DE102010019448A1 - Semiconductor product backtracking method for use during semiconductor product manufacturing, involves forwarding identification data to printer, and printing identification data on lead frame by inkjet printing - Google Patents

Semiconductor product backtracking method for use during semiconductor product manufacturing, involves forwarding identification data to printer, and printing identification data on lead frame by inkjet printing Download PDF

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Abstract

The method involves producing, by a processing unit (28), an identification data including a unique identifier for a semiconductor product and/or a production material i.e. lead frame (16) such that the semiconductor product or the lead frame can be backtracked based on the unique identifier. The identification data produced by the processing unit is forwarded to a printer (12), and the identification data is printed on the lead frame by inkjet printing. An independent claim is also included for a backtracking system for use during a semiconductor product manufacturing process, comprising a processing unit.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Rückverfolgungsverfahren sowie ein Rückverfolgungssystem zur Verwendung bei der Herstellung von Halbleiterprodukten, deren Herstellungsprozess mehrere Schritte umfasst, in denen Produktionsmaterialien zu Halbleiterprodukten verarbeitet werden.The present invention relates to a backtracking method and a tracking system for use in the manufacture of semiconductor products, the manufacturing process of which comprises a plurality of steps in which production materials are processed into semiconductor products.

Grundsätzlich dienen Rückverfolgungssysteme und Rückverfolgsverfahren der Qualitätsüberwachung und Qualitätssicherung, indem sie während der Herstellung oder zu einem späteren Zeitpunkt nach Abschluss des Herstellungsprozesses eine Rückverfolgung des Produktes oder des Produktionsmaterials bis hin zu den Lieferanten der Produktionsmaterialien ermöglichen.Basically, traceability systems and traceability procedures are used to monitor quality and quality assurance by allowing traceability of the product or production material to the suppliers of production materials during manufacture or at a later stage after completion of the manufacturing process.

Aus dem Stand der Technik ist ferner bekannt, Halbleiter-Bauelemente mit einer Markierung zu versehen, die bestimmte Informationen bereitstellt. So offenbart die Patentschrift DE 37 50 589 T2 ein Herstellungsverfahren eines Halbleiter-Bauelements, wie eines DRAMs, bei dem ein Halbleiter-Chip an einem Leiterrahmen befestigt wird, der anschließend durch Spitzpressen in ein Epoxidharzmaterial eingegossen wird. Nach dem Harzvergießen wird Zinn oder dergleichen durch Elektroplattieren auf den Leiterrahmen aufgetragen und dieser anschließend markiert. Bei dem Markierungsvorgang werden Markierungen auf den Leiterrahmen des Halbleiter-Chips aufgebracht, die die Art der Erzeugnisse, die Klassifizierung und dergleichen wiedergeben.It is also known from the prior art to provide semiconductor components with a marking which provides certain information. Thus, the patent discloses DE 37 50 589 T2 a manufacturing method of a semiconductor device, such as a DRAM, in which a semiconductor chip is attached to a lead frame, which is then molded by injection molding into an epoxy resin material. After resin casting, tin or the like is applied to the lead frame by electroplating and then marked. In the marking process, marks are applied to the lead frame of the semiconductor chip representing the kind of the products, the classification, and the like.

Die Markierung kann als eine Tintenmarkierung auf den Leiterrahmen aufgebracht werden, die in einen nachfolgenden Schritt etwa drei bis fünf Stunden zum Trocknen der Tinte ausgeheizt wird (Markierungsausheizen). Alternativ kann eine Lasermarkierung verwendet werden, bei der mit Hilfe eines Laserstrahls eine Markierung auf die Epoxidharzschicht des Leiterrahmens aufgebracht wird.The mark may be applied as an ink mark on the lead frame which is baked in a subsequent step for about three to five hours to dry the ink (mark anneal). Alternatively, a laser marking can be used in which a mark is applied to the epoxy resin layer of the leadframe with the aid of a laser beam.

Die Markierung wird auf „genehmigten Erzeugnissen” angebracht, d. h. auf Erzeugnissen, die weder nachbearbeitet werden müssen noch sogenannten „Ausschuss” (Produkte, die derart fehlerbehaftet sind, dass sie den ihnen zugedachten Zweck nicht hinreichend erfüllen können) bilden, wobei die Markierung dazu dient, den nachfolgenden Einbau der Halbleiterprodukte dadurch zu erleichtern, dass beispielsweise eine Klassifizierung oder dergleichen auf diesen aufgedruckt ist.The marking is affixed to "approved products", d. H. on products which do not need to be reworked or so-called "scrap" (products that are so defective that they can not adequately fulfill their intended purpose), the mark being used to facilitate subsequent incorporation of the semiconductor products by: For example, a classification or the like is printed on this.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, bekannte Rückverfolgungsverfahren weiterzuentwickeln, um eine kostengünstige, zuverlässige und eindeutige Rückverfolgbarkeit von Halbleiterprodukten und/oder Produktionsmaterialien zu gewährleisten.It is an object of the present invention to further develop known traceability methods to ensure cost-effective, reliable and unambiguous traceability of semiconductor products and / or production materials.

Die vorliegenden Erfindung stellt demgegenüber ein Rückverfolgungsverfahren zur Nutzung bei der Herstellung von Halbleiterprodukten bereit, das die nachfolgenden Schritte aufweist: Erzeugen einer Kennzeichnung mittels einer ersten Recheneinheit, wobei die Kennzeichnung Daten umfasst, die eine eindeutige Identifizierung eines Halbleiterproduktes und/oder mindestens eines Produktionsmaterials erlauben, wobei anhand der Kennzeichnung die Identität des Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials rückverfolgt werden kann; Weiterleiten der erzeugten Kennzeichnung durch die erste Recheneinheit an einen Drucker; und Aufdrucken der erzeugten Kennzeichnung auf mindestens ein Produktionsmaterial mittels Tintenstrahldruck. Alternativ erfolgt das Aufdrucken der erzeugten Kennzeichnung auf mindestens ein Produktionsmaterial mittels Thermotransferdruck.In contrast, the present invention provides a backtracking method for use in the manufacture of semiconductor products, comprising the steps of: generating a tag by means of a first processing unit, the tag comprising data allowing unambiguous identification of a semiconductor product and / or at least one production material; the identification being used to trace the identity of the semiconductor product and / or the at least one production material; Forwarding the generated identifier by the first processing unit to a printer; and printing the generated label on at least one production material by ink jet printing. Alternatively, the printing of the generated marking is carried out on at least one production material by means of thermal transfer printing.

