerade geöffnet, um der Schleuse 8 ein fertiges Plättchen 5 zu entnehmen, das dann mit Hilfe des Spannfutters 42 entnommen werden muß. Die Aufgabe, jeweils ein Plättchen in die Nähe der Türbaugruppe 16 zu bringen, um die Beschickung vorzubereiten bzw. ein behandeltes Plättchen 5 zu entnehmen, wird gemäß Fig. 1 durch eine Kassetten-Beschickungs- und Entnahmebaugruppe 1 erfüllt, zu der eine Hebeeinrichtung 55 und eine Kassettenfördereinrichtung 56 für Plättchen enthaltende Kassetten gehören. Unterhalb der Eintrittsöffnung 13 und zu beiden Seiten des Eingangs ist mit der Vorderwand 17 der Kammer eine Kassettenfördereinrichtung 56 verbunden, mittels welcher Kassetten 3, 4 gemäß Fig. 1 gegenüber der Eintrittsöffnung 13 allgemein von rechts nach links bewegt werden. Die damit zusammenarbeitende Hebeeinrichtung 55 dient dazu, jeweils ein Plättchen 5 den mit Hilfe der Kassettenfördereinrichtung 56 bewegten Kassetten 3, 4 zu entnehmen und es der Arbeitsseite des Unterdruckspannfutters 42 an der Innenfläche 47 der Türbaugruppe 16 zuzuführen, bzw. dazu, ein Plättchen 5 nach dem Abschluß seiner Behandlung gegenüber der Türbaugruppe nach unten zu bewegen.

Zu der Kassettenfördereinrichtung 56 gehören zwei durch einen Querabstand getrennte parallele Schienen 58 und 59, die sich waagrecht längs der Vorderseite der Vakuumkammer 11 erstrecken. Diese Schienen dienen zum Unterstützen und Transportieren der Kassetten 3, 4, und der Abstand zwischen den Schienen 58 und 59 ist so gewählt, daß die Seitenwände der Kassetten 3, 4 die Schienen so übergreifen, daß sich die Kassetten längs der Schienen verschieben und entlang der Kassettenfördereinrichtung 56 bewegen lassen. Zum Bewegen der Kassetten dient ein Kettenantrieb 60 mit verschiedenen Führungen und Zahnradanordnungen, mittels dessen eine Rollenkette längs der Schiene 58 bewegt werden kann. Die Kette ist in gleichmäßigen Abständen mit Führungsstiften 62 versehen, die jeweils mit einem dazu passenden Ausschnitt am unteren Rand der Kassettenwand 63 nahe der Schiene 58 zusammenarbeiten. Somit wird jede Kassette veranlaßt, sich mit der gleichen Geschwindigkeit wie die Kette nach Bedarf auf die Hebeeinrichtung 55 zu bzw. von ihr wegzubewegen. Ein Schrittmotor dient dazu, die Kette 60 anzutreiben, so daß sich die Bewegung der Kassetten 3, 4 genau steuern läßt, um jeweils ein einzelnes Plättchen 5 innerhalb der Kassette genau in die Lage zu bringen, bei der mit ihm die Hebeeinrichtung 55 zusammenarbeiten kann. An den Schrittmotor und die Hebeeinrichtung 55 ist ein Speicher bekannter Art angeschlossen, in dem die Lage jedes Plättchens 5 innerhalb einer Kassette gespeichert ist. Zwar können mehrere weitere Plättchen 5 in die Vakuumkammer 11 eingeführt worden sein, wobei die Kassette nach dem Aufnehmen eines ersten Plättchens 5 mehrmals weiterbewegt wurde, doch kann man nach dem Austreten des fertiggestellten ersten Plättchens 5 den Schrittmotor die erforderliche Anzahl von Schritten in Rückwärtsrichtung ausführen lassen, um das fertige Plättchen 5 wieder in seine Ausgangslage zu bringen, woraufhin der Schrittmotor wieder in die vorherige Stellung gebracht wird, um den Beschickungsvorgang fortzusetzen.

