DE1908061A1 - Vorrichtung zum Hin- und Herverschieben eines Gegenstandes auf einer gegebenen Achse - Google Patents

Description

Vorrichtung zum Hin- und Herverschieben eines Gegenstandes auf einer gegebenen Achse

Diese Erfindung betrifft allgemein automatische Tastmechanismen oder Messonden, und insbesondere einen Apparat zum Hin- und Herverschieben eines Gegenstandes längs einer Achse, wenn dieser längs zwei anderen, zu einander senkrechten Achsen geschaltet wird zwecks maschineller Bearbeitung des Gegenstandes. Diese Erfindung schließt auch ein^eneuartige Tasterhalterung mit ein.

In der gleichzeitig anhängigen amerikanischen Patentanmeldung Nr. 449 754, eingereicht am 2. April 19β5 unter dem Titel "Programmable Positioning Table" ist ein Apparat beschrieben zur Aufnahme eines Probestückes oder anderen Gegenstandes und zum Verschieben desselben gemäß einem vorbestimmten Programm längs genau festgelegten Pfaden auf eine mit Schritt und Wiederholung arbeitende Art und Weise. Der in jener Anmeldung beschriebene Apparat arbeitet längs X- und Y-Achse, die normalerweise in der Horizontalebene liegen. Die Vorrichtung eignet sich besonders zum Ausführen einer Anzahl von Operationen, wie z.B. Schweissen, Prüfen etc., die wiederholt an einer Oberfläche und auf einem sehr kleinen fläche ns tiick auszuführen sind.

Die vorliegende Erfindung bezweckt die Verbesserung von automatischen Tast- oder Sondenmechanismen, wie sie zum Prüfen von mikroelektronischen Vorrichtungen, z.B.

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integrierte Schaltungen, Transistoren und Dioden, benützt werden. Diese Vorrichtungen werden in Serien auf einem Plättchen in gitterartiger Anordnung hergestellt.

Der Zweck der Feinprüfmaschine ist die elektrische Kontaktnahme mit jeder Vorrichtung auf dem Plättchen. Die · Kleinheit dieser Vorrichtungen bedingt Mechanismen hoher Genauigkeit zum Einstellen dieser Prüfsonden auf die in jeder Vorrichtung vorgesehenen PrüfpunKte.

Ein weiterer Zweck der Erfindung ist die Schaffung einer Plattform zum Hin- und HerverschieÜen eines PrUf-Stückes oder eines anderen Gegenstandes mit hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit längs einer gegebenen Achse.

Sin weiterer Z'-zeck der Erfindung ist die Schaffung von Mitteln zum vertikalen Hin- und Herverschieben eines Gegenstandes während einer horizontalen Überführung desselben..

Ein weiterer Zweck der Erfindung ist die Schaffung einer verbesserten Sonde oder Tasters zur Verwendung bei Repetierprüfungen von verschiedenen Gegenständen.

Vielter bezweckt die Erfindung die Schaffung einer neuartigen Schaltvorrichtung zum Nachweisen und Erfassen von kleinen Verschiebungen und Abmessungen.

Die Vorrichtung nachder Erfindung zum Hin- und Herverschieben eines Gegenstandes längs einer gegebenen Achse weist einen Sockel, einen auf diesem gleitbar montierten Keil, Mittel zum Hin- und Herbewegen des Keils längs einer Achse, und einen Objekttisch auf, der den den Keil gleitbar mitnehmenden Gegenstand trägt. Der Objekttisch wird mittels einer Metallmembran gezwungen, sich beim Ansprechen auf eine Hin- und Herbewegung des Keils nur auf einer einzigen J Achse zu verschieben, ohne jegliche Bewegung auf andern, zur ersten senkrechten Achsen. Daherbewirkt eine Hin- und Herbewegung des Keils auf einer Achse eine Hin- und Herbewegung des Objekttisches und des Gegenstandes auf einer senkrechten Achse.

