-
Die
Erfindung betrifft eine hochempfindliche spektralanalytische Einheit,
die ein Beugungsgitter verwendet, wobei ein paralleles Lichtbündel, welches einen
Wellenlängenbereich
aufweist, auf ein Beugungsgitter einfällt, welches die unterschiedlichen Wellenlängen durch
Beugung in erste Richtungen spektral aufspaltet. Die Wellenlängenteilbereiche
des spektral aufgespalteten Lichtbündels werden durch eine Optik
auf eine Detektorzeile fokussiert und eine Auswerteelektronik, die
an die Detektorzeile angeschlossen ist, gewinnt das erzeugte Spektrum
als Information und stellt diese dar.
-
Die
spektrale Einheit findet Anwendung bei allen Spektrometern. Insbesondere
kommt die Einheit jedoch in einem konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop
(LSM), wie dieses in der
DE
197 02 753 A1 oder
DE 101 51 217 A1 beschrieben ist, als Meßeinrichtung
zur spektral aufgespaltenen Detektion der Fluoreszenz zum Einsatz.
-
Für die spektrale
Analyse von Strahlung gibt es eine Vielzahl von Anordnungen unter
Zuhilfenahme unterschiedlichster dispersiver Mittel. Am häufigsten
kommen Gitter und Prismen zum Einsatz, einfache Lösungen können auch
mit Filtern realisiert werden. In den meisten Anwendungen kommen
Gitter mit Oberflächenprofil
zum Einsatz, deren Topographie durch Replikationsverfahren vervielfältigt wird
und somit eine kostengünstige
Stückzahlproduktion
gestattet. Da im Allgemeinen nur eine Beugungsordnung des Gitters
genutzt wird, hat der Anwender von sägezahnförmigen Profilformen die Möglichkeit,
viel gebeugtes Licht in der Nutzordnung zu erhalten. Für die optimale
Profiltiefe (ca. halbe Wellenlänge
des Beugungsmaximums-Blazewellenlänge) erhält man in Abhängigkeit
von der Ortsfrequenz der Gitter zwischen 70%-90% Beugungseffizienz
in der reflektierten Nutzordnung. Diese Beugungseffizienz fällt aber
stetig ab, wenn man die Blazewellenlänge zu höheren öder niedrigeren Wellenlängen verläßt. Dieses „fehlende
Licht" im Spektrum
der Nutzordnung gelangt in andere Beugungsordnungen und geht der
Detektion verloren.
-
Eine
bekannte Methode zur Umgehung dieses Problems stellt die Verwendung
von Echelle-Systemen dar, wie dies in
EP 442 596 B1 beschrieben ist. Hierbei wird
ein Plangitter in sehr hohen Beugungsordnungen verwendet, wobei
zunächst
kurze, sich überlagernde
Spektralbereiche der verschiedenen Beugungsordnungen entstehen,
die alle in der Nähe
des Blazewinkels arbeiten. Zur lateralen Trennung der Spektren ist
dem System ein Prisma zugefügt,
welches senkrecht zur Dispersionsrichtung des Gitters arbeitet.
Dadurch erhält
man viele lateral übereinander
liegende Ordnungszeilen. Voraussetzung für die Anwendung dieses Verfahrens
ist allerdings die Verwendung eines Flächenempfängers.
-
Die
Ursache für
die spektrale Schwankung der Beugungseffizienz liegt darin, dass
das elektromagnetische Verhalten des Gitters einen mehr oder weniger
großen
Teil des Lichtes in andere als die gewünschte 1. Beugungsordnung beugt,
welches dadurch verloren ist und sogar noch Streulichtprobleme erzeugt.
-
Es
gibt Meßverfahren,
die eine möglichst vollständige Auswertung
des vorhandenen Lichts im Spektrum (einer Ordnung) erforderlich
machen. Dazu gehört
z.B. die spektrale Auswertung des Fluoreszenzlichts in der Mikroskopie
biologischer Proben.
