DE2461651A1

DE2461651A1 - System zur zaehlung von mustern

Info

Publication number: DE2461651A1
Application number: DE19742461651
Authority: DE
Inventors: Atsushi Kawahara
Original assignee: Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1973-12-28
Filing date: 1974-12-27
Publication date: 1975-07-10
Also published as: JPS5723295B2; DE2461651C3; GB1498630A; JPS5099230A; US4000399A; DE2461651B2

Description

NIPPON KOGAKU K. K.

2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan

System zur Zählung von Mustern

Die Erfindung betrifft ein System zur Zählung von Mustern mittels einer binären Abbildung, die durch Abtasten von parallelen Abtastzeilen und Aufteilen der nten Abtastzeile dieser Abtastzeilen in K Abschnitte erhalten wird.

Allgemein bezieht sich die vorliegende Erfindung auf

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TELEFON (089)22 28 62

TELEX 05-29 38O

TELEGRAMME MONAPAT

ein System, mit dem ein Bild durch Zeilenabtastung in elektrische Signale umgewandelt werden kann und die elektrischen Signale verglichen werden, die sich aus zwei zeitlich sequentiellen oder räumlich benachbarten Abtastzeilen ergeben, um dadurch die Zahl der Muster oder Strukturen in dem Bild zu zählen.

Ein solches System nach der vorliegenden Erfindung laßt sich beispielsweise dazu verwenden, transparente Kunststoffbälle zu zählen, die so aussehen, also ob sich Poren in ihren Mustern oder Strukturen befinden würden, wenn man sie unter einem Mikroskop betrachtet; weiterhin können nichtmetallische Einschlüsse gezählt werden, die in einem Metallgefüge in komplizierten Strukturen erzeugt werden.

Bei dem herkömmlichen System zum Zählen von Strukturen in einer Abbildung durch zeilenweise Abtastung werden elektrische Signale durch die Abtastung zeitlich sequentiell nur in der Abtastrichtung erzeugt, so daß es möglich war, die Begrenzungslinien der Strukturen festzustellen, die in den horizontalen und vertikalen Abtastrichtungen der zu zählenden Strukturen gesehen werden können; es war jedoch nicht möglich, die Begrenzungslinien festzustellen, die sowohl -in Bezug auf die horizontalen als auch in Bezug auf die vertikalen Abtastzeilen getönt bzw. strichliert waren; dies führte dazu, daß große Bereiche, die nicht gezählt werden können, unter und rechts von den Strukturen geschaffen werden.

Der Erfindung liegt deshalb unter anderem die Aufgabe zugrunde, ein System der angegebenen Art dahingehend zu verbessern, daß die oben erwähnten ETachteile der herkömmlichen Systeme überwunden werden und die Abmessungen der Bereiche, die nicht gezählt werden können, möglichst klein gehalten werden; darüberhinaus sollen bei einigen Strukturen solche Bereiche, die nicht gezählt werden können, vollständig ver-

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mieden werden, so daß die Genauigkeit erhöht wird, mit der die Strukturen in einer Abbildung gezählt werden.

Zur Lösung der Aufgabe wird ein binäres Bild dadurch vorgesehen, daß eine horizonale Abtastzeile in E Abtastpunkte unterteilt wird und daß n_ Abtastzeilen abgetastet werden.

Eine erste Ausführungsform der Erfindung ist gekennzeichnet durch eine erste Speicherschaltung, die K Binärzeichen für ein zu untersuchendes Bild in der (n+i)ten Abtastzeile nacheinander in der Abtastrichtung speichert, durch eine zweite Speicherschaltung, die E vorher in der η-ten Abtastzeile gebildete Maskenbildsignale nacheinander in der Abtastrichtung speichert, durch eine logische Schaltung mit E Elementen, die E tJbertragungssignale nacheinander in der Abtastrichtung der (n+i)ten Abtastzeile und in der zu der Abtastrichtung.entgegengesetzten Richtung weitergeben, wenn die erste und zweite Speicherschaltung alle Signale gespeichert haben, und die das i-te Signal der in der ersten Speicherschaltung gespeicherten (n+1)ten Abtastzeile, das ° (i+i)te und das (i+i)te Maskensignal der in der zweiten Speicherschaltung gespeicherten (n+i)ten Abtastzeile und das i-te Maskenbildsignal der (n+i)ten Abtastzeile aus den beiden Übertragungssignalen bilden, so daß nacheinander E Maskenbildsignale erzeugt werden, durch eine dritte Speicherschaltung, die die E Maskenbildsignale der (n+1)ten Abtastzeile parallel speichert, und durch eine Zählschaltung für die konvexen Bereiche, die gleichzeitig die Signale in der zweiten Speicherschaltung und die Signale in der dritten Speicherschaltung empfängt und zählt. ·