Diese Erfindung zeigt auch eine verbesserte Sonde,

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bestehend aus einer Konsole, einem Paar von im Abstand voneinander und parallel zueinander montierten Blattfedern mit einer Sondenspitze an ihrem freien Ende, womit eine Verschiebung der Sondenspitze im Betrieb wenigstens annähernd koaxial mit der Hin- und Herbewegung des zu prüfenden Gegenstandes erfolgt. Die Sonde weist eine neuartige Einstellvorrichtung auf zum raschen und leichten Verstellen der Sondenspitze relativ zum Werkstück. Auch sind Mittel vorgesehen zum Einstellen der Spannung im Sondenspitzen-Aufhängesystem und zum genauen Einstellen der Höhe der Probenspitze in Bezug auf das Werkstück.

Die Erfindung zeigt ferner eine neuartige Schaltvorrichtung zum Nachweis und E' fassen von sehr kleinen Bewegungen und Abmessungen und weist eine Blattfeder auf, die durch die gefühlte bzw. wahrgenommene Abmessung oder den Gegenstand ablenkbar ist. Ein Beanspruchungs- oder Dehnungsmesser oder ein piezoelektrisches Kristall ist auf die eine Seite der Feder aufgekittet und erzeugt ein Signal beim Durchbiegen der Feder. Es sind Kittel vorgesehen zum Verstärken der Intensität des er^eu_vten Signals, wodurch beirr. Durchbiegen der Feder eine nützliche A us gangs leistung erhalten wird.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung veranschaulicht, und zwar zeigt:

Fig. 1 in Perspektive eine Tast- oder Messende nach der Erfindung.

Fig. 2 in Perspektive eine Vorrichtung nach der

Erfindung zum Hin- und Herverschieben eines Gegenstandes längs einer gegebenen Achse. ¹ Fig. 3 einen Querschnitt nach der Linie 3-2 der Fig.

Fig. k eine Schnittansicht im Seitenriss einer Sonde nach der Erfindung, und

Fig. 5 in einer etwas schematischen Seitenansicht eine Schaltvorrichtung gemäß der Erfindung.

Von dem in Fig. 1 gezeigten Peinmessapparat sind gewisse Teile in der ange!Ehrten amerikanischen Patentanmeldung

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eingehender dargestellt und beschrieben.. Allgemein ist der Apparat um einen Sockel Io angeordnet, der einen automatischen Tisch 12 mit einem X- und einem Y-Schlitten 14 bzw. 16 trägt, die eingehender in der genannten Anmeldung beschrieben und nach einem vorbestimmten Programm längs horizontalen. X- und Y-Koordinaten verschiebbar sind. Auf diese Weise kann ein auf dem Tisch gelagertes Prüfstück oder anderer Gegenstand 18 schritt- und wiederholungsweise in eine Anzahl von Schaltstellungen gemäß einem vorbestimmten Plan überführt werden, um repetitive Bearbeitungsvorgänge auszuführen, wie z.B. Messen, Schweissen, Prüfen etc. . Die Schlitten werden von Schrittschaltmotoren 2o, 22 betätigt, die über einen Förderschneckenantrieb die Schlitten in einer Horizontalebene hin- und herbewegen.

In Fig. 1 trägt der Sockel Io auch einen Säulenständer 24, der seinerseits eine oder mehrere Messonden 26 trägt, die eingehender weiter unten beschrieben sind, nebst anderem Zubehör.

Die Schlitten 14,16 sind nur in einer Horizontalebene oder längs X- und Y-Achsen beweglich. Um den Prüfling 18 vertikal oder längs der Z-Achse bewegen zu können, ist ein Z-Objekttisch 26 vorgesehen. Dieser ist auf dem Tisch 12 montiert und wird beim Betätigen des letztenen längs der X-und Y-Asche getragen. Der Z-Tisch 26 trägt ein Vakuum-Aufspannfutter 28, das besonders nützlich ist zum Montieren und Einstellen von dünnen, zerbrechlichen Prüfstücken.

Die Konstruktion und Betätigung des Z-Tisches 26 ist klar ersichtlich aus Fig. 2 und j5. Im allgemeinen weist er die Form einer rechteckigen Platte 3° mit aufrechten, eine wenig tiefe zylindrische Kammer 34 begrenzenden Ringwänden 52 auf. DerBoden der Platte 3° weist eine zentrale öffnung auf, über der eine am Plattenfuß befestigte Keilführung 58 montiert ist. Letztere trägt einen flachen Kugelkäfig 4o für Lagerkugeln 42, Dieser Käfig 1st z.B. aus einem relativ ■ starren Phenol-Harzmaterial hergestellt.