-
Die
Erfindung soll die Aufgabe lösen,
mit wenig Aufwand die Beugungseffizienz einer spektralanalytischen
Einheit mit einem Gitter signifikant zu erhöhen.
-
Die
Lösung
der Aufgabe gelingt bei einer hochempfindlichen spektralanalytischen
Einheit mit einem Beugungsgitter eingangs genannter Art mit den
kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1.
-
Die
Unteransprüche
2 bis 7 sind vorteilhafte Ausgestaltungen des Hauptanspruchs.
-
Die
erfindungsgemäße Lösung sieht
vor, das spektral zu analysierende Lichtbündel durch ein erstes Element
spektral vor zu zerlegen und es dann durch ein weiteres, der Vorzerlegung
optimal angepaßtes
zweites Element in das zu detektierende Spektrum aufzuspalten. Dabei
ist es wichtig, daß das erste
Element so ausgewählt
ist, daß es
für das
zu detektierende Spektrum eine sehr hohe Transmission aufweist.
Das zweite Element kann dagegen auch ein Oberflächengitter mit einer über deren Fläche gleich
bleibenden oder stückweise
veränderlichen oder
sich stetig ändernder
Profilform darstellen. Um eine hohe Transmission des ersten das
Spektrum beeinflussenden Elements zu erhalten, werden dafür ein Prisma
oder in einer anderen Ausführung
dichroitische Spiegel eingesetzt. Zur Verringerung der Fresnelverluste
können
die Bauelemente entspiegelt werden.
-
In
einer ersten Ausführungsform
erfolgt die Vorzerlegung mittels dichroitischer Teiler. Die Teiler sollen
eine möglichst
hohe Steilheit an ihren Transmissions- bzw. Reflexionsgrenzen besitzen,
ihre spektralen Teilbereiche sollen sich lückenlos aneinander reihen.
Die Lösung
mittels dichroitischer Teiler läßt sich
kaskatieren, d. h. wie viele spektrale Teilbereiche eingesetzt werden,
hängt von
der angestrebten spektralen Ausbeute und den Kosten der Anordnung
ab. Vorzugsweise ist eine Aufspaltung in drei spektrale Teilbereiche
unter Verwendung von zwei dichroitischen Teilern und zwei effizienten
Spiegeln vorgesehen.
-
Das
Gitter setzt sich vorzugsweise aus 3 Gitterbereichen zusammen, deren
Blazewellenlängen jeweils
dem spektralen Teilbereich optimal angepaßt sind. Das gesamte Gitter
hat eine einheitliche Ortsfrequenz, die Gitterfurchen aller Teilbereiche
sind exakt parallel ausgerichtet. Die Gitterfurchen liegen in einer
Ebene und die Dispersionsebene steht senkrecht aus der Ebene heraus.
Somit gelingt es, in den spektralen Teilbereichen jeweils eine hohe
Beugungseffizienz zu generieren. Das dispergierte Licht wird über eine
Kameraoptik (Spiegel- bzw. Linsensystem) einem Detektor mit einer
Auswerteeinheit zugeführt.
-
Eine
weitere Ausführungsform
zur Realisierung einer hohen Ausbeute spektral detektierbaren Lichts
basiert auf der Vorzerlegung mittels Prisma als erstem dispersiven
Element und einem zweiten dispersiven Element, welches in seinem
Vermögen
der spektralen Zerlegung optimal an den Spektralverlauf des vorzerlegten
Spektrums angepaßt
ist. Dieses zweite dispersive Element ist ein Beugungsgitter (Dispersionsrichtung
senkrecht zur Dispersion des Prismas), welches durch seine variable
Profilform (Blazewellenlängenanpassung)
die sich stetig ändernde
Wellenlänge
des vor zerlegten Spektrums hocheffizient beugt. Somit läßt sich
für alle
Wellenlängen
des zu detektierbaren Spektrums eine Beugungseffizienz nahe der
Blazewellenlänge
realisieren und damit ein sehr hoher Anteil in das Detektionsspektrum übertragen.