Das Aufdrucken der Kennzeichnung mittels Tintenstrahldruck oder Thermotransferdruck hat Vorteile bezüglich der Kosten und der Qualität der Kennzeichnung, da Anlagen zum Eingravieren der Kennzeichnung oder Aufbringen mittels Laserstrahlung im Regelfall deutlich teurer sind als der erfindungsgemäße Drucker. Ferner wird durch das Aufdrucken die Oberfläche des Halbleiterproduktes bzw. der Produktionsmaterialien nicht geschädigt. Auch die Kennzeichnungsgeschwindigkeit kann erhöht werden.The printing of the marking by means of ink-jet printing or thermal transfer printing has advantages with regard to the costs and the quality of the marking, since systems for engraving the marking or applying by means of laser radiation are generally considerably more expensive than the printer according to the invention. Furthermore, printing does not damage the surface of the semiconductor product or the production materials. The labeling speed can also be increased.

Die von der Recheneinheit erzeugte Kennzeichnung ist eine individuelle Kennzeichnung, so dass keine zwei Halbleiterprodukte oder Produktionsmaterialien eine identische Kennzeichnung aufweisen. Auf diese Weise wird gewährleistet, dass die Identität eines Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials als solche rückverfolgt werden kann. Mit Hilfe der individuellen Kennzeichnung kann jederzeit genau ermittelt werden (beispielsweise durch Abfrage der Kennzeichnung in einer Datenbank), welche Herstellungsschritte mit welchen Prozessparametern das jeweilige Halbleiterprodukt und/oder das mindestens eine Produktionsmaterial bereits durchlaufen hat bzw. noch durchlaufen muss, zu welchem Zeitpunkt dies geschehen ist bzw. soll, woher das mindestens eine Produktionsmaterial bezogen wurde und dergleichen. Auch lassen sich anhand der individuellen Kennzeichnung auf dem Produkt oder Produktionsmaterial zusätzliche Informationen betreffend beispielsweise die Art des Materials, die Klassifizierung des Halbleiterproduktes oder des Produktionsmaterials und die geplante Verwendung des Produkts oder Produktionsmaterials rückverfolgen.The identifier generated by the arithmetic unit is an individual identifier, so that no two semiconductor products or production materials have an identical identifier. In this way, it is ensured that the identity of a semiconductor product and / or the at least one production material can be traced as such. With the help of the individual labeling can be determined at any time (for example, by querying the labeling in a database), which manufacturing steps with which process parameters the respective semiconductor product and / or the at least one production material has already gone through or still has to go through, at what time this happen is or should, from where the at least one production material was obtained and the like. Also, the individual marking on the product or production material can be used to track additional information regarding, for example, the nature of the material, the classification of the semiconductor product or the production material, and the intended use of the product or production material.

Dadurch dass mit Hilfe der Kennzeichnung eine eindeutige Identifizierung des Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials bereitgestellt wird, ist es sowohl während des Herstellungsprozesses als auch danach möglich, alle bislang erfolgten Herstellungsprozessesschritte und deren Prozessparameter nachzuvollziehen. Auf diese Weise lassen sich Rückschlüsse, z. B. bei einer Fehlfunktion des Halbleiterproduktes, auf deren Ursache und damit auf eine mögliche Lösung zur Behebung der Fehlfunktion ziehen. Zudem dient eine Rückverfolgbarkeit während des Herstellungsprozesses durch eine eindeutige Identifizierung des Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials zur Prozessabsicherung. So kann beispielsweise bei einer ermittelten Fehlfunktion eines Halbleiterprodukts festgestellt werden, ob diese auf einen Produktionsfehler zurückzuführen ist, und einem solchen durch eine Anpassung der entsprechenden Prozessparameter für die zukünftige Produktion frühzeitig entgegengewirkt werden. Weiterhin lässt die Rückverfolgbarkeit Rückschlüsse auf die Lebensdauer der unmittelbar vor und unmittelbar nach dem fehlerhaft produzierten Halbleiterprodukt hergestellten Halbleiterprodukte zu.By providing a unique identification of the semiconductor product and / or the at least one production material with the aid of the identification, it is possible for all during the manufacturing process as well as afterwards Previously completed manufacturing process steps and their process parameters to understand. In this way, conclusions, z. B. in a malfunction of the semiconductor product, on the cause and thus draw on a possible solution to correct the malfunction. In addition, traceability during the manufacturing process is ensured by a clear identification of the semiconductor product and / or the at least one production material for process assurance. Thus, it can be determined, for example, in the case of an identified malfunction of a semiconductor product, whether this is due to a production error, and such are counteracted at an early stage by an adaptation of the corresponding process parameters for future production. Furthermore, traceability allows conclusions to be drawn on the service life of the semiconductor products produced immediately before and immediately after the defective semiconductor product.

Der Begriff „Produktionsmaterialien” umfasst sowohl Ausgangsmaterialien als auch Zwischenprodukte, die bereits einige Herstellungsschritte bei der Herstellung von Halbleiterprodukten durchlaufen haben. Es ist möglich ein Halbleiterprodukt als ganzes zu kennzeichnen, wobei die Kennzeichnung Daten zur Identifizierung wenigstens eines Produktionsmaterials des Halbleiterproduktes aufweisen kann. Im Regelfall wird eine solche Kennzeichnung eines Halbleiterproduktes jedoch sinnvoller Weise Daten zur Identifizierung aller Produktionsmaterialien des einen Halbleiterproduktes durch die eindeutige Identität des Halbleiterproduktes aufweisen. Alternativ können auch mehrere oder alle Produktionsmaterialien eines Halbleiterproduktes mit einzelnen Kennzeichnungen versehen werden.The term "production materials" includes both starting materials and intermediates that have already undergone some manufacturing steps in the manufacture of semiconductor products. It is possible to label a semiconductor product as a whole, which tag may have data for identifying at least one production material of the semiconductor product. As a rule, however, such a marking of a semiconductor product will usefully have data for identifying all production materials of the one semiconductor product by the unique identity of the semiconductor product. Alternatively, several or all production materials of a semiconductor product can be provided with individual markings.

Bei den Produktionsmaterialien kann es sich beispielsweise um einen Leiterrahmen (Lead frame) oder einen Halbleiter-Chip handeln, die gemeinsam ein Halbleiter-Bauelement (Halbleiterprodukt) bilden.The production materials may be, for example, a lead frame or a semiconductor chip, which together form a semiconductor component (semiconductor product).

Die von der Recheneinheit erzeugte Kennzeichnung kann in einem Datenformat an den Drucker weitergeleitet werden, das von dem Drucker verarbeitet wird, um die Kennzeichnung auf die Produktionsmaterialien bzw. das jeweilige Produkt aufzudrucken zu können. Alternativ kann die Recheneinheit auch die vollständige Kennzeichnung erzeugen (beispielsweise als ein Bild) und diese an den Drucker weiterleiten.The identification generated by the arithmetic unit can be forwarded in a data format to the printer which is processed by the printer in order to be able to print the identification on the production materials or the respective product. Alternatively, the arithmetic unit may also generate the complete tag (for example, as an image) and forward it to the printer.