Die Kassetten 3, 4 enthalten jeweils mehrere Plättchen 5, die in Abständen gleichachsig und parallel zueinander angeordnet sind, und sie sind an der Oberseite sowie innerhalb des größten Teils ihrer Unterseite offen, so daß die Plättchen von oben und unten zugänglich sind. Die Plättchen 5 müssen so in die Vorrichtung eingeführt werden, daß ihre vorderen Flächen, die mit Nuten, Stufen und anderen Merkmalen versehen sind, durch welche die Teile von Mikroschaltkreisen gebildet werden, von der Innenfläche 47 der geöffneten Tür 16 abgewandt sind, und daß somit die Rückseite jedes Plättchens 5 der Türbaugruppe 16 zugewandt ist. Hierdurch wird gewährleistet, daß dann, wenn das Unterdruckspannfutter 42 ein Plättchen 5 erfaßt, keine Berührung mit der Vorderseite stattfindet, auf der sich die empfindlichen Mikroschaltkreise befinden, und daß das Plättchen 5 beim Einführen in die Beschickungsschleuse 8 die richtige Lage gegenüber der Behandlungseinrichtung in der Kammer 11 einnimmt.

Die Hebeeinrichtung 55 ist unterhalb der Eintrittsöffnung 13 auf deren linker Seite angeordnet. Zu ihr gehören eine obere Führungsplatte 67, ein flacher Schieber 68 und ein mit dem unteren Ende des Schiebers gekuppelter Betätigungszylinder 69. Der Schieber 68 läßt sich nach oben und unten längs einer senkrechten Bahn bewegen, welche die Kassettenfördereinrichtung 56 zwischen den Schienen 58, 59 im rechten Winkel zur Innenfläche 47 der Tür 16 schneidet. Ein Schlitz 70 der Führungsplatte 67, der kurz unterhalb der Innenfläche der Tür liegt, wenn die Tür geöffnet ist, bildet die oberste Führung für den Schieber 68, und außerdem ist ein stehend angeordnetes Führungsteil vorhanden, das sich unterhalb der Fördereinrichtung auf den Betätigungszylinder 69 zu erstreckt und dazu beiträgt, den Schieber 68 längs seiner senkrechten Bahn zu führen. Die Breite des Schiebers 68 ist etwas geringer als der Querabstand zwischen den Schienen 58, 59 und auch kleiner als der Abstand zwischen den Hauptwänden der Kassetten 3, 4, welche die Schienen 58, 59 übergreifen. Außerdem ist die Dicke des Schiebers 68 etwas kleiner als der Abstand zwischen je zwei benachbarten Plättchen 5, die sich in den Kassetten 3, 4 befinden.