Derartiges variables Beugungsvermögen läßt sich bei Gittern z.B. mit
variablen Blazewinkeln oder der Kombination eines einheitlichen Gitterprofils
mit variablen Schichten in Dispersionsrichtung realisieren. Variable
Profiltiefen (entspricht variablen Blazewellenlängen) einer einheitlichen Ortsfrequenz
des Gitters können über eine
variable Belichtungsdosis bei lithographischen Verfahren oder durch
Ionenätztechnologien
realisiert werden.
-
Für die hier
beschriebenen Ausführungsformen
der Erfindung gibt es weitere Gestaltungen des Aufbaus und der Eigenschaften
des Beugungsgitters. So kann das Gitter aus einer anderen Anzahl von
Teilbereichen bestehen, die der Anzahl der durch die Vorzerlegung
entstandenen Spektralbereiche entspricht. Dadurch kann das Gitter
z.B. aus zwei oder mehr als drei mit jeweils optimal an das Teilspektrum
der Vorzerlegung angepaßten
Gitterbereichen zusammengesetzt sein.
-
Es
ist aber auch vorgesehen, ein Gitter einzusetzen, dessen Beugungseigenschaften
durch eine stetig variierende Blazewellenlänge in Dispersionsrichtung
des Gitters an den spektralen Verlauf der Vorzerlegung angepaßt sind.
-
In
einer weiteren Variante ist es vorgesehen, ein Gitter mit konstanter
Blazewellenlänge
einzusetzen und durch einen in Dispersionsrichtung sich ändernden
Schichtaufbau eine stetige Blazeverschiebung in Dispersionsrichtung
zu erhalten.
-
In
einer weiteren Variante werden auch transmittiv arbeitende Gitter
mit an die Vorzerlegung spektral angepaßten Teilbereichen eingesetzt.
-
Selbstverständlich kann
die Kameraoptik neben einer Transmissionsoptik auch als Reflexionsoptik
ausgelegt sein.
-
Die
Erfindung wird nachfolgen an Hand von Figuren beschrieben. Es zeigen:
-
1:
Hochempfindliche spektralanalytische Einheit mit dichroitischen
Strahlteilern
-
2:
Darstellung eines Ausschnittes der Anordnung gemäß 1 in der
Saggitalansicht
-
3:
Vergleich der spektral realisierten Lichtmenge einer Lösung gemäß 1 mit
einer Lösung
des Standes der Technik, die ein Gitter gleicher Profilform verwendet
-
4:
Hochempfindliche spektralanalytische Einheit mit einem Dispersionsprisma
-
5:
Eine erste Ausführungsform
des Reflexionsgitters
-
6:
Eine zweite Ausführungsform
des Reflexionsgitters
-
7:
Eine dritte Ausführungsform
des Reflexionsgitters
-
8:
Eine vierte Ausführungsform
des Reflexionsgitters
-
1 zeigt
eine erste Ausführungsform
der Erfindung, wobei zur spektralen Vorzerlegung dichroitischer
Teiler 11' und 11''' mit
den hochreflektierenden Spiegeln 10 und 12 zum
Einsatz kommen. In Lichtausbreitungsrichtung gesehen sind weiterhin
ein Beugungsgitter 13 eine Abbildungsoptik 14 und
eine Detektorzeile 15 angeordnet. Die Detektorzeile 15 hat
eine einzelne Elemente 16, die in einer lateralen Richtung
angeordnet sind, wobei die Einzelelemente eine Breite b aufweisen.