In einer Weiterbildung der Erfindung kann die Kennzeichnung eine Codierung umfassen, insbesondere einen eindimensionalen oder zweidimensionalen Code in der Art eines Barcodes oder Datamatrix-Codes. Dabei hat sich in der Praxis insbesondere ein zweidimensionaler Code als besonders sinnvoll erwiesen, da hiermit eine größere Informationsmenge kodiert werden kann.In one development of the invention, the identification may comprise a coding, in particular a one-dimensional or two-dimensional code in the manner of a barcode or data matrix code. In practice, in particular, a two-dimensional code has proven to be particularly useful, as this allows a larger amount of information to be encoded.

Der Aufdruck kann mit einer Tinte erfolgen, die auf dem mindestens einen Produktionsmaterial für das menschliche Auge nicht sichtbar ist und unter bestimmten Bedingungen sichtbar gemacht werden kann. Dies ist insbesondere dann wünschenswert, wenn das Halbleiterprodukt in einem eingebauten Zustand an einer Stelle angeordnet ist, an der die aufgedruckte Kennzeichnung für einen Betrachter von Außen sichtbar ist und als optisch störend empfunden werden könnte. In diesem Fall kann der Aufdruck beispielsweise mit einer Tinte erfolgen, die auf ultraviolette Strahlung, wie beispielsweise auf UV-Licht, empfindlich reagiert und durch diese sichtbar gemacht wird. Alternativ sind jedoch auch andere Varianten denkbar, bei denen die Tinte derart gewählt ist, dass die aufgedruckte Kennzeichnung beispielsweise bei einer bestimmten Temperatur oder einem bestimmten Feuchtegrad oder dergleichen sichtbar wird. Die Tinte kann auch elektrisch leitende oder magnetische Bestandteile enthalten, die mit Hilfe einer Messvorrichtung (beispielsweise einem Induktionsmesskreis) detektiert werden können.The imprint can be made with an ink that is not visible to the human eye on the at least one production material and can be made visible under certain conditions. This is particularly desirable if the semiconductor product is arranged in a built-in state at a location at which the printed label for a viewer from the outside is visible and could be perceived as visually disturbing. In this case, for example, the print may be made with an ink that is sensitive to and made visible by ultraviolet radiation, such as UV light. Alternatively, however, other variants are conceivable in which the ink is selected such that the printed label is visible, for example, at a certain temperature or a certain degree of moisture or the like. The ink may also contain electrically conductive or magnetic components that can be detected by means of a measuring device (for example an induction measuring circuit).

Gleichermaßen kann der Aufdruck mittels Thermotransferdruck mit speziellen Farbfolien erfolgen, deren Farbe, wie vorstehend in Bezug auf Tinte beschrieben, auf dem mindestens einen Produktionsmaterial für das menschliche Auge nicht sichtbar ist und unter bestimmten Bedingungen sichtbar gemacht werden kann.Similarly, the printing may be by thermal transfer printing with special color transparencies whose color, as described above in relation to ink, is not visible on the at least one production material to the human eye and can be visualized under certain conditions.

Somit muss eine Kennzeichnung, die aufgrund der verwendeten Tinte oder der verwendeten Farbe der Farbfolie für das menschliche Auge quasi unsichtbar ist, für jedes Einlesen sichtbar gemacht werden. Dies geschieht, indem die für die Sichtbarkeit der verwendeten Tinte oder Farbe erforderliche Bedingung eingestellt wird, in dem beispielsweise ein Scanner zum Einlesen der Kennzeichnung UV-Licht verwendet oder die Kennzeichnung mit einer Messvorrichtung detektiert wird, die elektrisch leitende oder magnetische Bestandteile der Tinte oder Farbe ermitteln kann.Thus, a label that is virtually invisible to the human eye due to the ink used or the color of the color foil used must be made visible for each reading. This is done by setting the condition required for the visibility of the ink or ink used, for example, by using a scanner to read the label UV light, or by detecting the label with a measuring device, the electrically conductive or magnetic components of the ink or ink can determine.

Die Tinte oder Farbe der Farbfolie kann ferner derart ausgebildet bzw. ausgewählt werden, dass alle Arten von Materialoberflächen bedruckt werden können. Hierzu werden der Tinte oder der Farbe der Farbfolie abhängig von dem zu bedruckenden Material unterschiedliche Zusätze beigemengt, die eine Haftung bzw. Haltbarkeit der aufgedruckten Kennzeichnung auf der jeweiligen Materialoberfläche gewährleisten.The ink or color of the color foil can also be designed or selected such that all types of material surfaces can be printed. For this purpose, the ink or the color of the color film are added depending on the material to be printed different additives that ensure adhesion or durability of the printed label on the respective material surface.

In der Praxis können für den Aufdruck mittels Tintenstrahldruck mehrere vorgemischte Tintenarten bereitgestellt werden, aus denen der Drucker je nach Art des zu bedruckenden Materials eine Tinte auswählen kann. Alternativ kann der Drucker auch dazu ausgebildet sein, der Tinte in Abhängigkeit des zu bedruckenden Materials bestimmte Zusätze beizumengen, die den Aufdruck auf dem wenigstens einen zu bedruckenden Produktionsmaterial haftbar bzw. haltbar machen.In practice, inkjet printing may provide several premixed types of inks that make up the printer, depending on the printer Type of material to be printed can select an ink. Alternatively, the printer can also be designed to add certain additives to the ink depending on the material to be printed, which make the print on the at least one production material to be printed liable or durable.

Bei der Verwendung von Farbfolien für das Thermotransferdruckverfahren kann der Drucker je nach Art des zu bedruckenden Materials ebenfalls eine Druckfolie auswählen, deren Farbzusammensetzung auf das zu bedruckende Material abgestimmt ist.When using color transparencies for the thermal transfer printing process, the printer may also select a printing sheet whose color composition is matched to the material to be printed, depending on the type of material to be printed.

Das Rückverfolgungsverfahren kann ferner den Schritt aufweisen: überprüfen der aufgedruckten Kennzeichnung dahingehend, ob sie mit der erzeugten Kennzeichnung übereinstimmt. Hierbei kann der Schritt des Überprüfens umfassen: Einlesen der aufgedruckten Kennzeichnung durch einen Scanner; Weiterleiten der eingelesenen Kennzeichnung durch den Scanner an die erste Recheneinheit; Vergleichen der aufgedruckten Kennzeichnung mit der erzeugten Kennzeichnung durch die erste Recheneinheit; und Auswerten der Vergleichsdaten durch die erste Recheneinheit.The backtracking method may further include the step of checking the printed tag to see if it matches the generated tag. Herein, the step of checking may include: reading the printed label by a scanner; Forwarding the read-in marking by the scanner to the first processing unit; Comparing the printed label with the generated label by the first arithmetic unit; and evaluating the comparison data by the first arithmetic unit.

