DE19517330C2

DE19517330C2 - Handhabungsvorrichtung

Info

Publication number: DE19517330C2
Application number: DE19517330A
Authority: DE
Inventors: Helmuth Heigl
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1995-05-11
Filing date: 1995-05-11
Publication date: 2002-06-13
Anticipated expiration: 2015-05-12
Also published as: US5831442A; DE19517330A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung, insbesondere zur Handhabung von Testköpfen an einer Wafer-Prüfeinrichtung, mit einem in Vertikalrichtung an mindestens einem Vertikalträger geführten Trag teil, an dem in Horizontalrichtung verstellbar eine Aufnahmeeinrichtung für einen Testkopf um ihre Längsachse drehbar mittels eines Drehla gers angeordnet ist.

Eine derartige Handhabungsvorrichtung ist aus der US 4,705,447 be kannt. Die bekannte Handhabungsvorrichtung weist ein Tragteil auf, das an einem Vertikalträger vertikal verstellbar geführt ist. Das Tragteil ist mit einer Aufnahmeeinrichtung für einen Testkopf versehen, die an dem Tragteil in horizontaler Richtung verstellbar ist. Die Aufnahmeein richtung ist mittels eines Drehlagers um ihre Längsachse drehbar an dem Tragteil angeordnet.

Im Vergleich hierzu ist aus der DE 92 17 659 U1 eine Leitungsführung für eine Versorgungsleitung an einem mehrachsigen Roboter bekannt. Die Leitungsführung ist derart, daß die Versorgungsleitung in einem vergleichsweise großen Abstand um Gelenkstellen des Roboters herumgeführt wird. Zu diesem Zweck ist seitlich von einem Arm des Ro boters eine Halterung angeordnet, in der die Versorgungsleitung be weglich geführt ist.

Eine Handhabungseinrichtung für einen Testkopf ist ferner aus der DE 36 17 741 C2 bekannt. Die bekannte Handhabungsvorrichtung weist ein Standgehäuse auf, an dem eine vertikal verstellbare Aufnahmeein richtung mit horizontal ausgerichteten Gabeln vorgesehen ist, die der Aufnahme eines Testkopfes dienen. Die Aufnahmeeinrichtung für den Testkopf ist mitsamt der Gewindespindel höhenverstellbar an dem Standgehäuse gelagert. Um eine gewichtsentlastete Verstellung zu er möglichen, weist die bekannte Handhabungsvorrichtung eine Ge wichtsausgleichseinrichtung auf. Die Gewichtsausgleichseinrichtung ist mit einem Flaschenzug ausgebildet, der ein Gegengewicht aufweist.

Für den Einsatz an bekannten Wafer-Prüfeinrichtungen ist die Verstell barkeit des Testkopfs bezüglich der Wafer-Prüfeinrichtung in allen Rich tungen wünschenswert. Weiterhin ist bei der Verstellung eine hohe Maßgenauigkeit und Leichtgängigkeit erforderlich. Da derartige Wafer- Prüfeinrichtungen in Reinlufträumen eingesetzt werden, ist ein geringer Raumbedarf wünschenswert.

Demgemäß liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Handha bungsvorrichtung vorzuschlagen, mit der eine Verstellbarkeit des Test kopfes bezüglich einer Wafer-Prüfeinrichtung in allen Richtungen bei hoher Maßgenauigkeit und Leichtgängigkeit möglich ist, ohne daß Stö rungen durch die Zuleitungskabel des Testkopfs auftreten, und die ei nen geringen Raumbedarf aufweist.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einer Handha bungsvorrichtung der eingangs genannten Art vorgeschlagen, daß durch die Innenöffnung des Drehlagers ein Kabelstrang des Testkopfs geführt ist, wobei der Kabelstrang an einem Tragring aufgenommen ist, der schwenkbar an einer Schwinge gelagert ist.