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Direkt über dem Käfig 4o montiert und getragen von den Lagerkugeln 42 ist ein Keil 44. Dieser weist einen Anzug von 7 auf und ist vorzugsweise aus gehärtetem Metall gebildet. Der Keil weist eine zentrale öffnung 46 auf, die von einem federbelasteten Bolzen 48 durchsetzt ist. Letzterer ist an seinem oberen Ende mit einer Mittelplatte oder -tisch 5°, und an seinem unteren Ende mit der KeilfUhrung 38 verbunden. Ein zweiter Käfig 52 befindet sich zwischen der geneigten Oberseite des Keils 44 und der geneigten Unterseite der Mittelplatte 5o. Im Käfig 52 befindet sich ein Satz von Lagerkugeln 54 zwecks Schaffung einer reibungslosen Gleitverbindung zwischen dem Keil und der Mittelplatte. Wie gezeigt, weist auch die untere Schägfläche der Mittelplatte einen 7 -Anzug auf, entsprechend demjenigen des Keils 44.

Auf der Mittelplatte 5o ist ein Vakuum-Aufspannfutter mit einer flachen Oberseite montiert, auf der der Prüfling 12 montiert ist. Diese Fläche weist eine Anzahl von kleinen Öffnungen auf, die mit einer Vakuumquelle verbunden sind, wodurch der Prüfling beim Auflegen flach gegen die Oberfläche des Putters gehalten wird.

Um die Mittelplatte 5o einzustellen und eine Bewegung des Futters und Prüflings nur längs einer Achse zu ermöglichen, ist ein Metalldiaphragma 58 vorgesehen. Der Aussenrand desselben ist mittels eines Ringes 60 an den Ringwänden 52 der Platte J5o montiert. Die Innenränder des Diaphragmas sind mit einem kleineren Ring 62 an der Mittelplatte befestigt.

Der Keil 44 ist seitlich verschiebbar mittels eines auf der einen Seite der Platte Jo montierten Solenoids 64, das einen Verbindungssiö) 66 aufweist, der ein das dicke Ende des Keils erfassendes Joch 68 trägt. Eine Schraubenfeder 70 ist zwischen der Platte Jo und dem Keil 44 zusammengedrückt und drückt letzteren normalerweise nach lin^k in Fig. 5· £>i^e Funktion des Solenoids besteht darin, den Keil nach rechts zu zeihen in Fig. 5. Somit zieht beim Betätigen der Vorrichtung das Solenoid den Keil nach rechts, und die Mittelplatte 50 wird

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nach unten gezogen. Der federbelastete Bolzen 48 dient dazu, die Mittelpla-tte abwärts zu ziehen, wenn der Keil nach rechts verschoben wird. Beim Aberregen des Solenoids stößt die gespannte Feder Jo den Keil nach links, wodurch die Mittelplatte wieder aufwärts in die gehobene Lage verschoben wird. Um eine glatte Bewegung für den Keil zu gewährleisten, ist auf der Platte 5o gegenüber dem Solenoid 64 ein pneumatischer Stoßdämpfer 72 angebracht. Dieser ist mittels eines Gliedes mit dem dünnen Keilende verbunden. Die Aktion des Stoßdämpfers ist einstellbar, so daß die Aufv/ärtsbewegung des Spannfutters gedämpft werden kann, um ein Springen der Sonde und Einbeulen des Werkstückes oder Prüflings auszuschalten.

Es ist jetzt ersichtlich, daß der auf das Aufspannfutter 56 gesetzte Prüfling 18 nicht nur mittels der Schlitten 14,1 β längs X- und Y--Koordination geschaltet werden kann, sondern auch mittels des Z-Tisches 26 genau längs einer vertikalen Achse (Z-Achse) hin- und herverschoben werden kann. · Dies erlaubt ein Heben und Senken des Prüflings in und außer Kontakt mit der Sonde 26 anstelle eines Hebens und Senkens der Sonde für jede Sondierung.