Die Kennzeichnung wird somit zu einem Zeitpunkt im Herstellungsprozess kurz nach dem Aufdruck durch den Drucker von einem Scanner eingelesen, der diese in ein Datenformat umwandelt, welches von der ersten Recheneinheit weiterverarbeitet werden kann. Die eingelesene Kennzeichnung wird vom Scanner anschließend an die erste Recheneinheit weitergeleitet, die bereits die aufzudruckende Kennzeichnung erzeugt hat. Die erste Recheneinheit vergleicht dann die vom Scanner eingelesene aufgedruckte Kennzeichnung mit der von ihr erzeugten Kennzeichnung und wertet die aus diesem Vergleich resultierenden Daten (Vergleichsdaten) aus.The marking is thus read at a time in the manufacturing process shortly after the imprint by the printer from a scanner, which converts it into a data format, which can be further processed by the first processing unit. The scanned marking is then forwarded by the scanner to the first arithmetic unit, which has already generated the label to be printed. The first arithmetic unit then compares the printed identification scanned by the scanner with the identification generated by it and evaluates the data resulting from this comparison (comparison data).

Anstelle oder zusätzlich zu der ersten Recheneinheit kann auch eine weitere Recheneinheit vorgesehen sein, die zum Vergleichen und zur Auswertung der Vergleichsdaten eingesetzt wird, wobei diese jedoch zumindest die von der ersten Recheneinheit erzeugte aufzudruckende Kennzeichnung als verwertbare Daten erhalten muss. Somit muss in diesem Fall die erste Recheneinheit der weiteren Recheneinheit die erzeugte Kennzeichnung für das jeweilige Produkt bzw. Produktionsmaterial bereitstellen.Instead of or in addition to the first arithmetic unit, it is also possible to provide a further arithmetic unit which is used for comparing and evaluating the comparison data, but this must at least receive the label to be printed by the first arithmetic unit as usable data. Thus, in this case, the first arithmetic unit of the further arithmetic unit must provide the generated identifier for the respective product or production material.

Bei der Auswertung der Vergleichsdaten kann die erste Recheneinheit die erzeugte Kennzeichnung als SOLL-Daten und die tatsächlich aufgedruckte Kennzeichnung als IST-Daten miteinander vergleichen und beispielsweise die Anzahl der Abweichungen quantitativ und/oder die Art der Abweichungen qualitativ bewerten. Alternativ vergleicht die erste Recheneinheit bei der Auswertung der Vergleichsdaten die mit der Kennzeichnung dargestellten Daten (IST-Daten) und die Daten, die mit der Kennzeichnung dargestellt werden sollten (SOLL-Daten), und wertet die Abweichung zwischen diesen quantitativ und/oder qualitativ aus.When evaluating the comparison data, the first arithmetic unit can compare the generated identifier as a target data and the actually printed identifier as actual data and, for example, qualitatively evaluate the number of deviations quantitatively and / or the type of deviations. Alternatively, in the evaluation of the comparison data, the first arithmetic unit compares the data (IST data) represented by the identification and the data that should be displayed with the identification (DESIRED data), and evaluates the deviation between these quantitatively and / or qualitatively ,

In einer Ausführungsform der Erfindung entscheidet die erste Recheneinheit anhand der ausgewerteten Vergleichsdaten und einer vorbestimmten maximalen Abweichung, ob eine aufgedruckte Kennzeichnung mit der erzeugten Kennzeichnung übereinstimmt. Dabei kann die Abweichung durch quantitative oder qualitative Merkmale oder durch eine Mischung hieraus definiert sein, abhängig davon wie die Recheneinheit die Vergleichsdaten ausgewertet hat. Dabei stimmt die aufgedruckte Kennzeichnung beispielsweise dann mit der erzeugten Kennzeichnung überein, wenn die ermittelte Abweichung kleiner ist als die vorbestimmte maximale Abweichung.In one embodiment of the invention, the first arithmetic unit decides on the basis of the evaluated comparison data and a predetermined maximum deviation whether a printed identification matches the generated identification. In this case, the deviation can be defined by quantitative or qualitative features or by a mixture thereof, depending on how the arithmetic unit has evaluated the comparison data. In this case, the printed identification matches, for example, with the generated identification if the determined deviation is smaller than the predetermined maximum deviation.

Die erste Recheneinheit kann ferner mit dem Drucker verbunden sein und anhand der ausgewerteten Vergleichsdaten in der Art einer Regelung eine Rückmeldung an den Drucker geben. So kann die Recheneinheit bei einem fehlerhaften Druck dem Drucker eine Rückmeldung darüber geben, ob die aufgedruckte Kennzeichnung fehlerhaft ist bzw. worin der Fehler besteht, so dass dieser bestimmte Druckparameter nachregeln und/oder beispielsweise eine Zwischenreinigung der Druckköpfe veranlassen kann. Alternativ kann in Antwort auf die Rückmeldung der Recheneinheit der Drucker den Aufdruck auf die nachfolgenden Produktionsmaterialien bzw. Halbleiterprodukte unterbrechen, damit, z. B. durch einen Bediener oder durch das System selbst, überprüft werden kann, worauf der Druckfehler zurückzuführen ist.The first arithmetic unit may also be connected to the printer and, based on the evaluated comparison data in the manner of a control, provide feedback to the printer. Thus, the arithmetic unit in a faulty print the printer give a feedback on whether the printed label is faulty or in which the error exists, so that this readjust certain print parameters and / or cause, for example, an intermediate cleaning of the print heads. Alternatively, in response to the feedback from the arithmetic unit, the printer may interrupt the imprint on the subsequent production materials or semiconductor products so that, e.g. B. by an operator or by the system itself, can be checked, whereupon the printing error is due.

Es kann ferner vorgesehen sein, dass der Scanner und/oder die erste Recheneinheit in dem Drucker integriert ist/sind. Hierdurch kann besonders vorteilhaft eine kompakte Anlage zum Erzeugen und Aufdrucken einer erzeugten Kennzeichnung auf die Produktionsmaterialien bzw. Halbleiterprodukte bereitgestellt werden.It may further be provided that the scanner and / or the first computing unit is / are integrated in the printer. As a result, a compact system for generating and printing a generated marking onto the production materials or semiconductor products can be provided in a particularly advantageous manner.

Zudem kann der Drucker eine Druckfarbenaufbereitung aufweisen, die durch die erste Recheneinheit steuerbar ist und basierend auf der Rückmeldung der ersten Recheneinheit regelbar ist. So dient die Druckfarbenaufbereitung dazu, eine bestimmte Tintenzusammensetzung oder Farbfolie zum Aufdrucken der Kennzeichnung auf die Produktionsmaterialien bzw. Halbleiterprodukte bereitzustellen. Die Recheneinheit, die eine Kennzeichnung erzeugt, kann beispielsweise die zur Verfügung stehenden Informationen über das zu bedruckende Material nutzen und die Druckfarbenaufbereitung dazu veranlassen, die Tinte oder Farbfolie abhängig von dem zu bedruckenden Material auszuwählen und/oder dieser unterschiedliche Zusätze beizumengen, die eine Haftbarkeit bzw. Haltbarkeit der aufgedruckten Kennzeichnung auf der jeweiligen Materialoberfläche gewährleisten. Weiterhin kann die Recheneinheit der Druckfarbenaufbereitung die Farbe des Aufdrucks vorgeben.In addition, the printer may have an ink processing, which is controllable by the first processing unit and can be controlled based on the feedback of the first processing unit. Thus, ink processing serves to provide a particular ink composition or ink sheet for printing the indicia on the production materials or semiconductor products. For example, the arithmetic unit that generates an identifier may use the information available about the material to be printed and cause the ink processing to take place Select ink or color film depending on the material to be printed and / or this to add different additives that ensure the liability or durability of the printed label on the respective material surface. Furthermore, the arithmetic unit of the ink processing can specify the color of the imprint.