Der Schieber 68 ist an seinem oberen Ende bei 73 kreisbogenförmig abgerundet, so daß er zur Krümmung des Randes eines Plättchens 5 paßt, und außerdem weist dieses Ende eine Nut auf, die der Dicke eines Plättchens 5 angepaßt ist und dazu dient, einen Teil des Randes eines Plättchens 5 aufzunehmen. Somit erstreckt sich der Schieber 68 der Hebeeinrichtung 55 zwischen den Führungsschienen 58 und 59 hindurch, so daß er die Kassettenfördereinrichtung 56 und die Kassetten 3, 4 im rechten Winkel kreuzt, wenn der Schrittmotor und der Kettenantrieb 60 eine Kassette 3, 4 mit einem Plättchen 5 in Fluchtung mit der Bahn des Schiebers 68 bringt. Gemäß Fig. 1 sind die Kassetten 3, 4 so ausgebildet, daß die Plättchen 5 von unten her zugänglich sind und sich der Schieber 68 vollständig durch die betreffende Kassette hindurch erstrecken kann. Nachdem der Schrittmotor und die Kette 60 ein in einer Kassette enthaltenes Plättchen in Fluchtung mit der Bahn des Schiebers 68 gebracht haben, wird der Schieber zwischen den Schienen 58 und 59 nach oben bewegt, so daß er mit der Nut an seinem oberen Ende 73 ein Plättchen 5 von unten her erfaßt, um das Plättchen nach oben zu bewegen und es in eine konzentrische Lage mit der Innenfläche 47 der geöffneten Kammertür 16 zu bringen, wobei das Plättchen 5 der Kammertür 16 unmittelbar benachbart ist. Da die Plättchen 5 stehend angeordnet sind, trägt die Schwerkraft dazu bei, die Plättchen zuverlässig und doch schonend in der Nut 73 des Schiebers 68 in ihrer Lage zu halten. Eine Berührung mit der empfindlichen Vorderseite des Plättchens 5, auf der sich die Mikroschaltkreise befinden, wird hierdurch praktisch vollständig vermieden, was im Gegensatz zu typischen bekannten automatischen Handhabungsvorrichtungen steht, bei denen das Plättchen eine waagrechte Lage einnimmt. Hierdurch wird die Gefahr einer Beschädigung bzw. eines Zerkratzens des Plättchens erheblich verringert.

Nach dem Eintreffen des Plättchens 5 an der Tür 16 erfaßt das Unterdruckspannfutter 42, das sich jetzt in seiner zurückgezogenen Stellung befindet, das Plättchen 5 durch Aufbringen von Unterdruck auf seiner Rückseite. Der Schieber 68 der Hebeeinrichtung 55 wird dann längs des Führungsschlitzes 70 und gegenüber der Kassette 3 bis zu einem Punkt unterhalb der Fördereinrichtung 56 nach unten bewegt. Hierauf wird die Tür 16 geschlossen, wobei das Plättchen 5 durch das Spannfutter 42 festgehalten wird, und auf diese Weise wird das Plättchen 5 in der beschriebenen Weise in die Beschickungsschleuse 8 überführt, um in der Vakuumkammer 11 behandelt zu werden. Wenn die Kammer 11 so ausgebildet ist, daß sie vor dem Abschluß der Behandlung des Plättchens 5 mit einem weiteren Plättchen beschickt werden kann, d. h. wenn die Plattenbaugruppe 20 mit einer weiteren Öffnung 53 versehen ist, veranlassen der Schrittmotor und der Kettenantrieb 60 die Kassette 3, 4, sich um einen Schritt weiterzubewegen, damit das nächste Plättchen 5 in die richtige Lage über dem Schieber 68 gebracht wird. Hierauf bewegt sich der Schieber 68 nach oben, um dieses nächste Plättchen 5 nach oben zu der geöffneten Tür 16 zu bringen, deren Unterdruckspannfutter 42 dann das Plättchen erfaßt, um es in die Beschickungsschleuse 8 zu überführen. In der Zwischenzeit, d. h. nach Abschluß der Behandlung des ursprünglichen Plättchens 5, befindet sich das Plättchen 5 wieder in der Schleuse 8, und das Spannfutter 42 wird in Richtung auf die Rückseite des Plättchens ausgefahren, während die Tür 16 noch geschlossen ist. Die Klammerbetätigungseinrichtungen 44 drücken gleichzeitig die Klammern 37 nieder, um sie außer Eingriff mit dem Plättchen 5 zu bringen, damit das Plättchen mit Hilfe des Spannfutters 42 entnommen werden kann, woraufhin die Tür 16 geöffnet und das Plättchen 5 wieder in der Bahn des Schiebers 68 angeordnet wird. In der Zwischenzeit bewegen der Schrittmotor und die Kette 60 die Kassette 3, 4 so zurück, daß sich das ursprüngliche Plättchen 5 wieder in der Bahn des Schiebers 68 befindet. Dann wird der Schieber 68 zwischen den Schienen 58 und 59 im Schlitz 70 nach oben bewegt, um den unteren Teil des Randes des Plättchens 5 zu erfassen, woraufhin das Spannfutter 42 das Plättchen freigibt, damit der Schieber 68 das Plättchen 5 wieder nach unten bewegen kann, damit es wieder seine ursprüngliche Lage in der Kassette 3, 4, einnimmt. Dann wird die Kassette 3, 4 in eine Position vorgeschoben, die dem nächsten zu behandelnden Plättchen 5 entspricht.