Der Sondiermechanismus wird jetzt eingehend unter Hinweis auf Pig. 4 beschrieben. Der Sondenkopf ist allgemein um einen gegabelten Block 76 angeordnet. Dieser ist aufgehängt an einer Konsole 78 mittels eines neuartigen Einstellmechanismus bestehend aus einer relativ festen unteren Platte 80 und einer verschiebbaren oberen Platte 82. Der Block 76 ist mittels Schrauben 84 an der verschiebbaren oberen Platte 82 befestigt, und aus Fig. 4 ist ersichtlich, daß der verlängerte linke Teil des Blockes unter die untere Platte 80 ragt, um diese gleitbar zu fassen. Durch diese Anr^dnung wird die obere auf der unteren Platte gehalten.

Die beiden Platten 80, 82 sind mittels eines allgemein mit 86 bezeichneten Steuerknüppel-Verstellmechanismus miteinander gekuppelt. Dieser Mechanismus weist eine geteilte

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Kugel 88 auf, dessen untere Härte in einer auf der Oberseite der unteren Platte 8o gebildeten Aussparung 9o sitzt, und dessen obere Hälfte in einer auf der Unterseite der oberen Platte 82 gebildeten Ausnehmung 92 sitzt. Eine Schraubenfeder 94 *t zwischen den Kugelhälften eingespannt und drückt die beiden Kugeln aus/einander. Ein Stift 96 durchsetzt eine versenkte, in der oberen Platte 82 gegenüber der Ausnehmung 92 gebildete öffnung 98. Das untere Ende des Stiftes durchsetzt das Zentrum der oberen Kugelhälfte und die Schraubenfeder und ist an der unteren Kugelhälfte befestigt. Am oberen Ende des Stiftes ist ein länglicher Hebel loo befestigt und vervollständigt den Steuerknüppelmechanismus. Die Verbindung zwischen dem Stift, den Kugelhälften und der Öffnung 98 ist solcher Art, daß der Stift schwenkbar' ist um einen unterhalb der oberen Kugelhälfte gelegenen Punkt. Insofern als die obere Kugelhälfte auf die Wände der Ausnehmung 92 drückt, ersieht man, daß ein Verschwenken des Handhebels eine seitliche Verschiebung der oberen Platte bewirkt. Da der Block 76 durch die obere Platte abgestützt ist, bewirkt dies eine Horizontalverschiebung des Blockes. Der Steuerknüppelmechanismus ermöglicht somit eine Feineinstellung der Sonde in Bezug auf das Werkstück durch die Horizontalebene.

Am rechten Ende des unteren Schenkels des Blockes 76, wie in Fig. 4 gesehen, ist ein fliegender Federeinbau für eine Sondenspitze Io4. Dieser Einbau weist ein Paar von flachen Blattfedern I06, I08 auf, die in gegenseitigem Abstand und parallel zueinander montiert sind, deren Enden durch einen Block Ho am Hinterende, und durch einen gegabelten Finger 112 am Vorderende fest miteinander verbunden sind. Der Finger 112 trägt die Sondenspitze Io4 am seinem vorderen, geteilten Ende. Schrauben 114 fassen das nähere Ende und auch das untere Ende der Federn zusammen und fassen das untere Ende des Blockes 76. Schrauben II6 klemmen das Vorderende der Federn zusammen gegen den Finger 112 und

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dienen auch zur Halterung einer bewegungsbegrenzenden Vorrichtung 118 am Pedereinbau. Diese Vorrichtung weist ein Paar von nach hinten gerichteten Absätzen 12o_s 122 die vertikal voneinander abgesetzt sind. Der obere Absatz- 12o ist zwischen zwei am linken Ende des Blockes 76 gebildeten,, vertikal voneinander abgesetzten und nach vorn gerichteten Absätzen 124, 126 beweglich. Die durch die Einwkirkung des hin- und herbeweglichen Z-Tisches sich durchbiegende Sondenspitze ist in ihrer Auf- und Abwärtsbewegung durch den sich zwischen den Absätzen 124, 126 schiebenden Absatz 12o begrenzt.