Im Falle eines fehlerhaften Drucks, d. h. eines Druckes bei dem die Tintenzusammensetzung oder die Farbe der Farbfolie anders ausgefallen ist als gewünscht, so dass die Farbe der Kennzeichnung, die Haltbarkeit oder Lesbarkeit der Kennzeichnung bzw. deren Sichtbarkeit beeinträchtigt ist (bei einer Kennzeichnung, die unter bestimmten Bedingungen sichtbar gemacht werden soll), kann die Tintenzusammensetzung oder Farbe der Farbfolie zudem basierend auf der Rückmeldung der ersten Recheneinheit entsprechend angepasst werden, indem beispielsweise einzelne Farbparameter, z. B. die Farbanteile der einzelnen Farben, nachgeregelt werden oder indem eine andere Farbfolie ausgewählt wird.In case of faulty pressure, i. H. a printing in which the ink composition or the color of the color foil is different than desired, so that the color of the label, the durability or readability of the label or their visibility is impaired (in a label that should be made visible under certain conditions) In addition, the ink composition or color of the color foil may be further adjusted based on the feedback from the first arithmetic unit, for example by adjusting individual color parameters, e.g. B. the color components of each color, readjusted or by another color film is selected.

Das Rückverfolgungsverfahren kann ferner den Schritt aufweisen: Ausschleusen von Halbleiterprodukten und/oder Produktionsmaterialien, deren aufgedruckte Kennzeichnung nicht mit der erzeugten Kennzeichnung übereinstimmt. Hierbei ist mit Ausschleusen von Halbleiterprodukten und/oder Produktionsmaterialien gemeint, dass diese nicht die geplanten weiteren Verarbeitungs- bzw. Herstellungsschritte durchlaufen, sondern zur Nachbearbeitung oder als Ausschuss den üblichen Verarbeitungs- bzw. Herstellungsprozess verlassen.The backtracking method may further comprise the step of: discharging semiconductor products and / or production materials whose printed label does not match the generated label. In this case, it is meant by discharging semiconductor products and / or production materials that they do not go through the planned further processing or production steps, but leave the usual processing or production process for post-processing or as rejects.

So kann im einfachsten Fall ein Warnsignal von der Recheneinheit erzeugt und an einen Bediener ausgegeben werden, das ihn auf auszuschleusende Produktionsmaterialen bzw. Halbleiterprodukte aufmerksam macht. Alternativ kann in einem voll automatisierten Verfahren eine spezielle Vorrichtung vorgesehen sein, die basierend auf der Entscheidung der ersten Recheneinheit Produktionsmaterialien bzw. Halbleiterprodukte ausschleust, deren aufgedruckte Kennzeichnung nicht mit der erzeugten Kennzeichnung übereinstimmt.Thus, in the simplest case, a warning signal can be generated by the computing unit and output to an operator, who alerts him or her to production materials or semiconductor products to be rejected. Alternatively, in a fully automated process, a special device may be provided which, based on the decision of the first processing unit, discharges production materials or semiconductor products whose printed identification does not match the generated labeling.

Das Rückverfolgungsverfahren kann zudem die weiteren Schritte aufweisen: Einlesen der Kennzeichnung durch einen zweiten Scanner, der die eingelesene Kennzeichnung an eine zweite Recheneinheit weiterleitet; und Verarbeiten der Kennzeichnung durch die zweite Recheneinheit, die anhand der Kennzeichnung die Identität des Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials rückverfolgen kann.The traceability method can also have the further steps of: reading in the identification by a second scanner, which forwards the read-in marking to a second arithmetic unit; and processing the tag by the second processing unit that can trace the identity of the semiconductor product and / or the at least one production material based on the tag.

Der zweite Scanner und die zweite Recheneinheit können von dem ersten Scanner und der ersten Recheneinheit verschieden sein. Alternativ können diese jedoch auch mit dem ersten Scanner bzw. der ersten Recheneinheit übereinstimmen. Im Regelfall werden der zweite Scanner und die zweite Recheneinheit separat von der ersten Recheneinheit, dem Drucker und dem ersten Scanner ausgebildet sein, um die Rückverfolgung des Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials am Ende des Herstellungsprozesses oder gegebenenfalls zu einem späteren Zeitpunkt ermöglichen.The second scanner and the second processor may be different from the first scanner and the first processor. Alternatively, however, these can also coincide with the first scanner or the first processor. As a rule, the second scanner and the second arithmetic unit will be formed separately from the first arithmetic unit, the printer and the first scanner in order to enable the traceability of the semiconductor product and / or the at least one production material at the end of the production process or optionally at a later time.

Die Erfindung betrifft schließlich auch ein Rückverfolgungssystem für ein Rückverfolgungsverfahren mit den vorstehend genannten Merkmalen, wobei das Rückverfolgungssystem wenigstens eine erste Recheneinheit aufweist, die dazu geeignet ist, eine Kennzeichnung zu erzeugen, die Daten umfasst, welche eine eindeutige Identifizierung eines Halbleiterproduktes und/oder mindestens eines Produktionsmaterials erlauben, wobei anhand der Kennzeichnung die Identität des Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials rückverfolgt werden kann, und einen Drucker, der dazu ausgebildet ist, die erzeugte Kennzeichnung auf mindestens ein Produktmaterial mittels Tintenstrahldruck aufzudrucken.Finally, the invention also relates to a traceability system for a traceability method having the above-mentioned features, wherein the traceability system has at least one first computation unit which is suitable for producing an identification which comprises data which clearly identifies a semiconductor product and / or at least one Allow production material to be traced, which identifies the identity of the semiconductor product and / or the at least one production material, and a printer adapted to print the generated indicia on at least one product material by ink jet printing.

Die Erfindung wird nachfolgend beispielhaft anhand der beigefügten Figuren erläutert. Es stellen dar:The invention will now be described by way of example with reference to the accompanying drawings. They show:

1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Rückverfolgungssystems; und 1 a schematic representation of a tracking system according to the invention; and

2 ein Flussdiagramm zur Darstellung des Schritte eines erfindungsgemäßen Rückverfolgungsverfahrens. 2 a flow chart illustrating the steps of a tracing method according to the invention.