Die Elemente 16 der Detektorzeile 15 sind mit
einer Auswerteelektronik 17 verbunden. Das Beugungsgitter 13 arbeitet
in Reflexion und besteht aus drei Teilbereichen 13', 13'' und 13''', welche unterschiedliche
Blazewellenlängen
aufweisen. Hierbei ist die Dispersionsrichtung des Beugungsgitters
senkrecht zur spektralen Vorzerlegung, die durch die dichroitischen
Teiler 11' und 11''' sowie die
hochreflektierenden Spiegel 10 und 12 geleistet wird,
orientiert.
-
Das
auf die Anordnung einfallende parallele Lichtbündel, gekennzeichnet in seiner
meridionalen Ausdehnung durch einen oberen meridionalen Randstrahl 1,
einen Hauptstrahl 2 und einen unteren meridionalen Randstrahl 3,
besitzt eine spektralen Bandbreite von 360 nm bis 810 nm. Diese
Strahlen treffen vorzugsweise unter einem Winkel von 45° auf den ersten
dichroitischen Teiler 11' auf.
Der Teiler 11' ist als
Langpaßfilter
ausgebildet mit einer Übergangskante
von ca. 510 nm. Das bedeutet, daß das Licht kleiner 510 nm
vom ersten dichroitischen Strahlteiler 11a reflektiert
wird, während
das Spektrum oberhalb dieser Kante sehr effizient (größer 90%)
transmittiert und auf den zweiten dichroitischen Teiler 11''' unter einem
Winkel von 45° auftrifft.
Während
der spektrale Anteil, der vom dichroitischen Teiler 11' reflektiert wird,
auf den hochreflektierenden ersten Spiegel 10 in Richtung
Beugungsgitter mit dem Gitterbereich 13' abgelenkt wird, gelangt der vom
ersten dichroitischen Strahlteiler 11' transmittierte Anteil auf den
zweiten dichroitischen Strahlteiler 11''', der ein Kurzpaßfilter mit
einer Kante um ca. 660 nm ist. Der spektrale Anteil oberhalb von
660 nm wird vom zweiten dichroitischen Strahlteiler 11''' effizient
(größer 90%)
in Richtung des hochreflektierenden Spiegels 12 reflektiert wird,
während
die spektralen Anteile unterhalb 660 nm den Teiler 11''' mit
geringen Verlusten transmittieren. Das vom Teiler 11''' transmittierte
Licht gelangt ohne weitere Ablenkung direkt auf den Gitterbereich 13'' des Gitters 13. Das vom
Teiler 11''' reflektierte Licht gelangt über den
hochreflektierenden zweiten Spiegel 12 auf den Gitterbereich 13'''.
Entsprechend der erfindungsgemäßen Ausführung sind
die dichroitischen Teiler 11a und 11b sowie die
hochreflektierenden Spiegel 10 und 12 so angeordnet,
daß die durch
die spektrale Vorzerlegung entstandenen Lichtbündel 1', 1'', 1''' und 2', 2'', 2''' sowie 3', 3'', 3''' jeweils in
einer Ebene und parallel zueinander in Richtung Gitter 13 verlaufen.
-
Das
Gitter 13 mit seinen Teilbereichen 13', 13'', 13''' ist gegenüber den
Lichtbündeln 1', 1'', 1''' und 2', 2'', 2''' sowie 3', 3'', 3''', welche die
spektrale Vorzerlegung verlassen haben, so orientiert, daß sich die
Dispersionsebene des Gitters senkrecht zu der Ebene befindet, die
durch die Lichtbündel 1', 1'', 1''' und 2', 2'', 2''' sowie 3', 3'', 3''' aufgespaltet
wird.
-
Die
spektralen Anteile, die durch die Bündel 1', 1'' und 1''' gekennzeichnet
sind und vom Spiegel 10 reflektiert werden, treffen auf
den Gitterbereich 13' mit
einer Blazewellenlänge
von 410 nm und werden somit mit einer Beugungseffizienz zwischen
70% bis 90% gebeugt.