Es ist erwünscht, dafür zu sorgen, daß die Plättchen 5 vor ihrem Anheben durch die Hebeeinrichtung 55 und vor dem Einbringen in die Beschickungsschleuse 8 in eine bestimmte Lage gebracht werden, so daß die üblicherweise gemäß Fig. 1 bei jedem Plättchen 5 vorhandene Führungsanflächung 75, die sich längs einer Sehne des runden Plättchens 5 erstreckt, auf die Führungsanflächungen 75 der übrigen Plättchen in der Kassette 3, 4 ausgerichtet wird. Hierdurch wird sichergestellt, daß sämtliche Plättchen 5 gegenüber der Behandlungseinrichtung in der Kammer 11 die gleiche Lage einnehmen. Wenn man dafür sorgt, daß die Führungsanflächung 75 jeweils genau eine vorbestimmte Lage einnimmt, besteht ferner Gewähr dafür, daß die Klemmeinrichtungen 28 in der Plattenbaugruppe 20 einwandfrei arbeiten, d. h. daß sie nicht zufällig eine Anflächung des Plättchens 5 anstelle eines Teils des kreisrunden Randes erfassen. Um die Plättchen 5 in dieser Weise gleichmäßig zu orientieren, sind gemäß Fig. 1 zwei parallele Rollen 76 vorhanden, die sich in der Längsrichtung zwischen den Schienen 58 und 59 erstrecken. Die Rollen 76 sind längs der Bahn der Kassetten 3, 4 kurz vor der Hebeeinrichtung 55 angeordnet, so daß die Orientierung der Plättchen 5 abgeschlossen ist, bevor die Plättchen zur Hebeeinrichtung 55 gelangen. Während sich die Kassette 3, 4 über die Rollen 76 hinwegbewegt, werden die Rollen 76 angehoben und in Berührung mit den Rändern der Plättchen 5 gebracht. Dann werden die Rollen 76 in entgegengesetzten Richtungen gedreht, wobei sie in leichter Berührung mit den runden Rändern der Plättchen 5 stehen. Die Berührung mit den sich entgegengesetzt drehenden Rollen 76 führt dazu, daß die Plättchen 5 in den Kassetten 3, 4 gedreht werden, bis sich die Anflächung 75 jedes Plättchens 5 längs einer Tangente der umlaufenden Rollen 76 erstreckt, so daß alle Plättchen eine Lage einnehmen, bei der die Anflächungen nach unten gerichtet sind, sich im untersten Teil der Kassetten 3, 4 befinden und in Fluchtung miteinander stehen. Danach werden die Rollen 76 gegenüber der Kassette 3, 4 nach unten bewegt.