Detaillierte Beschreibung der FigurenDetailed description of the figures

In 1 ist eine schematische Darstellung eines Rückverfolgungssystems 10 gezeigt, das eine erste Recheneinheit 28 umfasst sowie einen Drucker 12. Die erste Recheneinheit 28 ist in der in 1 gezeigten Ausführungsform in dem Drucker 12 integriert. Sie erzeugt eine Kennzeichnung mit. Daten, die eine eindeutige Identifizierung eines jeweiligen zu bedruckenden Leiterrahmens 14, 16, 18 erlauben. Anhand der Kennzeichnung kann die Identität eines jeden Leiterrahmens 14, 16, 18 bzw. eines Halbleiterproduktes mit Leiterrahmen 14, 16, 18 vollständig zurückverfolgt werden. Hieraus können Informationen über den Herstellungsprozess des Halbleiterproduktes, wie z. B. Prozessparameter, Herstellungszeitpunkt, verwendete Materialien, Lieferanten der Produktionsmaterialien und dergleichen, ermittelt werden. Alternativ oder zusätzlich zu einem Leiterrahmen können selbstverständlich auch andere Produktionsmaterialien des Halbleiterproduktes mit einer Kennzeichnung versehen werden.In 1 is a schematic representation of a tracking system 10 shown that a first arithmetic unit 28 includes as well as a printer 12 , The first arithmetic unit 28 is in the in 1 shown embodiment in the printer 12 integrated. It generates a label with. Data that uniquely identifies a particular leadframe to be printed 14 . 16 . 18 allow. On the basis of the marking, the identity of each lead frame 14 . 16 . 18 or a semiconductor product with lead frame 14 . 16 . 18 be fully traced. From this, information about the manufacturing process of the semiconductor product, such. As process parameters, time of manufacture, materials used, suppliers of the production materials and the like can be determined. As an alternative or in addition to a leadframe, it is of course also possible to provide other production materials of the semiconductor product with a marking.

Bei dem in 1 dargestellten Drucker 12 handelt es sich um einen Tintenstrahldrucker. Alternativ kann jedoch ebenfalls eine Thermotransferdrucker eingesetzt werden, bei dem über dem zu bedruckenden Material eine spezielle Farbfolie unter einem Thermodruckkopf hindurch geführt, der Hunderte von computergesteuerten Heizelementen besitzt, die das Druckbild übertragen. Wird ein Heizelement angesteuert und dessen Kopf erhitzt, schmilzt in der Folie die Farbschicht und wird auf das zu bedruckende Material übertragen. At the in 1 represented printer 12 it is an inkjet printer. Alternatively, however, a thermal transfer printer may also be used in which a special color foil is passed over the print material under a thermal printhead having hundreds of computerized heating elements which transfer the print image. If a heating element is controlled and its head heated, the color layer melts in the film and is transferred to the material to be printed.

Der dargestellte Drucker 12 hingegen umfasst einen Druckkopf 20, aus dem ein Tintenstrahl über eine Düse austritt. Der Druckkopf 20 ist mittels einer Leitung 22 mit einer Druckfarbenaufbereitung 24 verbunden. Die Druckfarbenaufbereitung 24 dient dazu, eine bestimmte Tintenzusammensetzung zum Bedrucken der Leiterrahmen 14, 16, 18 bereitzustellen und ist hierzu mit Hilfe der ersten Recheneinheit 28 regelbar. Die Tintenzusammensetzung wird dann über die Leitung 22 an den Druckkopf 20 abgegeben.The illustrated printer 12 however, includes a printhead 20 from which an ink jet exits through a nozzle. The printhead 20 is by means of a line 22 with an ink processing 24 connected. The printing ink processing 24 serves to create a specific ink composition for printing on the lead frames 14 . 16 . 18 and is for this purpose with the help of the first processing unit 28 adjustable. The ink composition is then passed over the line 22 to the printhead 20 issued.

Wie in 1 gezeigt, bedruckt der Drucker 12 mit seinem Druckkopf 20 den ersten Leiterrahmen 14 in einem vorbestimmten Bereich. Dieser wird nachfolgend (in der Position des Leiterrahmens 16) unter einem Scanner 26 positioniert, der in der in 1 dargestellten Anordnung in dem Drucker 12 integriert ist. Der Scanner 26 liest die auf den Leiterrahmen aufgedruckte Kennzeichnung ein und gibt die eingelesenen Daten an die erste Recheneinheit 28 weiter. Diese vergleicht die aufgedruckte Kennzeichnung mit der von ihr erzeugten Kennzeichnung und wertet diese Vergleichsdaten aus. Dabei kann im Rahmen der Auswertung die Abweichung zwischen der aufgedruckten Kennzeichnung und der erzeugten Kennzeichnung sowohl quantitativ als auch qualitativ (oder als Mischform hieraus) bewertet werden.As in 1 shown, the printer prints 12 with his printhead 20 the first ladder frame 14 in a predetermined area. This will be below (in the position of the lead frame 16 ) under a scanner 26 positioned in the in 1 illustrated arrangement in the printer 12 is integrated. The scanner 26 reads the label printed on the lead frame and gives the read data to the first processor 28 further. This compares the printed label with the label generated by it and evaluates this comparison data. In the context of the evaluation, the deviation between the printed marking and the marking produced can be assessed both quantitatively and qualitatively (or as a hybrid form thereof).

Die Recheneinheit 28 gibt anhand der von ihr ausgewerteten Vergleichsdaten in der Art einer Regelung eine Rückmeldung an die Druckfarbenaufbereitung 24 ab und regelt diese gegebenenfalls nach, um die Abweichung bei den nachfolgend zu bedruckenden Leiterrahmen zu verringern. Weiterhin kann die Recheneinheit 28 anhand der ausgewerteten Vergleichsdaten und gegebenenfalls einer vorbestimmten maximalen Abweichung entscheiden, ob die aufgedruckte Kennzeichnung ausreichend ist, um eine eindeutige Identifizierung zu ermöglichen, d. h. ob sie unter Berücksichtigung der maximalen Abweichung mit der auszudruckenden Kennzeichnung übereinstimmt, oder ob die Kennzeichnung auf dem Leiterrahmen 16 zu stark von der erzeugten Kennzeichnung, die der Leiterrahmen 16 aufweisen sollte, abweicht.The arithmetic unit 28 gives feedback on the printing ink preparation based on the comparative data evaluated by it in the manner of a control 24 If necessary, adjust it and adjust it if necessary to reduce the deviation in the subsequently printed lead frames. Furthermore, the arithmetic unit 28 On the basis of the evaluated comparison data and possibly a predetermined maximum deviation decide whether the printed label is sufficient to allow a clear identification, ie whether it coincides with the maximum deviation of the printed label, or whether the label on the lead frame 16 too strong of the generated marking, the lead frame 16 should differ.