-
Die
vom Spiegel 12 reflektierten Anteile gekennzeichnet durch
die Bündel 3', 3'' und 3''' (langwellige
spektrale Anteile) treffen auf den Gitterbereich 13''' des
Gitters 13 mit einer Blazewellenlänge von 710 nm. Die spektralen
Anteile, die die dichroitischen Teiler 11' und 11''' transmittieren,
treffen auf den Gitterbereich 13'' mit
einer Blazewellenlänge
von 560 nm.
-
Alle
spektralen Anteile, die durch die Vorzerlegung entstanden sind und
das Gitter 13 als paralleles Bündel erreichen, werden von
diesem mit hohem Wirkungsgrad spektral zerlegt, durchlaufen eine
Kameraoptik 14, in deren Brennebene sich die Detektorzeile 15 mit
den einzelnen Detektorelementen 16 befindet. Die Detektorzeile 15 ist
so bezüglich
des Beugungsgitters 13 orientiert, daß die Dispersionsrichtung des
Gitters und die Anordnung der Detektorelemente 16 auf der
Detektorzeile 15 parallel verlaufen.
-
2 zeigt
die Sagittalansicht der Anordnung mit Vorzerlegung durch dichroitische
Teiler. Das Gesamtspektrum wird durch die Anordnung der beiden dichroitischen
Spiegel 11' und 11''' mit
den hochreflektierenden Spiegeln 10 und 12 in
drei Spektralbereiche, repräsentiert
durch 1', 2', 3' und 1'', 2'', 3'' sowie 1''', 2''', 3''' zerlegt
und den für
diese spektralen Teilbereiche jeweils optimalen Gitterbereichen 13', 13'' und 13''' des Gitters 13 zugeführt.
-
Durch
diese Anordnung gelingt es, weitgehend verlustarm das zu analysierende
Licht spektral zerlegt dem Detektionssystem zu zuführen.
-
In 3 ist
die Effizienz für
die in 1 beschriebene Anordnung im Vergleich mit einem
Blazegitter einheitlicher Profilform nach dem Stand der Technik
gegenüber
gestellt. Insbesondere lassen sich mit dieser Anordnung die Verluste
in den spektralen Randbereichen des zu analysierenden Lichts kompensieren.
Der "Gewinn an spektral
zerlegtem Licht" ergibt
sich aus dem Verhältnis
der durchgezogenen Kurve und der gestrichelten Kurve.
-
4 zeigt
eine drei-dimensionale Darstellung einer zweiten Ausführungsform
der Erfindung. Die spektrale Vorzerlegung erfolgt mit einem Prisma 18.
Das Prisma 18 besteht aus dem optischen Glas NSK2 und hat
einen Prismenwinkel ε =
60° sowie eine
Prismenhöhe
von 30 mm.
-
Das
einfallende parallele Strahlenbündel
mit der spektralen Bandbreite von z.B. 360 nm bis 800 nm ist durch
den Hauptstrahl 2, den oberen meridionalen Randstrahl 1 und
dem unteren meridionalen Randstrahl 3 gekennzeichnet. Zur
Gewährleistung der Übersichtlichkeit
ist in dieser Darstellung die sagittale Ausdehnung des einfallenden
Bündels
nicht dargestellt.
-
Die
spektrale Aufspaltung des unteren meridionalen Randstrahls 3 durch
das Prisma wird durch die Strahlen 3', 3'', 3''' gekennzeichnet,
die spektrale Aufspaltung des Hauptstrahl 2 wird durch 2', 2'', 2''' gekennzeichnet
und entsprechend wird durch 1', 1'', 1''' die
spektrale Aufspaltung durch das Prisma für den oberen meridionalen Randstrahl
dargestellt. Dabei stehen die einfach gestrichenen Zahlen für den langwelligen
Spektralanteil, die zweifach gestrichenen Ziffern für den mittleren
Spektralanteil und die dreifach gestrichenen Ziffern für den kurzwelligen Spektralanteil
des eintretenden Gesamtspektrums.