Durch die erfindungsgemäße Lagerung der Aufnahmeeinrichtung an dem Tragteil mittels eines Drehlagers, das eine Innenöffnung für die Führung des Kabelstrangs des Testkopfs aufweist, wird der Raumbe darf für die Handhabungsvorrichtung verringert. Zudem ist sicherge stellt, daß sich bei Drehungen um die Längsachse der Aufnahmeein richtung der Kabelstrang des Testkopfs nicht in störender Weise um die Aufnahmeeinrichtung beziehungsweise das Tragteil wickeln kann. Indem erfindungsgemäß vorgesehen ist, daß der Kabelstrang des Test kopfs an einem Tragring aufgenommen ist, der schwenkbar an einer Schwinge gelagert ist, wird überdies eine Entlastung des Kabelstrangs erreicht, so daß der Kabelstrang keinen störenden Einfluß auf die Maß genauigkeit und Leichtgängigkeit der Verstellung der Handhabungsvor richtung hat.

Obwohl die Verstellbarkeit in alle Richtungen möglich ist, weist die er findungsgemäße Handhabungsvorrichtung nur einen geringen Platzbe darf auf. Dies ist deshalb vorteilhaft, weil derartige Handhabungsvor richtungen in Reinstlufträumen zum Einsatz kommen. Die Verstellung des Testkopfs kann bei hoher Maßgenauigkeit und Leichtgängigkeit über einen großen Arbeitsbereich vorgenommen werden, wobei bei geringer Bauhöhe viel Gewicht auf eine große Fläche verteilt werden kann. Durch die Aufnahme des Kabelstrangs an dem Tragring wird nicht zuletzt eine Entkopplung des Kabelstrangs erreicht.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Un teransprüchen.

Vorteilhaft weist das Tragteil eine näherungsweise L-förmige Grund form auf, wobei in einem Horizontalschenkel eine Aussparung zur Auf nahme der Aufnahmeeinrichtung vorgesehen ist. Zweckmäßig ist das Tragteil als mit Horizontal- und Vertikalträgern ausgebildete Schweiß konstruktion in Leichtbauweise ausgebildet. Hierdurch wird ein niedri ges Gesamtgewicht erreicht. In weiterer Ausgestaltung wird vorge schlagen, daß die Aufnahmeeinrichtung eine endseitige Ringplatte aufweist, die über das Drehlager mit dem Tragteil verbunden ist.

Vorteilhaft weist die Aufnahmeeinrichtung mindestens einen manuell betätigbaren Rastbolzen auf, der mit dem Tragteil zusammenwirkt und mit dem die Drehstellung der Aufnahmeeinrichtung bezüglich dem Tragteil festlegbar ist.

In weiterer Ausgestaltung ist der Testkopf um seine Querachse schwenkbar an der Aufnahmeeinrichtung gehalten. Vorteilhaft ist der Testkopf mit seitlich abragenden Lagerzapfen versehen, die in eine zu geordnete Aufnahme an den Gabeln der Aufnahmeeinrichtung eingrei fen, wobei an den Gabeln eine Langlochsparung vorgesehen ist, in die ein mit dem Testkopf verbundener Führungszapfen eingreift. Zweck mäßig kann der Führungszapfen mit Klemmitteln zur Fixierung der Schwenklage des Testkopfes versehen sein.

Zweckmäßig weist die Schwinge den Tragring seitlich haltende Schwingarme auf, die schwenkbar an Tragarmen gelagert sind, die von der Aufnahmeeinrichtung abragen. Alternativ ist es auch möglich, eine Längsführung für den Längenausgleich vorzusehen.

Um eine weitere Abstützung zu erzielen, kann der Kabelstrang zwi schen dem Tragring und dem Testkopf durch weitere Tragmittel gehal ten sein. Zweckmäßig ist der Kabelstrang im Bereich des Testkopfes durch einen Aufnahmering geführt, der den Kabelstrang fest einspannt. Weiterhin kann zwischen Aufnahmering und dem schwenkbaren Tragring eine Zwischenstütze für den Kabelstrang vorgesehen sein.