In letzteren Fall kann die Recheneinheit 28 entscheiden, ob der Leiterrahmen 16 aus dem weiteren Herstellungsprozess ausgeschleust und gegebenenfalls nachbearbeitet oder als Ausschuss wiederverwertet wird. Stimmt die aufgedruckte Kennzeichnung mit der erzeugten Kennzeichnung des Leiterrahmens in einer hinreichenden Genauigkeit (+/– maximale Abweichung) überein, so wird der Herstellungsprozess des Halbleiterprodukts fortgesetzt, d. h. der Leiterrahmen 18 wie gewünscht weiter bearbeitet.In the latter case, the arithmetic unit 28 decide if the ladder frame 16 discharged from the further manufacturing process and optionally post-processed or recycled as waste. If the printed marking matches the generated marking of the leadframe to a sufficient accuracy (+/- maximum deviation), the manufacturing process of the semiconductor product, ie the leadframe, is continued 18 edited as desired.

Das vorstehend beschriebene Rückverfolgungsverfahren ist weiterhin auch in 2 als Flussdiagramm dargestellt, wobei in einem ersten Schritt 110 die erste Recheneinheit eine eindeutige Kennzeichnung für einen Leiterrahmen 14 erzeugt und diese in einem weiteren Schritt 112 an einen Drucker 12 weiterleitet. Der Drucker 12 druckt nun in einem Schritt 114 die erzeugte Kennzeichnung auf den Leiterrahmen 14. Ein nachgeschalteter Scanner 26 liest in Schritt 116 die aufgedruckte Kennzeichnung des Leiterrahmens (in der Position des Leiterrahmens 16) ein und leitet die eingelesene Kennzeichnung an die erste Recheneinheit 28 in Schritt 118 weiter. Die erste Recheneinheit 28 vergleicht in Schritt 120 die aufgedruckte Kennzeichnung mit der erzeugten Kennzeichnung und entscheidet bei der Auswertung der Vergleichsdaten in Schritt 122 basierend darauf, ob die aufgedruckte Kennzeichnung gleich der erzeugten Kennzeichnung +/– einer maximalen Abweichung ist, ob der Herstellungsprozess fortgesetzt wird (Schritt 124) oder der Leiterrahmen ausgeschleust wird (Schritt 126).The backtracking method described above is also known in 2 shown as a flowchart, wherein in a first step 110 the first arithmetic unit a unique identifier for a lead frame 14 generated and this in a further step 112 to a printer 12 forwards. The printer 12 prints in one step 114 the generated marking on the lead frame 14 , A downstream scanner 26 reads in step 116 the printed identification of the lead frame (in the position of the lead frame 16 ) and forwards the read-in marking to the first arithmetic unit 28 in step 118 further. The first arithmetic unit 28 compares in step 120 the printed identification with the generated marking and decides in the evaluation of the comparison data in step 122 based on whether the printed label is equal to the generated label +/- a maximum deviation, whether the manufacturing process continues (step 124 ) or the ladder frame is removed (step 126 ).

Anhand der aufgedruckten Kennzeichnung kann nachfolgend, d. h. während des Herstellungsprozesses oder zu einem späteren Zeitpunkt, durch Einlesen der Kennzeichnung mittels eines zweiten Scanners 30 in einem Schritt 128, Weiterleiten des eingelesenen Kennzeichnung an eine zweite Recheneinheit 32 (Schritt 130) und durch Verarbeiten der eingelesenen Kennzeichnung durch die zweite Recheneinheit 32 in einem Schritt 132 die Identität des jeweiligen Leiterrahmens und somit des Halbleiterproduktes rückverfolgt werden.On the basis of the printed marking can subsequently, ie during the manufacturing process or at a later date, by reading the label using a second scanner 30 in one step 128 , Forwarding the read-in marking to a second processing unit 32 (Step 130 ) and by processing the read-in label by the second processing unit 32 in one step 132 the identity of the respective lead frame and thus the semiconductor product can be traced.

Durch das Aufbringen einer eindeutigen individuellen Kennzeichnung wird sichergestellt, dass zu jedem Zeitpunkt während oder nach Abschluss des Herstellungsprozesses eine eindeutige Identifizierung des Leiterrahmens und damit des Halbleiterproduktes möglich ist, so dass dessen gesamter Herstellungsprozess einschließlich aller Prozessparameter rückverfolgbar ist. Durch Verwendung eines Tintenstrahldruckverfahrens werden die Kosten der Kennzeichnung gegenüber bekannten Laserstrahl- oder Gravurverfahren verringert. Der dem Druckkopf nachgeschaltete Scanner stellt sicher, dass die Qualität des Aufdrucks ausreichend ist, um eine zuverlässige, eindeutige und langlebige Kennzeichnung zu gewährleisten.The application of a clear individual marking ensures that a clear identification of the leadframe and thereby of the semiconductor product is possible at any time during or after the completion of the manufacturing process, so that its entire manufacturing process including all process parameters can be traced. By using an ink jet printing process, the cost of marking is reduced over known laser beam or engraving processes. The scanner downstream of the printhead ensures that the quality of the imprint is sufficient to ensure reliable, clear and long-lasting labeling.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 3750589 T2 [0003] DE 3750589 T2 [0003]

Claims (13)

