DE165771T1 - Ellipsometer vom typ eines drehanalysators. - Google Patents

Ellipsometer vom typ eines drehanalysators.

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DE165771T1
DE165771T1 DE198585304198T DE85304198T DE165771T1 DE 165771 T1 DE165771 T1 DE 165771T1 DE 198585304198 T DE198585304198 T DE 198585304198T DE 85304198 T DE85304198 T DE 85304198T DE 165771 T1 DE165771 T1 DE 165771T1
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rotation
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rotary
rotating shaft
photodetector
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Application number
DE198585304198T
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English (en)
Inventor
Makoto Yokohama-Shi Kanagawa-Ken Itonaga
Kanji Hatano-Shi Kanagawa-Ken Kayanuma
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Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21Polarisation-affecting properties
    • G01N21/211Ellipsometry

Claims (5)

Victor Company of Japan, Ltd. Patentansprüche:
1. Rotationsanalysatorellipsometer mit einem Rotationsanalysator (27), der Licht empfängt, das unter einem vorbestimmten Winkel auf eine Probe (10, 10a) auftrifft und von dieser reflektiert wird, einer Drehphasenerfassungsvorrichtung (28), die so vorgesehen ist, daß sie unitarisch mit dem Rotationsanalysator rotiert, um mit der Drehung der Drehphasenerfassungsvorrichtung ein Drehphasensignal zu erzeugen, und einer Rotationsvorrichtung (60, 61), die den Rotationsanalysator und die Drehphasenerfassungsvorrichtung dreht, dadurch gekennzeichnet, daß ein Fotodetektor (30) vorgesehen ist, der in Abhängigkeit von durch den Rotationsanalysator (27) hin·*· durchgetretenem Licht ein Auεgangssignal erzeugt, und eine Rechnereinrichtung (32), die eine Phasendifferenz zwischen dem Rotationsanalysator und der Drehphasenerfassungsvorrichtung (28) aus einem Phasenunterschied 0 bestimmt, mit dem eine Abweichung zwischen einem Ausgangssignal I des Fotodetektors und einem theoretischen Wert I minimal wird oder im wesentlichen Null ist, wobei hierzu das Ausgangssignal I des Fotodetektors in die Rechnereinrichtung eingegeben wird und der theoretische Wert I berechnet wird, während die Werte des Ausgangssignals I und ein Anfangswert 0 des Phasenunterschieds verändert werden.
2. Eilipsometer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Probe einen transparenten Film (12) auf der Oberseite eines transparenten Trägers (11) aufweist und die Rechnereinrichtung die Phasendifferenz einstellt, die als ein Anfangswert für die Berechnung einer Filmdicke gewonnen wird.
-ά-
3. Eilipsometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der vorbestimmte Einfallswinkel θ zu θ = tan η angesetzt wird, wobei η dem Brechungsindex der Probe entspricht.
4. Eilipsometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß darüber hinaus eine hohle Drehwelle (59) vorgesehen ist, die mittels der Rotationsvorrichtung gedreht wird, wobei der Rotationsanalysator innerhalb dieser hohlen Drehwelle so angeordnet ist, daß seine optische Achse mit der Drehachse der hohlen Drehwelle zusammenfällt, die Rotationsphasenerfassungsvorrichtung eine auf dieser hohlen Drehwelle angeordnete Drehplatte (62) und eine Einrichtung (63) aufweist, die ein Drehphasensignal in Abhängigkeit von der Drehung dieser Drehplatte erzeugt, und wobei die hohle Drehwelle so angeordnet ist, daß ihre Drehachse mit dem Zentrum von einem von der Probe zum Fotodetektor reichenden optischen Weg zusammenfällt.
5. Eilipsometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsvorrichtung einen Motor mit einem Rotor (60) aufweist, der so auf der hohlen Drehwelle angeordnet ist, daß er unitarisch mit der hohlen Drehwelle rotiert.
DE198585304198T 1984-06-12 1985-06-12 Ellipsometer vom typ eines drehanalysators. Pending DE165771T1 (de)

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