Es sei bemerkt, daß es nicht unbedingt erforderlich ist, die Beschickungsschleuse 8 stehend anzuordnen. Je nach den Erfordernissen bezüglich der betreffenden Behandlungskammer 11 sind die Türbaugruppe 16, das Unterdruckspannfutter 42, die Druckplatte 22, die Plättchenunterstützungseinrichtung 31 und die Klemmeinrichtungen 28 ebenso gut geeignet, eine in einer waagrechten Ebene liegende Schleuse zu bilden. Man könnte die Türbaugruppe 16 leicht so ausbilden, daß sie von der Hebeeinrichtung 55 und der Kassettenfördereinrichtung 56 Plättchen 5 aufnimmt, die stehend angeordnet sind, daß sie jedoch jeweils ein Plättchen 5 in waagrechter Lage in die Beschickungsschleuse 8 überführt. Zu diesem Zweck müßte man die betreffenden Teile gegenüber der Kammer 11 auf entsprechende Weise anordnen. Ferner braucht die Einrichtung zum Einbringen und Entnehmen von Plättchen nicht mit einer Schleuse 8 vereinigt zu sein. Vielmehr läßt sich diese Einrichtung auf vorteilhafte Weise bei jeder Plättchenbehandlungseinrichtung verwenden, bei der Plättchen einer Kassette entnommen werden, einer Arbeitsstation zugeführt und dann wieder zur Kassette zurückgebracht werden müssen. Die Verwendung von Kassetten mit stehend angeordneten Plättchen bietet jedoch erhebliche Vorteile bezüglich Einfachheit, Zuverlässigkeit und Vermeidung von Beschädigungen und Verunreinigungen der Plättchen gegenüber den bis jetzt bekannten Einrichtungen zum Entnehmen von Plättchen aus Kassetten. Beispielsweise könnte eine solche Arbeitsstation eine einfache Plättchenprüfeinrichtung umfassen, bei der ein Plättchen durch den Schieber in senkrechter Richtung gehalten wird, während das Plättchen auf einer Seite oder beiden Seiten geprüft wird, woraufhin der Schieber 68 nach unten bewegt wird, um das geprüfte Plättchen wieder in die Kassette einzuführen und das nächste Plättchen aufzunehmen, das auf ähnliche Weise behandelt werden soll. Es sei bemerkt, daß selbst dann, wenn das Plättchen 5 nicht vom Schieber 68 getrennt wird, praktisch beide Flachseiten vollständig für eine Behandlung zugänglich sind, da das Plättchen 5 stehend angeordnet ist. Weiterhin ist es beim Zuführen der Plättchen 5 zur Kammer 11 mit Hilfe des Schiebers 68 nicht unbedingt erforderlich, die beschriebene Tür 16 vorzusehen oder die Eintrittsöffnung 13 dicht zu verschließen. Vielmehr ist es möglich, zum Abdichten der Kammer 11 eine gesonderte Tür vorzusehen. Die beschriebene Tür kann so vereinfacht werden, daß sie lediglich eine Unterstützung für das Unterdruckspannfutter 42 oder eine andere Einrichtung zum Aufnehmen von Plättchen 5 bildet, und diese Unterstützung kann gegebenenfalls mit Klemmeinrichtungen 28 versehen sein. Diese Anordnung ist insbesondere für Fälle geeignet, in denen der Eingang der Behandlungseinrichtung während der Behandlung eines Plättchens nicht dicht verschlossen zu sein braucht.

Ferner ist es möglich, ein Plättchen 5 dem Schieber 68 der Hebeeinrichtung 55 nicht mit Hilfe des Spannfutters 42 zu entnehmen, sondern eine andere Einrichtung vorzusehen. Beispielsweise kann das Plättchen 5 unmittelbar von geeigneten Klemmeinrichtungen 28 aufgenommen werden, während es noch auf dem Schieber 68 ruht. Die einzelnen Klemmeinrichtungen 28 ähneln hierbei vorzugsweise den Klammern 37, und sie werden durch Einrichtungen betätigt, die den Klammerbetätigungseinrichtungen 44 ähneln, so daß sie das Plättchen 5 am Rand elastisch erfassen, ohne daß eine Reibungsberührung stattfindet oder der Rand des Plättchens 5 beschädigt wird. In manchen Anwendungsfällen kann es erforderlich sein, das Plättchen 5 vom Schieber 68 der Hebeeinrichtung 55 mit Hilfe einer Einrichtung abzunehmen, die mit der Vorderseite des Plättchens 5 zusammenarbeitet, auf der sich die Mikroschaltkreise befinden.