Bei einer weiteren Ausgestaltung weist die Aufnahmeeinrichtung Line arlager auf, die mit am Tragteil vorgesehenen Horizontalschienen zu sammenwirken. Ebenso kann das Tragteil Linearlager aufweisen, die mit an den Vertikalträgern vorgesehenen Vertikalschienen zusam menwirken.

In weiterer Ausgestaltung wird vorgeschlagen, daß das Tragteil eine näherungsweise L-förmige Grundform aufweist und an seinen Kurz schenkeln an den Vertikalträgern geführt ist, wobei der innenliegende Vertikalträger kürzer als der außenliegende Vertikalträger ausgebildet ist.

Anhand einer schematischen Zeichnung wird der Aufbau und die Funk tionsweise eines Ausführungsbeispiels nach der Erfindung nunmehr näher erläutert. Dabei zeigen:

Fig. 1 einen schematischen Vertikalschnitt durch eine erfin dungsgemäße Handhabungsvorrichtung mit eingesetztem Testkopf,

Fig. 2 eine Draufsicht auf das Tragteil der Handhabungsvorrich tung gemäß Fig. 1,

Fig. 3 einen Schnitt längs der Linie III-III in Fig. 2,

Fig. 4 eine schematische Ansicht des Tragteiles gemäß Fig. 2 im eingebauten Zustand an den Vertikalträgern des Soc kelgehäuses,

Fig. 5 eine Seitenansicht der Handhabungsvorrichtung in Zu sammenstellung mit einer Wafer-Prüfeinrichtung,

Fig. 6 eine Ansicht in Richtung des Pfeiles VI gemäß Fig. 5,

Fig. 7 eine Ansicht in Richtung des Pfeiles VII gemäß Fig. 5,

Fig. 8 eine Draufsicht in Richtung des Pfeiles VIII gemäß Fig. 5,

Fig. 9 eine Rückansicht auf die erfindungsgemäße Handha bungsvorrichtung mit schematisch eingezeichneten Hori zontal- und Vertikalführungen,

Fig. 10 eine schematische Frontansicht mit eingezeichneten Hori zontal- und Vertikalführungen,

Fig. 11 eine Einzeldarstellung der Aufnahmeeinrichtung mit ein gesetztem Testkopf in Draufsicht.

Fig. 1 zeigt einen schematischen Vertikalschnitt durch eine erfin dungsgemäße Handhabungsvorrichtung 10, in deren Aufnahmeeinrich tung 12 ein Testkopf 11 eingesetzt ist. Eine derartige Handhabungs vorrichtung 10 kommt bei einer Wafer-Prüfeinrichtung 20 zum Einsatz, die in schematischer Weise in den Fig. 5 bis 8 dargestellt ist. Hier bei wird die Handhabungsvorrichtung 10 seitlich zur Wafer- Prüfeinrichtung 20 angeordnet, so daß der Testkopf 11 mittels der Handhabungsvorrichtung 10 der Wafer-Prüfeinrichtung 20 zugestellt werden kann.

Wie aus Fig. 1 hervorgeht, ist der Testkopf 11 an einer Aufnahme einrichtung 12 gehalten, deren Aufbau aus der Draufsicht gemäß Fig. 11 hervorgeht. Die Aufnahmeeinrichtung 12 besitzt seitliche Gabeln 21, 22, die über eine Endplatte 23 miteinander verbunden sind. An den horizontal ausgerichteten Gabeln 21, 22 ist der Testkopf 11 an einem Drehlager 13 schwenkbar gehalten. Zur Begrenzung der Schwenkbe wegung um das Drehlager 13 ist an den Gabeln 21, 22 eine Lang lochaussparung 24 vorgesehen, in die ein mit dem Testkopf 11 ver bundener Führungszapfen 25 eingreift, dem eine Klemmeinrichtung 50 zur Fixierung der Schwenklage des Testkopfes 11 zugeordnet ist. Die nähere Ausgestaltung der Aufnahmeeinrichtung 12 wird im Zusam menhang mit Fig. 11 beschrieben.