Der Absatz 122 dient der Auflage des freien Endes einer Blattfeder 128, die parallel zu den Federn I06, I08 montiert ist, und deren rechtes Ende am Block 76 befestigt ist„-Auf die Feder 128 drückt von oben· eine gebogene Feder 13o_fl deren linkes Ende gegen die Seite des Blockes 76 befestigt ist, und deren rechte Ende gegen einen Schraübeneln&tellmechanismus 1^2 drückt. Letzterer ist federbelastet und foe= einflußt die Feder IJo mehr oder weniger durch Spannen bzw» Lockern der Schraube 1^2. Wird die Schraube 152 gegen das freie Ende der Feder 1^o hin angezogen^, so wird diese staHcef gebogen und stößt daher mit einer größeren Kraft nach waten gegen die flache Blattfeder 128. Dies wiederum drückt letztere abwärts auf den Absatz 122 und versteift somit die Aufhängung des Federeinbaues. Ebenso kann aber die Aufhängung weicher gemacht werden durch Lockern der so daß die Feder IJo ihren Druck auf die Feder 128 ringern kann.

Damit die Sondenspitze in Bezug auf ola® Werkstüek gehoben oder gesenkt werden kann, sind Mittel vorgesehen zum Einstellen der Vertikallage der Sondenspitze„ Dies© weisen eine federbelastete und in die Platte 82 eingeschraubte ¥®rstellschraube lj>k auf. Das untere End© der VeX⁵Stellseteaufoe durchsetzt den Block 76 nach unten und drückt gegen das eine Ende eines Bolzens 136. Das untere Ende des ■ letzteren drückt

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auf den unteren Schenkel des gegabelten Blockes, wodurch dieser Schenkels in Bezug auf den Hauptteil des Blockes verschoben werden kann, je nach der Stellung der Schraube 134, Auf diese Weise wird der untere Schenkel durch Anziehen der Schraube 1^4 abwärts gedrängt, wodurch das Federaufhängesystem verschwenkt und die Sondenspitze gehoben wird. Durch Lockern oder Zurückdrehen der Schraube wird der untere Schenkel angehoben, und die Sondenspitze gesenkt.

Für die Sondeneinheit als Ganzes sind nach andere Höhenverstellmittel vorgesehen; und diese weisen einen Zahnstangenantrieb (nicht gezeigt) mit einem in Fig. 1 gezeigten, sich vom Ständer 24 nach außen abhebenden Kurbelarm 1?8 auf. Dieser Mechanismus schließt auch einen Mikrometer-Verstellmechanismus l4o mit ein.

Fig. 4 zeigt auch eine auf die Durchbiegung der Sondenspitze ansprechende Nachweisvorrichtung, die einen Dehnungsmesser 142 aufweist, der von der üblichen Bauart oder ein Halbleitertyp sein kann und direkt auf die flache Stelle der Feder Io6.aufgekittet ist. Dieser Dehnungsmesser 142 ist mittels Leitungen 144 elektrisch mit einem Verstärker verbunden und erzeugt ein Signal, wenn die Feder Io6 beim Durchbiegen der Sondenspitze gebogen wird.

Auf diese Weise kann die Sondenspitze die Gegenwart oder das Fehlen einer sehr dünnen Dimension wahrnehmen und ein Signal hervorrufen, das seinerseits zum Steuern der Tätigkeit der Sonde benützt werden kann. Wird z.B. der Sondenapparat vertikal gegen das Werkstück hin geschaltet, so wird die Sondenspitze bei jedem Schaltschritt durchgebogen. Sollte der Schalttisch das Werkstück unter der Sondenspitze wegverschieben, so weird die Spitze nicht abgelenkt; und dieses Fehlen eines Signals kann von einem Fühlerkreis verwendet . werden zum Verschieben des Tisches und desWerkstückes rückwärts unter die Sondenspitze, nämlich durch Ändern der Richtung der Tischbewegung. Auf jeden Fall ist der Dehnungsmesser

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sehr¹ empfindlich und ist fähig, Höhendifferenzen in der Größenordnung von 0,02 mm wahrzunehmen. Die Fühlerschaltung weist einen Schrittschalterkreis auf, der die Maschine vorwärtsschaltet, bis die Sonde das Prüfstück findet. Der Bewegungsablauf ist wie folgt.