Zwar könnte die Aufnahmeeinrichtung dem Unterdruckspannfutter 42 ähneln, bei dem das Plättchen 5 durch Aufbringen von Unterdruck auf eine Flachseite zuverlässig erfaßt wird, doch ist es zur Vermeidung von Beschädigungen vorzuziehen, daß die Einrichtung berührungsfrei mit der Vorderseite des Plättchens 5 zusammenarbeitet. Bei einer solchen Aufnahmeeinrichtung, die unter der Bezeichnung "Bernoulli-Luft-Aufnahmekopf" bekannt ist, wird ein Strom eines geeigneten Gases, z. B. Luft oder Stickstoff, verwendet, der zwischen dem Aufnahmekopf und der benachbarten Fläche des Plättchens 5 hindurchgeleitet wird. Um eine Verunreinigung des Plättchens 5 durch Staubteilchen und dergleichen zu vermeiden, muß das Gas vollkommen rein und vorzugsweise trocken sein.

Bezugszeichenliste:

1 Baugruppe
3, 4 Kassetten
5 Halbleiterplättchen
8 Beschickungsschleuse
11 Vakuumkammer
13 Eintrittsöffnung
16 Baugruppe der Kammertür
17 Vorderwand
18 Ausschnitt
20 Plättchentragplattenbaugruppe
22 Druckplatte
23 Stößel
25 O-Ringe
28 Klemmeinrichtungen
29 Haltering
31 Plättchenunterstützungseinrichtung
33, 34 Flansche
36 Klotz
37 federnde Klammer
38 fingerartige Abschnitte
39 Klammer, flacher Abschnitt (S. 12)
40 entgegengesetzter Abschnitt
42 Unterdruckspannfutter
44 Klammerbetätigungseinrichtungen
45 Scharnier
47 Innenfläche
49 Zylinder
50 Druckstift
51 Dichtungen
53 Öffnungen
55 Hebeeinrichtung
56 Kassettenfördereinrichtung
58, 59 Schienen
60 Kette, Kettenantrieb
62 Führungsstifte
63 Kassettenwand
67 Führungsplatte
68 Schieber
69 Betätigungszylinder
70 Führungsschlitz
73 kreisbogenförmiges, oberes Schieberende, Nut
75 Führungsanflächung
76 Rollen