Die Aufnahmeeinrichtung 12 ist an einem Tragteil 18 festgelegt, das in Vertikalrichtung verschiebbar an Vertikalträgern 14a, 14b geführt ist. Die Vertikalträger 14a, 14b ragen senkrecht von einem Sockelgehäuse 26 ab, in dem eine Gewichtsausgleichseinrichtung 15 angeordnet ist. Hierbei nehmen die als Hohlträger ausgebildeten Vertikalträger 14 das Tragteil 18 auf. Hierzu sind an dem Tragteil 18 Linearlager 27, 28 vor gesehen, die mit an den Vertikalträgern 14 angeordneten Verti kalschienen 29 zusammenwirken. Das Tragteil 18 weist parallel aus gerichtete Horizontalschienen 32, 33 auf, in die Linearlager 30, 31 der Aufnahmeeinrichtung 12 eingreifen.

Somit ist die Aufnahmeeinrichtung 12 und der hiermit verbundene Testkopf 11 sowohl in Horizontalrichtung als auch Vertikalrichtung verschiebbar angeordnet.

Die Aufnahmeeinrichtung 12 für den Testkopf 11 ist mittels eines Drehlagers 34 um die Längsachse 36 drehbar gelagert. Hierbei ist die Drehstellung der Aufnahmeeinrichtung 12 mittels Rastbolzen 35 fest legbar. Das Drehlager 34 ist ringförmig ausgebildet und weist eine In nenöffnung 37 auf, durch die der Kabelstrang 19 des Testkopfes 11 geführt ist. Der Kabelstrang 19 wird an einem Tragring 38 aufgenom men, der schwenkbar an einer Schwinge 39 angeordnet ist. Wie aus Fig. 9 hervorgeht, weist die Schwinge 39 den Tragring 38 seitlich haltende Schwingarme 41, 42 auf, die schwenkbeweglich an einem Tragarm 40 gelagert sind. Im Bereich der Innenöffnung 37 wird der Kabelstrang 19 an einem Aufnahmering 44 fest eingespannt. Zwischen dem Aufnahmering 44 und dem schwenkbar angeordneten Tragring 38 ist eine Zwischenstütze 43 für den Kabelstrang 19 vorgesehen.

In dem Sockelgehäuse 26 ist die Gewichtsausgleichseinrichtung 15 angeordnet. Die Gewichtsausgleichseinrichtung 15 dient dem Ge wichtsausgleich des Testkopfes 11, der Aufnahmeeinrichtung 12 und des Tragteiles 18. Die Gewichtsausgleichseinrichtung 15 weist Aus gleichsgewichte 17 auf, die in einer Trageinrichtung 45 angeordnet sind. Wie aus der Zeichnung ersichtlich ist, sind eine Vielzahl von Ausgleichsgewichten 17 übereinanderliegend in einer Trageinrichtung 45 angeordnet. An einer Oberseite 51 der Trageinrichtung 45 sind Zahnriemen 46 einer Riemenanordnung 16 angeordnet. Die Zahnriemen 46 sind über Umlenkrollen 47, 48 mit einem unteren Querträger 52 des Tragteiles 18 verbunden. Wie aus Fig. 10 hervorgeht, sind die Zahnriemen 46 jeweils paarweise an den Seitenbereichen der Tragein richtung 45 angeordnet. Demgemäß stehen auch paarweise angeord nete Umlenkrollen für die Zahnriemen zur Verfügung. Der Umlenkrolle 48 ist ein Elektroantrieb 49 zugeordnet. Der Elektroantrieb 49 wird mit einer Schrittsteuerung angesteuert, so daß der Testkopf 11 präzise verfahrbar ist.

An dem unteren Querträger 52 des Tragteiles 18 kann alternativ als Antrieb ein Pneumatikzylinder angelenkt sein, der an seiner anderen Seite mit einer Bodenplatte 53 des Sockelgehäuses 26 verbunden ist.