Die logischen Schaltungen können ODER-,und UND-Verknüpfungsglieder aufweisen.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden'

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Erfindung wird diese Aufgabe "bei einem System der angegebenen Gattung gelöst durch eine erste Speicherschaltung, die K Binärzeichen für die (n+1)te Abtastzeile des ursprünglichen Bildes nacheinander in Abtastrichtung speichert, durch eine zxveite Speicherschaltung, die K Maskenbildsignale, die vorher in der η-ten Abtastzeile gebildet wurden, nacheinander in der Abtastrichtung speichert, durch einen ersten Maskensignalgenerator, der Signale von der ersten und zweiten Speicherschaltung empfängt,um in Abtastrichtung das (n+1)te Maskensignal zu erzeugen, durch eine vierte Speicherschaltung, die K binäre Signale eines Bildes in der (n+1)ten Abtastzeile nacheinander in der zu der Abtastrichtung entgegengesetzten Richtung speichert, durch eine fünfte Speicherschaltung, die K Maskenbildsignale, die vorher in der η-ten Abtastzeile gebildet wurden, nacheinander in der zu der Abtastrichtung entgegengesetzten Richtung speichert, durch einen zweiten MaskenSignalgenerator, der -Signale von der vierten und fünften Speicherschaltung empfängt,um das (n+i)te Maskensignal in der zu der Abtastrichtung entgegengesetzten Richtung zu erzeugen, durch eine Schaltung zur Bildung des logischen Produktes, die das logische Produkt des Maskenbildsignals in der Abtastrichtung der (n+i)ten Abtastzeile und des Maskenbildsignals in der zu der Abtastrichtung entgegengesetzten Richtung bildet, und durch eine Zählschaltung für die konvexen Bereiche, die die Ausgangssignale von der Schaltung für die Bildung des logischen Produktes und von der zweiten Speicherschaltung liest und zählt. ■'" .

Der erste' und zweite Maskensignalgenerator können zwei Verzogerungsschaltungen, zwei UND- und zwei ODER-Verknüpfungsglieder aufweisen. Die Schaltung zur Bildung des logischen Produktes kann ein einziges UHD-Verknüpfungsglied sein.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungs-

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beispielen unter Bezugnahme auf die beiliegenden, schematischen Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 ein Beispiel für ein Originalbild zur Erläuterung des Zählprinzips bei dem System zur Zählung von Strukturen nach der vorliegenden Erfindung sov/ie des Verfahrens, nachdem die Originalabbildung abgetastet wird;

Fig. 2 eine Maskenstruktur, die gemäß der vorliegenden Erfindung aus dem in Pig. I gezeigten Originalbild erzeugt wird;

Fig. 3 schematisch die Schaltanordnung in einer Zelle zur Erzeugung der Maskenstruktur, die auf der logischen Schaltung zur Bildung der Maskenstruktur nach der vorliegenden Erfindung beruht;

Fig. 4- schematisch ein Beispiel für eine parallel arbeitende Schaltung zur Bildung der Maskenstruktur, bei der die Zellen zur Bildung der Maskenstruktur räumlich, -angewandt werden;

Fig. 5 ein Blockdiagramm einer Schaltung zur Zählung der konvexen Bereiche; und

Fig. 6 schematisch ein Beispiel einer sequentiell arbeitenden Schaltung zur Bildung der Maskenstrukturen, bei der die logische Schaltung zur Bildung der Maskenstruktur zeitlich sequentiell angewandt wird.