Claims

1. Vorrichtung zur Beschickung von Mikroplättchen mittels einer Schleuse zu einer Vakuumkammer mit einer Eingangswandöffnung und einer Tür zum Verschließen der Öffnung, gekennzeichnet durch eine in der Vakuumkammer (11) unmittelbar hinter der Eintrittsöffnung (13) angeordneten, plattenähnlichen Plättchenunterstützung (31) mit einem Ausschnitt (18), der in Deckung mit der Eintrittsöffnung (13) kommt und einen größeren Durchmesser als ein Mikroplättchen (5) aufweist,
durch eine Klemmeinrichtung (28), die auf der Plättchenunterstützung (31) in Abständen über den Umfang des Ausschnittes (18) vorgesehen ist und ein Plättchen elastisch erfaßt, um es an seinem Umfang in dem Ausschnitt (18) zu halten,
durch eine Hebeeinrichtung (55), die ein Plättchen (5) zur Eintrittsöffnung (13) der Vakuumkammer (11) anhebt.
durch eine Einrichtung, die jeweils ein Plättchen (5) erfaßt und es in Eingriff mit der Klemmeinrichtung (37) bringt oder dieser entnimmt, und
durch Dichtungen (25), die eine Abdichtung der Plättchenunterstützung (31) gegenüber der Eintrittsöffnung (13) der Kammer (11) herbeiführen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ein Plättchen (5) erfassenden Einrichtungen (42) innerhalb der Kammertür (16) angeordnet sind und das Plättchen (5) festhalten, während die Kammertür (16) geschlossen ist, so daß das Plättchen (5) in Eingriff mit der Klemmeinrichtung (42) kommt und gleichzeitig die Eingangsöffnung (13) der Kammer (11) abgedichtet ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebeeinrichtung (55) jeweils ein Plättchen (5) senkrecht nach oben zur Eintrittsöffnung (13) der Kammer (11) bewegt, wenn die Kammertür (16) geöffnet ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zu den Einrichtungen (42) zum Erfassen eines Plättchens (5) ein Unterdruckspannfutter (42) gehört, das mit dem Plättchen (5) durch Aufbringen von Unterdruck zusammenarbeitet und herausragt, um das von ihm erfaßte Plättchen in Eingriff mit der Klemmeinrichtung (37) zu bringen und entsprechend von dieser zu entnehmen.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Unterdruckspannfutter (42) konzentrisch mit der Kammertür (16) der Eintrittsöffnung (13) der Kammer (11) und des Ausschnitts (18) der Plättchenunterstützung (31) angeordnet ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Klemmeinrichtung für jede Eintrittsöffnung (13) zum Aufnehmen eines Plättchens (5) mehrere Klammern (37) umfaßt und
daß zu jeder Klammer (37) ein flacher Abschnitt (39) gehört, der von außen nach innen in die Eintrittsöffnung (18) in Richtung auf ihren Mittelpunkt hineinragt.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammertür (16) mit mehreren ausfahrbaren Klammerbetätigungseinrichtungen (44) versehen ist, die jeweils einen Stift (50) aufweisen, welcher beim Schließen der Tür in Richtung auf den flachen Abschnitt (39) der betreffenden Kammer (37) ausfahrbar ist, die Klammern während des Einführens bzw. Entnehmens eines Plättchens (5) öffnet und eine Beanspruchung und Beschädigung der Ränder des Plättchens durch die Klammern verhindert.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kammertür (16) mit der Kammer (11) durch ein Gelenk (45) verbunden ist und
daß die Eintrittsöffnung (13) und die Plättchenunterstützung (31) stehend angeordnet sind, so daß die Tür beim Öffnen in eine Stellung kommt, in der sie sich in einer senkrechten Ebene im rechten Winkel zur Eintrittsöffnung (13) der Kammer (11) befindet.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Hebeeinrichtung (55) ein senkrecht bewegbarer Schieber (68) gehört, der mit dem Rand eines Plättchens (5) zusammenarbeitet, das Plättchen nach oben in Nähe der lnnenfläche der Kammertür (16) bewegt und es parallel dazu anordnet.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch eine Kassette (3, 4) zum Bereithalten mehrerer Plättchen (5), die in Abständen parallel zueinander angeordnet sind und durch eine Kassettenfördereinrichtung (56), die unterhalb der Kammertür (16) und der Eintrittsöffnung (13) der Kammer (11) angeordnet ist und jeweils mit einer Kassette zusammenarbeitet, um die Kassette (3, 4) an der Eintrittsöffnung vorbeizubewegen, wobei die Hebeeinrichtung (55) von unten her Zugang zur Kassette (3, 4) hat, jeweils ein Plättchen (5) aus der Kassette (3, 4) heraushebt und zur Eintrittsöffnung (13) der Kammer (11) bringt.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die palettenähnliche Plättchenunterstützung (31) mehrere Ausschnitte (18) aufweist, von denen jede mit mehreren Klammern (37) versehen ist,
daß die Plättchenunterstützung (31) bewegbar ist und nacheinander jeder Eintrittsöffnung (13) der Kammer (11) ein Plättchen (5) zuführt und
daß jeder Ausschnitt durch die Kammertür (8) und die Dichtungen (25) abgedichtet ist, um die Beschickungsschleuse (8) abzugrenzen, so daß mehrere Plättchen (5) in kurzen Zeitabständen nacheinander in die Kammer (11) gelangen.

12. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß an der Beschickungsschleuse eine Einrichtung zum Evakuieren angeschlossen ist.