-
Entsprechend
der Anordnung in 4 fallen die einzelnen spektral
durch das Prisma vorzerlegten Anteile entsprechend ihrer ursprünglichen
unterschiedlichen Eintrittshöhe
auf unterschiedliche Teilbereiche des zweiten dispersiven Elements
der Anordnung, des Beugungsgitters 13, welches in der ausgeführten Anordnung
als Reflexionsbeugungsgitter (beispielsweise mit einer Aufdampfschicht
aus Aluminium), ausgebildet ist.
-
In
dieser Ausführungsform
besteht das Gitter aus drei Bereichen 13', 13'' und 13''' unterschiedlicher
Blazewellenlänge
des sägezahnförmigen Furchenprofils,
die jeweils dem auf diesen Teilbereich auftreffendem spektralen
Teilbündel
optimal angepaßt
sind.
-
Das
Spezifische der erfindungsgemäßen Anordnung
besteht darin, daß die
Dispersionsebene des Gitters gegenüber der des Prismas um 90° gedreht
ist. Die Blazewellenlänge
des Teilbereichs 13''' beträgt 410 nm, die des Teilbereichs 13'' beträgt 560 nm und die des Gitterbereichs 13' beträgt 710 nm.
-
Die
durch das Prisma am stärksten
gebrochenen Anteile des Gesamtspektrums 1''', 2''' und 3''' gelangen
auf den Teilbereich des Gitters 13''' und beinhalten
den Spektralbereich von 360 nm bis 510 nm. Die spektralen Teilbereiche 1'', 2'' und 3'' beinhalten den Spektralbereich
von 510 nm bis 660 nm und gelangen auf den Gitterteilbereich 13''. Der durch das Prisma am wenigsten
abgelenkte langwellige spektrale Anteil des Gesamtspektrums mit
dem Spektrum von 660 nm bis 810 nm, ist gekennzeichnet durch die
Bündel 1', 2' und 3' und trifft
auf den Gitterteil 13'.
-
Die
erfindungsgemäße Anordnung
sorgt dafür,
daß die
spektralen Teilbereiche, realisiert durch die Vorzerlegung und gekennzeichnet
durch die Bündelbezeichnungen 1', 2', 3' sowie 1'', 2'', 3'' und 1''', 2''', 3''',
auf optimal angepaßte
beugende Gitterbereiche auftreffen und mit hoher Beugungseffizienz
zwischen 70% bis 90% (unpolarisiertes Licht) senkrecht zur Dispersionsrichtung
des Prismas spektral aufgespaltet werden.
-
Besonders
vorteilhaft ist die Ausbildung des Beugungsgitters 13 mit
einem sich kontinuierlich ändernden
Blazewinkel (entlang 13' und 13''').
Der Blazewinkel wird dabei so ausgebildet, daß die im Prisma 17 spektral
vorzerlegten Spektralanteile auf optimal angepasste beugende Gitterbereiche
auftreffen. Hierdurch können
Unstetigkeiten in der Beugungseffizienz (siehe 3)
behoben werden und es ergibt sich eine maximale Beugungseffizienz
im gesamten Spektralbereich. Dieses durch das Beugungsgitter 13 mit
einer Gitterkonstante von 1300 L/mm erzeugte Spektrum durchläuft eine
Kameraoptik 14, die im Beispiel aus einer Linse besteht,
deren Brennweite f = 100 mm ist und deren Brennebene sich die Detektorzeile 15 mit
den einzelnen Detektorelementen 16 befindet. Die Detektorzeile 15 ist
so orientiert, daß ihre
Elemente in Richtung der Dispersion des Gitters 13 ausgerichtet
sind.
-
5 zeigt
eine erste Ausführungsform
des Reflexionsgitters, welches drei diskrete Bereiche aufweist,
die eine gleiche Gitterperiode haben, deren Gitterprofile jedoch
eine unterschiedliche Höhe
aufweisen.