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Das Grundprinzip der vorliegenden Erfindung soll zunächst unter Bezugnahme auf die Figuren 1 und 2 beschrieben werden.

Es wird von folgender Annahme ausgegangen: Wenn das rechtwinklige System der Koordinaten X-X in der gezeigten Richtung in Bezug auf das Bild in Fig. 1 definiert ist, so erfolgt die Abtastung für jede Abtastzeile in Richtung der X-Achse, während die Abtastung für aufeinanderfolgende Abtastzeilen in Richtung der Y-Achse erfolgt, und zwar in der Reihenfolge η*η+1·*η + 2.... Bei einem herkömalichen Verfahren wird die sogenannte "Schwellwertfeststellungstechnik" (threshold detecting technique) auf ein elektrisches Signal angewandt, das für jede Abtastzeile erzeugt wird; indem an K Punkten, die in Richtung der X-Achse den gleichen Abstand haben, eine Abtastung durchgeführt wird, kann ein binäres Bild erzeugt werden, das in der Weise digitalisiert ist, daß die Strukturphase als logisch Λ und die andere Phase als logisch 0 dargestellt sind. Ein weiteres herkömmliches V_erfahren beruht auf folgender Wirkungsweise: Wenn die Struktur oder das Muster P, das in Fig. 1 durch die Schraffierung angedeutet ist, in eine zu der Richtung der Y-Achse entgegengesetzten Richtung gesehen wird-(oder in der Bildebene von Fig. 1 von unten nach oben), und wenn der konvexe Bereich und der konkave Bereich Xy bzw. Vy genannt werden, dann kann die EuIer'sehe Zahl E (P) der Struktur P in dem Bild durch die Gesamtzahl N (Xy) der konvexen Bereiche und die Gesamtzahl N (Vy) der konkaven Bereiche auf folgende V/eise ausgedrückt werden:

E (P) = E (Xy) - N (Vy) (1)

Gleichzeitig wird die Euler¹sehe Zahl E (P) durch die Zahl B der Strukturen in dem Bild und die Zahl L der in

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diesen Strukturen enthaltenen Poren ausgedrückt: E(P) = B - L (2)

Wie sich aus der Gleichung (2) ergibt, ist die EuIer¹ sehe Zahl E(P) üblicherweise eine ganze Zahl, die entweder einen positiven oder einen negativen Wert annehmen kann; ist in den Strukturen keine Pore vorhanden, dann ist die Euler'sehe Zahl eine positive ganze Zahl oder Null, die wiederum gleich r -. der Zahl B der Strukturen ist. Könnten deshalb die Poren in den Strukturen auf irgendeine Weise in die gleiche Phase wie die Strukturen gebracht werden, dann ldäSe sich das Problem der Strukturzählung in Zusammenhang mit der Zählung der Euler'sehen Zahl bringen. Wenn dies also dadurch erreicht werden könnte, daß die Zahl H(Vy) der in den Strukturen vorhanden konkaven Bereiche gleich Null ge- , macht wird, so würde die folgende einfache Beziehung durch die Gleichungen (1) und (2) befriedigt werden:

B = E(P) = N(Xy) (3)

Ausgehend von diesen Grundlagen erzeugt die vorliegende Erfindung aus einer zu untersuchenden Struktur eine neue Struktur, die die Bedingung N(Vy) = 0 erfüllt und nur eine minimale, notwendige Abänderung der zu untersuchenden Struktur erfordert (diese neue Struktur soll im folgenden als "Maskenstruktur" ("mask pattern") bezeichnet werden); damit läßt sich die Zählung der Strukturen oder Muster in der Abbildung durchführen. .