Steigt der Z-Objekttisch 26 auf, und wird die Sonde durch das Prüfstück durchgebogen, so bewirkt ein Signal vom Fühler ein Anhalten der Maschine und die Abgabe eines Signals zum Beginn des Prüfvorgangs an die zugeordnete Prüfausrüstung. Am Ende der Prüfung schaltet die Maschine wieder ein und wiederholt ihre Arbeit. Wird beim Aufsteigen des Z-Tisches 26 kein Signal im Fühler erzeugt, weil die Sonde nicht auf dem Prüfling liegt, so bewirkt die Schaltung ein Verschieben der Maschine um einen Schritt längs 'der X-Achse, aber eine Richtungsumkehr längs der Y-Achse. Die Maschine stellt sich automatisch von selbst längs der neuen Y-Riehtung ein, bie die Sonde wieder unter das Werkstück gelangt. Während dieses Manövers wird kein Signal zur Aufnahme der Prüfungabgegeben, bis die Sonde wieder auf dem Werkstück ruht.

Die Sondenspitze ist elektrisch durch Leitungen 146 mit einem Prüf-Schaltkreis verbunden.

Fig. 5 zeigt eine auf den oben beschriebenen Fühler oder Festleger der Sondenablenkung oder Durchbiegung beruhende Schaltvorrichtung. Diese weist eine Flachfeder 146 auf, deren eines Ende auf einem festen Träger 148 montiert ist, und deren anderes Ende eine Rolle 15o trägt. Letztere sitzt auf einem sich bewegenden Gegenstand, z.B. einem Nocken 152, so daß die Feder bei jedem Durchgang des Nockenhöckers unter der Rolle durchgebogen wird. Auf die Feder ist ein Dehnungsmesser 154, z.B. ein piezoelektrischer Kristall, aufgekittet und durch Leitungen I56 an einem Verstärker 158 angeschlossen. Beim Durchbiegen der Feder wird durch den Dehnungsmesser ein Signal erzeugt, das verstärkt wird zwecks Verwendung in einer Steuervorrichtung, z.B. einem Relais. Der in dieser Anordnung enthaltene Schalter kann offenbar für viele Anwendungen ·

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benützt werden und bildet einen sehr dauerhaften und hochempfindlichen Schalter.

Der oben beschriebene Sonden- oder Peinmessapparat bildet eine sehr genaue, wirksame und rasch arbeitende Einrichtung zum Ausführen von Repetier-Sondierungen an einem gegebenen Prüfling. In der Praxis kann der Prüfling oder das Werkstück auf das Aufspannfutter gespannt, und die Einrichtung vorprogrammiert werden zum Ausführen von Schritt- und Wiederholungsoperationen. Ist nun die Maschine einmal im Gang, so braucht sie weiter keine Bedienung, da der Apparat automatisch funktioriert. Sollte die Sonde z.B. eine Unvollkommenheit am Werkstück wahrnehmen, so kann die Stelle automatisch mittels eines Tintenschreibers markiert werden, der sloh automatisch gegen das Werkstück bewegt und eine sichtbare Marke für einen Inspektor zurückläßt, wenn das Werkstück einmal von der Sonde ganz untersucht worden.ist! Da das Werkstück in Bezug auf die Sonde verschoben wird, und nicht umgekehrt die Sonde in Bezug auf das Werkstück, so ist die Maschine stark vereinfacht, da ja. dasMerkstüek im Vergleich zu den vielen Sonden ganz leicht ist. Weiter gewährleistet die Verwendung der die Sonde tragenden Parallelfedern, daß die Sonde selbst durch eine Vertlkaleteene bewegt wird, wodurch irgendwelche Äbwisch- oöer Abgreifbewegung auf dem Werkstück auf aia absolutes li^inrnm reduziert wird. Ferner gewährleistet die Parallelogramm-Aufhängung einen konstanten Druek der Sorade auf das Werkstück« ungeachtet der Einstellung« Si^ Seiteabswegung der Sonöe ist im wesentlichen ausgeschaltet ungeachtet der Höhenlage des Punktes.