Anhand der Fig. 2 und 3 soll die detaillierte Ausgestaltung des Tragteiles 18 beschrieben werden. Wie aus Fig. 2 hervorgeht, besitzt das Tragteil 18 eine näherungsweise L-förmige Grundform. Hierbei ist ein Horizontalschenkel 54 und ein Vertikalschenkel 55 vorgesehen. Das Tragteil 18 weist parallel ausgerichtete Querträger 52, 56, 57 auf. Hierbei sind die Querträger 52, 56 zwischen Vertikalträgern 58, 59 aufgenommen. Im Bereich des Horizontalschenkels 54 ist eine Ausspa rung 62 eingebracht. Die Aussparung 62 dient der Lagerung der Auf nahmeeinrichtung 12 und der Durchführung des Kabelstranges 19 des Testkopfes 11.

An der Oberseite des Querträgers 56 ist ein weiterer Querträger 63 festgelegt. An dem Querträger 63 und dem parallel hierzu angeordne ten Querträger 57 sind die Horizontalschienen 32, 33 befestigt. Den Horizontalschienen 32, 33 sind die Linearlager 30, 31 der Aufnahme einrichtung 12 zugeordnet.

An dem Vertikalträger 59 sind, wie aus Fig. 2 hervorgeht, die Linear lager 27, 28 beabstandet zueinander angeodnet. An dem Vertikalträger 58 sind die Linearlager 63, 64 festgelegt.

Fig. 4 zeigt eine Draufsicht auf das Tragteil 18 im eingebauten Zu stand an den Vertikalträgern 14a, 14b. Wie aus dieser Darstellung her vorgeht, besitzt der Vertikalträger 14a eine größere Länge als der Ver tikalträger 14b. In die Vertikalträger 14a, 14b ist der Vertikalschenkel 55 des Tragteiles 18 eingeführt. Hierbei sind die Linearlager 27, 28, 63, 64 an den zugeordneten Vertikalschienen 29a, 29b der Vertikalträ ger geführt. Diese Anordnung gewährleistet eine exakte Führung des Tragteiles 18 in Vertikalrichtung. An dem Horizontalschenkel 54 des Tragteiles 18 sind die Horizontalschienen 32, 33 für die Horizontalver schiebung der Aufnahmeeinrichtung 12 vorgesehen.

Die Vertikalschenkel 14a, 14b sind an ihrer Vorder- und Rückseite von nicht näher dargestellten Deckplatten abgedeckt. Hierbei ist in den Deckplatten eine näherungsweise halbkreisförmige Aussparung 65 ein gebracht, die in der einen Endstellung der Aufnahmeeinrichtung 12 ein tiefes Herunterfahren des Testkopfes ermöglicht.

Die Fig. 5 bis 8 zeigen die Anordung der Handhabungsvorrichtung 10 neben der Wafer-Prüfeinrichtung 20. Hieraus ist ersichtlich, daß das Sockelgehäuse 26 der Handhabungsvorichtung 10 unmittelbar neben der Wafer-Prüfeinrichtung 20 aufgestellt wird. Aus den Fig. 6, 7 und 8 geht hervor, daß der Horizontalschenkel 54 des Tragteiles 18 oberhalb der Wafer-Prüfeinrichtung 20 angeordnet ist. Somit ist die Aufnahmeeinrichtung 12 mit dem Testkopf 11 bis in den Mittelbereich der Wafer-Prüfeinrichtung 20 verfahrbar.

Aus den Fig. 7 und 8 ist ersichtlich, daß die Aufnahmeeinrichtung 12 zusammen mit dem Testkopf 11 in Horizontalrichtung verfahrbar ist. Hierbei wird die Aufnahmeeinrichtung 12 mit ihren Linearlagern 30, 31 an den am Tragteil vorgesehenen Horizontalschienen 32, 33 ge führt.