Eine Maskenstruktur, die die Bedingung N(Vy) = 0 erfüllt und nur eine minimale, notwendige Abänderung des ursprünglichen Musters erfordert, kann erhalten werden, indem die beiden Faktoren für N (Vy), nämlich die Poren und die konkaven Bereiche, in der Weise behandelt werden, daß alle Poren gefüllt werden, bis sie mit der Struktur in

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Phase sind, und daß die Strukturphase vergrößert wird, bis die konkaven Bereiche Grenzlinien haben, die parallel zu den Abtastzeilen verlaufen. Dies ist in Pig. 2 dargestellt. In Pig. 2 bezeichnet P einen Bereich, der zu der zu untersuchenden Struktur gehört; Q bezeichnet neu geschaffene Bereiche, die die Beziehung N(Vy) = O herbeiführen, und die Maskenstruktur ist ein Bereich 1?U Q, der die Summenmenge der zu untersuchenden Struktur P und der neu geschaffenen Struktur Q ist. ■'

Eine auf diesem Prinzip der vorliegenden Erfindung beruhende Ausführungsform soll im folgenden unter Bezugnahme auf die Figuren 3 und 4- erläutert werden.

Dabei ist das Signal, das sich auf das ursprüngliche Bild bezieht, durch S gekennzeichnet, und das sich auf das Maskenbild beziehende Signal durch M; wird ein Bildelement eines Bildes.durch die Zahl n_ der Abtastzeile, zu der dieses Bildelement gehört, und die Zahl i_ der Abtastung bzw. Digitalisierung in Abtastrichtung bezeichnet, so wird der Wert des Bildelementes des zu untersuchenden Bildes durch Sⁿ angegeben, und der Wert des Bildelementes ; des entsprechenden Maskenbildes ist durch Mⁿ gekennzeichnet. ] Da von einer binären Abbildung ausgegangen wird, nehmen j sowohl S? als auch M³? die logischen Werte 1 oder 0 an.

Wenn der Wert M? t des Bildelementes der Maskenabbildung, die der (n+1) ten Abtastzeile entspricht, erzeugt werden soll, so reichen das Signal Mⁿ für die Maskenabbildung, die der (n+1)ten Abtastzeile vorhergeht,.und das Signal Sⁿ von der (n+1)ten Abtastzeile für das ursprüngliche Bild nicht aus, um die Strukturphase in den getönten bzw. schraffierten Bereichen(die mit Poren versehenen Bereiche und die konkaven Bereiche) zu füllen, so daß zusätzlich zwischen benachbarten Bildelementen eine

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horizontale Informationsübertragung durchgeführt werden muß. Bei diesem Übertragungssignal v/ird das Signal, das sich in der horizontalen Abtastrichtung forpflanzt, Ri genannt, während das in die entgegengesetzte Richtung über tragene Signal Li genannt wird; dabei zeigt der Zusatz :L, daß das Übertragungssignal von dem i-ten Bildelement auf der Abtastzeile erzeugt wird. Mit dieser Definition der vorhandenen Signale kann die Erzeugung der Maskenabbildung durch die folgenden logischen Gleichungen dargestellt werden:

Li = Mⁿ^ . (Sⁿ⁺¹ -f- L₁₊₁) (5)

Tu. - Mⁿ^ . (Sⁿ⁺¹ + R_1-1) ; (6)

dabei gelten die folgenden Anfangsbedingungen:

m9 = ο (7)

R₀ =0 . (9)

Gleichung (4) zeigt, daß das Bildelement M^⁺ der Maskenabbildung aus dem Bildelement Sⁿ⁺ der entsprechenden ursprünglichen Abbildung-und den Übertragungssignalen R₁^₁ und L. ₁ von dem dazu benachbarten Bildelement erzeugt wird; die Gleichungen (5) und (6) zeigen die Bedingungen, unter denen die nach links und nach rechts gerichteten Übertragungssignale erzeugt" werden.