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Claims (1)

1. Patentansprüche

   !.Vorrichtung zum Hin- und Herverschieben eines Gegenstandes längs einer gegebenen Achse, gekennzeichnet durch eine Plattform zur Aufnahme des Gegenstandes, einen gleitend auf die Plattform einwirkenden und längs einer zur gegebenen Achse senkrechten Achse beweglichen Keil, Mittel zum Führen der Plattform nur längs der gegebenen Achse, und Kraftmittel zum Hin- und Herverschieben des Keils relativ zur Plattform, wodurch letztere sich längs der gegebenen Achse hin- und herbewegt. *

   2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch federnde, mit dem Keil verbundene Mittel, die den Keil · gegen die Kraftmittel drängen. .

   5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch einen mit dem Keil wirkungsverbundenen Stoßdämpfer zum Dämpfen der Keilbewegung. . .

   4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3* gekennzeichnet durch einen Sockel und diesen mit der Plattform verbindende Fedemrittel zum Abdrängen der Plattform Iftngs der gegebenen Achse in einer Richtung entgegengesetzt der durch die Tätigkeit der Kraftmittel erzeugten Richtung,

   5. Vorrichtung nach einem der Patentansprüche 1 fels 4, ; gekennzeichnet durch einen Sockel, eine Plattform zur Aufnahme des Gegenstandes, einen gleitend auf die Plattform und Sockel einwirkenden und längs einer zur gegebenen Achse senkrechten Achse beweglichen Keil, ein auf die Plattform und den Sockel einwirkdendea biegsames Diaphragma zum Führen der Plattform längs der gegebenen Achse, und auf dem Sockel montierte und mit dem Keil antriebsverbundene Kraftmittel zum Hin- und Herverschieben des Keils In Bezug auf die Plattform, wodurch diese sich längs der gegebenen Achse hin- und herbewegt. ■'·*'/

   6. Sondenhalterung, gekennzeichnet durch einen Träger, ein Paar voneinander abgesetzter, paralleler, an einen Ende starr mit dem Träger verbundenen Blattfedern, eine am anderen

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   Ende der Federn montierte Sonde, wodurch ein auf die Sonde in einer Richtung senkrecht zu den Federebenen ausgeübter Druck eine annähernd geradlinige Durchbiegung der Sonde hervorruft.

   7· Sendehhalterung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind zum Montieren des Trägers für beschränkte seitliche Bewegung durch eine Ebene parallel zu den Federebenen.

   8. Sonde nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung ein Paar von aufeinander gelber, gleitbar miteinander verbundener Glieder aufweist, die mit entgegengesetzt gerichteten, abgepaßten, halbkugeligen Ausnehmungen versehen sind, ein in letzteren zwischen den Gle^dern montiertea kugeliges Glied, und ein längliches mit dem kugeligen Glied verbundenes Glied, das von einem der aufeinandergelegten Glieder nach außen ragt, wodurch bei einer Manipulation des länglichen Gliedes eines der aufeinandergelegten Glieder seitlich verschoben wird.

   9. Sonde nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Dehnungsmesser auf eine der Federn aufgekittet ist, um beim Durchbiegen der Sonde ein Signal zu erzeugen.

   10. Sonde nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Federn aufnehmende Mittel vorgesehen £ind zum Verschieben der Sonde in einer zu den Federebenen senkrechten Richtung.

   11. Sonde nach einem der Ansprüche 7 bis lo, dadurch gekennzeichnet, daß federbelas.tende, auf die Federn einwirkende Mittel vorgesehen sind zum Verändern der Aufhängung derselben".

   12. Schaltvorrichtung gekennzeichnet durch einen Sockel, eine auf diesem montierte Blattfeder, deren eines Ende von

   ' diesem wegragt, und durch einen auf die eine Seite der Blattfeder aufgekitteten Dehnungsmesser zum Verstärken von Signalen, die beim Durchbiegen des freien Endes der Blattfeder vom Dehnungsmesser erzeugt werden.

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