Die Fig. 9 und 10 verdeutlichen in schematischer Weise die An ordnung der Linearlager für die Horizontal- und Vertikalverschiebung.

Fig. 11 zeigt eine Draufsicht auf die Aufnahmeeinrichtung 12 für den Testkopf 11. Die Aufnahmeeinrichtung 12 besitzt beabstandet ange ordnete Gabeln 21, 22, an denen das Drehlager 13 für den Testkopf 11 ausgebildet ist. Die Gabeln 21, 22 sind über eine Endplatte 23 mit einander verbunden. Durch die Endplatte 23 ist der Kabelstrang 19 zu dem schwenkbaren Tragring 38 geführt. Aus dieser Figur ist auch die Klemmeinrichtung 50 zur Fixierung der Schwenklage des Testkopfes 11 ersichtlich.

Nachfolgend soll die Funktionsweise der Handhabungsvorrichtung 10 beschrieben werden.

Die Handhabungsvorrichtung 10 kommt insbesondere bei einer Wafer- Prüfeinrichtung 20 zum Einsatz. Hierbei wird die Handhabungsvorrich tung 10 unmittelbar neben der Wafer-Prüfeinrichtung 20 angeordnet. An der Aufnahmeeinrichtung 12 der Handhabungsvorrichtung 10 ist ein Testkopf 11 angeordnet. Die Aufnahmeeinrichtung 12 bzw. der Testkopf 11 ist sowohl in Horizontalrichtung als auch in Vertikalrich tung bezüglich der Wafer-Prüfeinrichtung verfahrbar. Darüber hinaus ist der Testkopf 11 um die Längsachse 36 drehbeweglich gelagert, wobei die Drehstellung durch die manuell betätigbaren Rastbolzen 35 festleg bar ist. Weiterhin ist der Testkopf 11 um seine Querachse drehbar ge lagert, wobei die Schwenkbewegung durch die Führungsbolzen 25 begrenzt ist. Die Schwenklage des Testkopfes 11 kann mit der dem Füh rungsbolzen 25 zugeordneten Klemmeinrichtung 50 fixiert werden.

Durch die Gewichtsausgleichseinrichtung 15 mit den Ausgleichsge wichten 17 ist es möglich, einen Gewichtsausgleich für den Testkopf 11, die Aufnahmeeinrichtung 12 und das Tragteil 18 auszuführen. Dies wird durch Einlegen von Ausgleichsgewichten 17 in die Tragein richtung 45 erreicht. Somit ist das Tragteil 18 und die hiermit verbun denen Teile gewichtsentlastet, wodurch zum Verstellen nur geringe Kräfte nötig sind. Weiterhin ist diese Ausgestaltung aus sicherheits technischen Erwägungen günstig, da zum Verstellen lediglich geringe Kräfte erforderlich sind.

Die Verstellung des Tragteiles 18 und der hiermit verbundenen Teile erfolgt über den Elektroantrieb 49 und dem hiermit verbundenen In krementalgeber. Hierdurch ist ein sehr genaues Verfahren des Test kopfes 11 möglich.

Die Horizontalverschiebung der Aufnahmeeinrichtung 12 an dem Hori zontalschenkel 54 kann manuell oder mit einem weiteren Antrieb er folgen. Bei der Horizontalverschiebung ist die Aufnahmeeinrichtung 12 mit ihren Linearlagern 31, 32 an den zugeordneten Horizontalschienen 32, 33 des Tragteiles 18 geführt.

Die Drehbewegung der Aufnahmeeinrichtung 12 um ihre Längsachse 36 gestattet das Drehlager 34. Um die Drehung zu ermöglichen, müs sen zunächst die manuell betätigbaren Rastbolzen 35 gelöst werden. Bei der Drehung der Aufnahmeeinrichtung 12 wird der Kabelstrang 19 durch den schwenkbar angeordneten Tragring 38 entkoppelt. Hierdurch wird erreicht, daß definierte Torsionskräfte auftreten.