Eine ". . in Fig. 3 gezeigte Zelle Ci zur Erzeugung.) der-Maskenstruktur kann sofort aus den Gleichungen (4), (5) und

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(6) gebildet werden; diese Zelle kann als Schaltung betrachtet werden, in der die Logik zur Erzeugung der Maskenstrukturen wie die in den Gleichungen (4), (5) und (6) angegeben ist, räumlich verwirklicht ist. Jn Pig. 3 bezeichnet der Buchstabe A ein UND-Glied, während der Buchstabe B ein ODER-Glied bezeichnet.. Fig. 4 zeigt .eine parallel arbeitende Schaltung zur Erzeugung der Maskenstrukturen, die durch' die Verwendung der Erzeugungszellen Ci für die MaskenStruktur in Form einer iterativ arbeitenden logischen Schaltung gebildet ist (im folgenden sollen die Zellen Ci nur noch als "Erzeugungszellen" bezeichnet werden).

Es soll nun eine Folge von Betriebsabläufen unter Bezugnahme auf Fig. 4 beschrieben werden; das Bildsignal S, das nacheinander durch lineare Abtastung erzeugt wird, wird zeitweilig in Reihe in einem Schieberegister SR,. mit parallelem Ausgang mit K Bits gespeichert, die gleich der Zahl der Bildelemente pro Abtastzeile sind; die parallelen Ausgangssignale des Schieberegisters werden als Eingangssignale auf die entsprechenden Erzeugungszellen Ci gegeben, die die iterativ arbeitende logische Schaltung bilden; dadurch wird jeder Erzeugungszelle Ci ein Bildsignal S. übermittelt, das sich auf die (n+1)te Abtastzeile bezieht.

Andererseits empfängt jede Erzeugungszelle Ci auch als Eingangssignal das Signal M? für die Maskenabbildung, das für die n-te Abtastung bereits erzeugt ist (d.h., das Ausgangssignal des Schieberegisters SR₂), während gleichzeitig jede Erzeugungszelle Ci Übertragungssignale R.^ ^Un<i ^i+1 ^ⁿ ^^ezvLS ^aui> seine benachbarte Erzeugungszelle Ci abgibt und aufnimmt; nachdem also die Informationen in alle Schieberegister SR₁ und SR₂ eingegeben worden sind und die Übertragungssignale das Verknüpfungsglied einer jeden Erzeugungszeile Ci passiert haben, erzeugt

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das Ausgangssignal einer jeden Erzeugungszelle Ci ein Maskenbild-Signal M^⁺ für die (n+1) te Abtastung, das die Gleichungen (4·), (5) und (6) erfüllt. Diese Signale werden parallel zu einem Schieberegister SR^ ausgelesen, das als Parallel-Serien-Umsetzer arbeitet; diese Signale werden weiterhin seriell synchron mit dem S Eingangssignal für eine neue Abtastung ausgelesen, wodurch das (n+1)te Maskenbild-Signal M erzeugt wird. Das Maskenbildsignal M wird sofort zu dem_Schieberegister SRp übertragen, um ein neues. Maskenbild zu erzeugen.

Das Ausgangs signal M¹ des Schieberegisters SRg ist ein Maskenbildsignal, das in Bezug auf das Maskenbildsignal M um eine Abtastung verzögert ist. Eine Einrichtung Co verwendet diese beiden Signale M und M' , um die Maskenstrukturen zu zählen, und insbesondere Ii(Xy) zu zählen; die dafür vorgesehene Schaltung ist in Fig. 5 dargestellt und soll im folgenden erläutert werden.

Die Schaltung weist logische Elemente auf und enthält ΰ-ΙΊΐρ-ΙΊops 11 und 12, JK Flip-Flops 13 und 14 und einen Zähler 15, um als Eingangssignal ein Signal aufzunehmen, das synchron in Bezug auf den Anstieg des Taktimpulses CP geformt ist, der durch die Anordnung nach Fig. 4- erhalten wird;, dadurch wird N(Xy) gezählt.