Rückverfolgungsverfahren bei der Herstellung von Halbleiterprodukten, deren Herstellungsprozess mehrere Schritte umfasst, in denen Produktionsmaterialien zu Halbleiterprodukten verarbeitet werden, wobei das Rückverfolgungsverfahren die nachfolgenden Schritte aufweist: – Erzeugen einer Kennzeichnung mittels einer ersten Recheneinheit (28), wobei die Kennzeichnung Daten umfasst, die eine eindeutige Identifizierung eines Halbleiterproduktes und/oder mindestens eines Produktionsmaterials erlauben, wobei anhand der Kennzeichnung die Identität des Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials rückverfolgt werden kann; – Weiterleiten der erzeugten Kennzeichnung durch die erste Recheneinheit (28) an einen Drucker (12); und – Aufdrucken der erzeugten Kennzeichnung auf mindestens ein Produktionsmaterial (14, 16, 18) mittels Tintenstrahldruck.A backtracking process in the manufacture of semiconductor products, the manufacturing process of which comprises a plurality of steps of processing production materials into semiconductor products, the backtracking process comprising the steps of: - generating a tag by means of a first processing unit ( 28 ), the tag comprising data permitting unambiguous identification of a semiconductor product and / or at least one production material, the identification being able to trace the identity of the semiconductor product and / or the at least one production material; - Forwarding of the generated identifier by the first processor ( 28 ) to a printer ( 12 ); and - printing the generated marking on at least one production material ( 14 . 16 . 18 ) by ink jet printing. Rückverfolgungsverfahren bei der Herstellung von Halbleiterprodukten, deren Herstellungsprozess mehrere Schritte umfasst, in denen Produktionsmaterialien zu Halbleiterprodukten verarbeitet werden, wobei das Rückverfolgungsverfahren die nachfolgenden Schritte aufweist: – Erzeugen einer Kennzeichnung mittels einer ersten Recheneinheit (28), wobei die Kennzeichnung Daten umfasst, die eine eindeutige Identifizierung eines Halbleiterproduktes und/oder mindestens eines Produktionsmaterials erlauben, wobei anhand der Kennzeichnung die Identität des Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials rückverfolgt werden kann; – Weiterleiten der erzeugten Kennzeichnung durch die erste Recheneinheit (28) an einen Drucker (12); und – Aufdrucken der erzeugten Kennzeichnung auf mindestens ein Produktionsmaterial (14, 16, 18) mittels Thermotransferdruck.A backtracking process in the manufacture of semiconductor products, the manufacturing process of which comprises a plurality of steps of processing production materials into semiconductor products, the backtracking process comprising the steps of: - generating a tag by means of a first processing unit ( 28 ), the tag comprising data permitting unambiguous identification of a semiconductor product and / or at least one production material, the identification being able to trace the identity of the semiconductor product and / or the at least one production material; - Forwarding of the generated identifier by the first processor ( 28 ) to a printer ( 12 ); and - printing the generated marking on at least one production material ( 14 . 16 . 18 ) by thermal transfer printing. Rückverfolgungsverfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Kennzeichnung eine Codierung, insbesondere einen eindimensionalen oder zweidimensionalen Code in der Art eines Barcodes oder Datamatrix Codes aufweist.The backtracking method according to claim 1 or 2, wherein the identifier comprises an encoding, in particular a one-dimensional or two-dimensional code in the manner of a barcode or data matrix code. Rückverfolgungsverfahren nach Anspruch 1 oder 3, wobei der Aufdruck mit einer Tinte erfolgt, die auf dem mindestens einen Produktionsmaterial für das menschliche Auge nicht sichtbar ist und die unter bestimmten Bedingungen sichtbar gemacht werden kann.A tracing method according to claim 1 or 3, wherein the printing is done with an ink which is not visible to the human eye on the at least one production material and which can be visualized under certain conditions. Rückverfolgungsverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das den weiteren Schritt aufweist: – Überprüfen der aufgedruckten Kennzeichnung dahingehend, ob sie mit der erzeugten Kennzeichnung übereinstimmt.A backtracking method according to any one of the preceding claims, comprising the further step of: - Check the printed marking to see if it matches the label created. Rückverfolgungsverfahren nach Anspruch 5, wobei der Schritt des Überprüfens umfasst: – Einlesen der aufgedruckten Kennzeichnung durch einen Scanner (26), – Weiterleiten der eingelesenen Kennzeichnung durch den Scanner (26) an die erste Recheneinheit (28); – Vergleichen der aufgedruckten Kennzeichnung mit der erzeugten Kennzeichnung durch die erste Recheneinheit (28); und – Auswerten der Vergleichsdaten durch die erste Recheneinheit (28).The backtracking method of claim 5, wherein the step of checking comprises: - reading the printed identification by a scanner ( 26 ), - passing the scanned label through the scanner ( 26 ) to the first computing unit ( 28 ); Comparing the printed identification with the generated identification by the first arithmetic unit ( 28 ); and - evaluating the comparison data by the first arithmetic unit ( 28 ). Rückverfolgungsverfahren nach Anspruch 6, wobei die erste Recheneinheit (28) anhand der ausgewerteten Vergleichsdaten und einer vorbestimmten maximalen Abweichung entscheidet, ob eine aufgedruckte Kennzeichnung mit der erzeugten Kennzeichnung übereinstimmt.A backtracking method according to claim 6, wherein the first arithmetic unit ( 28 ) decides on the basis of the evaluated comparison data and a predetermined maximum deviation, whether a printed label matches the generated label. Rückverfolgungsverfahren nach Anspruch 6 oder 7, wobei die erste Recheneinheit (28) mit dem Drucker (12) verbunden ist und anhand der ausgewerteten Vergleichsdaten in der Art einer Regelung eine Rückmeldung an den Drucker (12) geben kann.A backtracking method according to claim 6 or 7, wherein the first arithmetic unit ( 28 ) with the printer ( 12 ) and based on the evaluated comparison data in the manner of a control, a feedback to the printer ( 12 ) can give. Rückverfolgungsverfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei der Scanner (26) und/oder die erste Recheneinheit (28) in dem Drucker (12) integriert ist/sind.A backtracking method according to any one of claims 6 to 8, wherein the scanner ( 26 ) and / or the first arithmetic unit ( 28 ) in the printer ( 12 ) is / are integrated. Rückverfolgungsverfahren nach Anspruch 8 oder 9, wobei der Drucker (12) eine Druckfarbenaufbereitung (24) umfasst, die basierend auf der Rückmeldung der ersten Recheneinheit (28) regelbar ist.A backtracking method according to claim 8 or 9, wherein the printer ( 12 ) an ink processing ( 24 ) based on the feedback from the first processing unit ( 28 ) is controllable. Rückverfolgungsverfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 10, das den Schritt aufweist: – Ausschleusen von Halbleiterprodukten und/oder Produktionsmaterialien, deren aufgedruckte Kennzeichnung nicht mit der erzeugten Kennzeichnung übereinstimmt.A backtracking method according to any one of claims 5 to 10, comprising the step of: - Removal of semiconductor products and / or production materials whose printed identification does not match the label produced. Rückverfolgungsverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das die weiteren Schritte aufweist: – Einlesen der Kennzeichnung durch einen zweiten Scanner (30), der die eingelesene Kennzeichnung an eine zweite Recheneinheit (32) weiterleitet; und – Verarbeiten der Kennzeichnung durch die zweite Recheneinheit (32), die anhand der Kennzeichnung die Identität des Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials rückverfolgen kann.A backtracking method according to any one of the preceding claims, comprising the further steps of: - reading the identification by a second scanner ( 30 ), which copies the read-in marking to a second arithmetic unit ( 32 ); and - processing the identification by the second processing unit ( 32 ), which can trace the identity of the semiconductor product and / or the at least one production material on the basis of the identification. Rückverfolgungssystem für ein Rückverfolgungsverfahren gemäß den Ansprüchen 1 bis 12, wobei das Rückverfolgungssystem wenigstens aufweist: – eine erste Recheneinheit (28), die dazu geeignet ist, eine Kennzeichnung zu erzeugen, die Daten umfasst, welche eine eindeutige Identifizierung eines Halbleiterproduktes und/oder mindestens eines Produktionsmaterials erlauben, wobei anhand der Kennzeichnung die Identität des Halbleiterproduktes und/oder des mindestens einen Produktionsmaterials rückverfolgt werden kann, und – einen Drucker (12), der dazu ausgebildet ist, die erzeugte Kennzeichnung auf mindestens ein Produktionsmaterial (14, 16, 18) mittels Tintenstrahldruck oder Thermotransferdruck aufzudrucken. The backtracking system for a traceability method according to claims 1 to 12, wherein the traceability system comprises at least: - a first arithmetic unit ( 28 ), which is adapted to produce a label comprising data permitting unambiguous identification of a semiconductor product and / or at least one production material, the identification being able to trace the identity of the semiconductor product and / or the at least one production material, and - a printer ( 12 ) which is adapted to apply the generated marking to at least one production material ( 14 . 16 . 18 ) by means of inkjet printing or thermal transfer printing.
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