Durch die konstruktive Ausgestaltung und das Vorsehen einer Ge wichtsausgleichseinrichtung ist ein präzises Verfahren des Testkopfes 11 bei hoher Sicherheit möglich. Darüber hinaus weist die Handha bungsvorrichtung 10 einen sehr geringen Raumbedarf auf, was für den Betrieb im Reinluftbereich von Vorteil ist.

Claims

1. Handhabungsvorrichtung (10), insbesondere zur Handhabung von Testköpfen (11) an einer Wafer-Prüfeinrichtung (20), mit ei nem in Vertikalrichtung an mindestens einem Vertikalträger (14a, 14b) geführten Tragteil (18), an dem in Horizontalrichtung ver stellbar eine Aufnahmeeinrichtung (12) für einen Testkopf (11) um ihre Längsachse drehbar mittels eines Drehlagers (34) ange ordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß durch die Innenöffnung (37) des Drehlagers (34) ein Kabelstrang (19) des Testkopfs (11) geführt ist, wobei der Kabelstrang (19) an einem Tragring (38) aufgenommen ist, der schwenkbar an einer Schwinge (39) gela gert ist.

2. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß das Tragteil (18) eine näherungsweise L-förmige Grundform aufweist, wobei in einem Horizontalschenkel (54) ei ne Aussparung (62) zur Aufnahme der Aufnahmeeinrichtung (12) vorgesehen ist.

3. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge kennzeichnet, daß die Aufnahmeeinrichtung (12) eine endseitige Ringplatte aufweist, die über das Drehlager (34) mit dem Tragteil (18) verbunden ist.

4. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahmeeinrichtung (12) mindestens einen manuell betätigbaren Rastbolzen (35) auf weist, der mit dem Tragteil (18) zusammenwirkt und mit dem die Drehstellung der Aufnahmeeinrichtung (12) bezüglich des Trag teils (18) festlegbar ist.

5. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Testkopf (11) um seine Quer achse schwenkbar an der Aufnahmeeinrichtung (12) gehalten ist.

6. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß der Testkopf (11) mit seitlich abragenden Lager zapfen (66) versehen ist, die in eine zugeordnete Aufnahme an den Gabeln (21, 22) der Aufnahmeeinrichtung (12) eingreifen, wobei an den Gabeln (21, 22) eine Langlochaussparung (24) vorgesehen ist, in die mit dem Testkopf (11) verbundene Führungszapfen (25) eingreifen.

7. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwinge (39) den Tragring (38) seitlich haltende Schwingarme (41, 42) aufweist, die schwenkbar an Tragarmen (40) gelagert sind, die von der Auf nahmeeinrichtung (12) abragen.

8. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Kabelstrang (19) zwischen dem Tragring (38) und dem Testkopf (11) durch weitere Trag mittel gehalten ist.

9. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Kabelstrang (19) im Bereich des Testkopfes (11) durch einen Aufnahmering (44) geführt ist, der den Kabelstrang (19) fest einspannt.

10. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekenn zeichnet, daß zwischen Aufnahmering (44) und dem schwenkba ren Tragring (38) eine Zwischenstütze (43) für den Kabelstrang (19) vorgesehen ist.

11. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahmeeinrichtung (12) Li nearlager (30, 31) aufweist, die mit am Tragteil (18) vorgesehe nen Horizontalschienen (32, 33) zusammenwirken.

12. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Tragteil (18) Linearlager (27, 28, 63, 64) aufweist, die mit an den Vertikalträgern (14a, 14b) vorgesehenen Vertikalschienen (29a, 29b) zusammenwirken.

13. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Tragteil (18) eine nährungs weise L-förmige Grundform aufweist und an seinem Vertikal schenkel (55) an den Vertikalträgern (14a, 14b) geführt ist, wo bei der innenliegende Vertikalträger (14b) kürzer als der außen liegende Vertikalträger (14a) ausgebildet ist.