Fig. 6 zeigt eine weitere Ausführungsform einer logischen Schaltung nach der vorliegenden Erfindung zur Erzeugung der Maskenstruktur; dabei wird statt der räumlich-parallelen Schaltung nach Fig. 4- eine vollständig zeitlich sequentielle Behandlung verwendet. Aus dem rechten Ausdruck von Gleichung (4-) ist es bekannt, daß eine Maskenabbildung erzeugt werden kann durch Bildung von

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und anschließend des logischen Produktes davon. Dies kann einfach durchgeführt werden, indem Signalspeichereinrichtungen, wie beispielsweise Speicher mit wahlfreiem Zugriff (random access storage devices) oder Randomspeicher 1, 2, 3, 4-, 5 und 6 mit einer Speicherkapazität von K Bits pro Abtastzeile verwendet werden; darin werden Adressen mit Hilfe von reversiblen oder Zweirichtungszählern 7? 8, 9A und 9B gekennzeichnet. Das Eingangsbildsignal S für die (n+1)te Abtastung kann in die Speicher mit wahlfreiem Zugriff 1 und 4- für die Bildelemente 1 bis K auf der Abtastzeile eingeschrieben werden, indem die Zweirichtungäzähler 7 und 8 vorwärts, also in Richtung auf den Höchststand, gezählt werden. Gleichzeitig damit wird das Maskenbildsignal M für die n-te Abtastzeile mit Hilfe der gleichen reversiblen Zähler in den Speichern 2 und 3 gespeichert. Anschließend werden die Zähler 7 und zurückgesetzt, wonach wiederum eine Zählung in 'Vorwärtsrichtung mit dem Zähler 7 durchgeführt wird, während mit dem Zähler 8 eine Rückwärtszählung, also in Richtung O durchgeführt wird, um die gespeicherten Informationen auszulesen; dadurch werden die Bildelemente von Nr. 1 an aufwärts nacheinander von den Speichern 1 und 2 ausgelesen, während die Bildelemente von Nr. K an aufwärts nacheinander von den Speichern 3 und 4- ausgelesen werden. Wird eine Schaltung mit zwei ODER-Gliedern, zwei UND-Gliedern und zwei Verzögerungselementen 7 pro Bildelement in Bezug auf das Ausgangssignal des Speichers 1 und das Ausgangssignal des Speichers 2 eingesetzt, so ergibt sich Ri in Gleichung @) mit dem Ergebnis, daß M^t erzeugt wird, das die Gleichung (10) erfüllt. In Bezug auf die Speicher

+1

3 und 4· wird in ähnlicher Weise M?T erzeugt, das Gleichung (11) erfüllt. An dem Ausgang des UND-Gliedes 10 wird also ein Maskenstruktursignal M erzeugt, das dem durch die vorher beschriebene Ausführungsform erzeugten ähnelt, wenn im einzelnen der folgende Betriebsablauf stattfindet: Der Speicher 5 speichert Mot , wenn mit

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dem reversiblen Zähler 9A in Vorwärtsrichtung, also in Richtung auf seinen Höchststand, gezählt wird; der Speicher 6 speichert M^t , wenn der reversible Zähler 9B in Rückwärtsrichtung, also in Richtung Null zählt; dann zählen die reversiblen Zähler 9A und 9B synchron mit dem zunächst beschriebenen Lesevorgang für ein neues Bildeingangssignal S wieder in Vorwärtsrichtung, um dadurch

n+1
Mq. auszulesen; und dann wird hiervon mit Hilfe des UND-Gliedes 10 das logische Produkt genommen. Das so erzeugte Maskenstruktursignal M"±ann durch die Speicher 2 und J auf die gleiche Weise gelesen werden, wie es oben beschrieben wurde. Das Ausgangssignal der Zählschaltung Co für den konvexen Bereich stellt also wie bei der vorherigen AySführungsform die Zahl der Strukturen dar; dabei sind M und M¹ die Eingangs signale zu dieser Schaltung und M¹ das Ausgangssignal des Speichers 2.

Aus der Beschreibung der vorliegenden Erfindung ergibt sich also, daß die Anzahl von Mustern öder Strukturen in porösen oder anderen Konfigurationen leicht und mit hoher G_enauigkeit gezählt werden können.