-
6 zeigt
eine zweite Ausführungsform des
Reflexionsgitters, welches eine stetig wachsende Höhe der Gitteprofile
aufweist, die eine gleiche Gitterperiode haben.
-
7 zeigt
eine dritte Ausführungsform
des Reflexionsgitters, welches eine gleiche Gitterperiode, eine
gleiche Höhe
der Gitterprofile, jedoch eine Deckschicht stetig steigender Dicke
aufweist.
-
8 zeigt
eine vierte Ausführungsform
des Reflexionsgitters, welches eine gleiche Gitterperiode, eine
gleiche Höhe
der Gitterprofile, eine gleiche Dicke der Deckschicht, jedoch einen
Brechzahlgradienten in der Decksicht aufweist.
-
9 zeigt
den schematischen Aufbau eines konfokalen Laser-Scanning-Mikroskops 101 mit der
erfindungsgemäßen hochempfindlichen
spektralanalytischen Einheit 100 als Meßeinrichtung. Die spektralanalytische
Einheit 100 entspricht in Ihrem Aufbau der in der 1 dargestellten
Anordnung. Die spektralanalytische Einheit 100 kann auch
der in 4 gezeigten Anordnung entsprechen (nicht dargestellt).
-
Das
von einer Lichtquelle 20 ausgehende Strahlenbündel gelangt über einen
Hauptfarbteiler 21, einen x-y-Scanner 22, eine
Scann-Optik 23, eine Tubuslinse 25 und ein Objektiv 26 zur
Probe 27. Das von der Probe 27 ausgehende Lichtbündel gelangt über das
Objektiv 26, die Tubuslinse 25, die Scann-Optik 23 den
x-y-Scanner 22,
den Hauptfarbteiler 21 sowie eine Pinhole-Optik 28,
ein Pinhole 29, eine Kollimatoroptik 30 und einen
Emissionsfilter 31 auf die Strahlteiler der spektralanalytischen
Einheit 100.
-
Zwischen
der Scann-Optik 23 und der Tubuslinse 25 entsteht
ein Zwischenbild 24. Besonders vorteilhaft ist auch, dass
sich die Erfindung auch in bereits vorhandenen Laser-Scanning-Mikroskope und
andere spektrometrische Geräte
einbauen lässt.
-
- 1
- oberer
meridonaler Randstrahl
- 2
- Hauptstrahl
- 3
- unterer
meridonaler Randstrahl
- 1', 2', 3'
- langwellige
Anteile der Strahlen 1, 2, 3
- 1'', 2'', 3''
- mittlere
spektrale Anteile der Strahlen 1, 2, 3
- 1''',
2''', 3'''
- kurzwellige
Anteile der Strahlen 1, 2, 3
- 10
- erster
Spiegel
- 11'
- erste
dichroitischer Strahlteiler (langwellig)
- 11'''
- zweiter
dichroitischer Strahlteiler (kurzwellig)
- 12
- zweiter
Spiegel
- 13
- Beugungsgitter
mit Teilbereichen verschiedener Blazewellenlängen 13' (langwellig), 13'' (mittlerer Wellenlängenbereich)
und 13''' (kurzwellig)
- 14
- Kameraoptik
- 15
- Detektorzeile
- 16
- Elemente
der Detektorzeile
- 17
- Auswerteelektronik
- 18
- Dispersionsprisma
- 20
- Lichtquelle
- 21
- Hauptfarbteiler
- 22
- x-y-Scanner
- 23
- Scann-Optik
- 24
- Zwischenbild
- 25
- Tubuslinse
- 26
- Objektiv
- 27
- Probe
- 28
- Pinhole-Optik
- 29
- Pinhole
- 30
- Kollimatoroptik
- 31
- Emissionsfilter
- 100
- Spektralanalytische
Einheit
- 101
- konfokales
Laser-Scanning-Mikroskop