DE165771T1 - Ellipsometer vom typ eines drehanalysators. - Google Patents
Ellipsometer vom typ eines drehanalysators.Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
- G01N21/211—Ellipsometry
Claims (5)
1. Rotationsanalysatorellipsometer mit einem Rotationsanalysator
(27), der Licht empfängt, das unter einem vorbestimmten Winkel auf eine Probe (10, 10a) auftrifft
und von dieser reflektiert wird, einer Drehphasenerfassungsvorrichtung (28), die so vorgesehen ist,
daß sie unitarisch mit dem Rotationsanalysator rotiert, um mit der Drehung der Drehphasenerfassungsvorrichtung
ein Drehphasensignal zu erzeugen, und einer Rotationsvorrichtung (60, 61), die den Rotationsanalysator und
die Drehphasenerfassungsvorrichtung dreht,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Fotodetektor (30) vorgesehen ist, der in Abhängigkeit
von durch den Rotationsanalysator (27) hin·*·
durchgetretenem Licht ein Auεgangssignal erzeugt, und
eine Rechnereinrichtung (32), die eine Phasendifferenz zwischen dem Rotationsanalysator und der Drehphasenerfassungsvorrichtung
(28) aus einem Phasenunterschied 0 bestimmt, mit dem eine Abweichung zwischen einem Ausgangssignal
I des Fotodetektors und einem theoretischen Wert I minimal wird oder im wesentlichen Null ist, wobei
hierzu das Ausgangssignal I des Fotodetektors in die Rechnereinrichtung eingegeben wird und der theoretische
Wert I berechnet wird, während die Werte des Ausgangssignals I und ein Anfangswert 0 des Phasenunterschieds
verändert werden.
2. Eilipsometer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Probe einen transparenten Film (12) auf der Oberseite eines transparenten Trägers (11) aufweist und die Rechnereinrichtung die Phasendifferenz einstellt, die als ein Anfangswert für die Berechnung einer Filmdicke gewonnen wird.
dadurch gekennzeichnet, daß die Probe einen transparenten Film (12) auf der Oberseite eines transparenten Trägers (11) aufweist und die Rechnereinrichtung die Phasendifferenz einstellt, die als ein Anfangswert für die Berechnung einer Filmdicke gewonnen wird.
-ά-
3. Eilipsometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der vorbestimmte Einfallswinkel θ zu θ = tan η
angesetzt wird, wobei η dem Brechungsindex der Probe entspricht.
4. Eilipsometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß darüber hinaus eine hohle Drehwelle (59) vorgesehen
ist, die mittels der Rotationsvorrichtung gedreht wird, wobei der Rotationsanalysator innerhalb dieser hohlen
Drehwelle so angeordnet ist, daß seine optische Achse mit der Drehachse der hohlen Drehwelle zusammenfällt,
die Rotationsphasenerfassungsvorrichtung eine auf dieser hohlen Drehwelle angeordnete Drehplatte (62) und
eine Einrichtung (63) aufweist, die ein Drehphasensignal in Abhängigkeit von der Drehung dieser Drehplatte
erzeugt, und wobei die hohle Drehwelle so angeordnet ist, daß ihre Drehachse mit dem Zentrum von einem von
der Probe zum Fotodetektor reichenden optischen Weg zusammenfällt.
5. Eilipsometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsvorrichtung einen Motor mit einem
Rotor (60) aufweist, der so auf der hohlen Drehwelle angeordnet ist, daß er unitarisch mit der hohlen Drehwelle
rotiert.
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DE8585304198T Expired - Fee Related DE3581319D1 (de) | 1984-06-12 | 1985-06-12 | Verfahren zur bestimmung der phasendifferenz zwischen dem drehanalysator und dem drehphasengeber eines ellipsometers. |
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