- Patentansprüche -

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Claims

Patentansprüche

System zur Zählung von Mustern mittels eines binären ^: Bildes, das durch Abtasten von n_ parallelen Abtastzeilen ; und Aufteilen jeder Abtastzeile in K Abschnitte erhalten ! wird, gekennzeichnet j

durch eine erste Speicherschaltung (SR^), die K Binärzeichen für ein zu untersuchendes Bild in der (n+1)ten Abtastzeile nacheinander in der Abtastrichtung speichert, durch eine zweite Speicherschaltung (SRp), die K vorher in der η-ten Abtastzeile gebildete Maskenbildsignale nacheinander in der Abtastrichtung speichert, durch eine logische Schaltung mit K Elementen (C.), die K Übertragungssignale nacheinander in der Abtastrichtung der (n+1)ten Abtastzeile und in der zu der Abtastrichtung entgegengesetzten Richtung weitergeben, wenn die erste und zweite Speicherschaltung (SRp) alle Signale gespeichert haben, und die das i-te Signal in K Abschnitten der in der ersten Speicherschaltung (SR,,) gespeicherten (n+1)ten Abtastzeile, das (i+1)te und das (i-1)te Maskensignal in K Abschnitten der in der zweiten Speicherschaltung (SRp) gespeicherten (n+1)ten Abtastzeile und das i-te Maskenbildsignal der (n+1) ten Äbtastzeile aus den beiden Übertragungssignalen bilden, woraus nacheinander. K Maskenbildsignaie erzeugt werden, durch eine dritte Speicherschaltung (SR,,), die die K Maskenbildsignale der (n+1)ten Abtastzeile von der logischen Schaltung parallel speichert, und durch eine Zählschaltung (Co) für die konvexen Bereiche, die gleichzeitig die Signale in der zweiten Speicherschaltung (SR₂) ^un^ ä-ie Signale in der dritten Speicherschaltung (SR,) list und zählt.
2. System nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die lpgische Schaltung ODER- und UND-Glieder aufweist.

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3. System zur Zählung von Mustern mittels eines binären Bildes, das. durch Abtasten von parallelen Abtastzeilen und Aufteilen der η-ten Abtastzeile dieser Abtastzeilen in K Abschnitte erhalten wird, gekennzeichnet durch eine erste Speicherschaltung (1), die K Binärzeichen für die (n+1)te Abtastzeile des ursprünglichen Bildes nacheinander in Abtastrichtung speichert, durch eine zweite Speicherschaltung (2), die K Maskenbildsignale, die vorher in der η-ten Abtastzeile gebildet wurden, nacheinander in der Abtastrichtung speichert, durch einen ersten Maskensignalgenerator, der die Signale von der ersten und zweiten Speicherschaltung (1, 2.) empfängt und in Abtastrichtung das (n+1)te Maskensignal erzeugt, durch eine vierte Speicherschaltung (4-), die K binäre Signale für die (n+1)te Abtastzeile des ursprünglichen Bildes nacheinander in der zu der Abtastrichtung entgegengesetzten Richtung speichert, durch eine fünfte Speicherschaltung (5), die K Maskenbildsignale, die vorher in der η-ten Abtastzeile gebildet wurden, nacheinander in der zu der Abtastrichtung entgegengesetzten Richtung speichert, durch einen zweiten Maskensignalgenerator, der die Signale von der vierten und fünften Speicherschaltung (4,5) empfängt und das (n+1)te Maskensignal in der zu der Abtastrichtung entgegengesetzten Richtung erzeugt, durch eine Schaltung (10) zur Bildung des logischen Produktes, die das logische Produkt des Maskenbildsignals in der Afctastrichtung der* (n+1).ten Abtastzeile und des Maskenbildsignals in der zu der Abtastrichtung entgegengesetzten Richtung bildet, und durch eine Zählschaltung (Co) für die konvexen Bereiche, die die Äusgangssignale von der Schaltung (10) für die Bildung des logischen Produktes und von der zweiten Speicherschaltung (2) empfängt und zählt.
4. System nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und zweite Maskensignalgenerator zwei Verzögerungsschaltungen (7), zwei UND-Glieder und zwei ODER-Glie-

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der aufweisen.
5. System nach einem der Ansprüche 3'oder 4-, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltung zur Bildung des logischen Produktes ein einziges UND-Glied (10) ist.

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