CN103458251A - 使用集成光子学模块的系统 - Google Patents

使用集成光子学模块的系统 Download PDF

Info

Publication number
CN103458251A
CN103458251A CN2013103557949A CN201310355794A CN103458251A CN 103458251 A CN103458251 A CN 103458251A CN 2013103557949 A CN2013103557949 A CN 2013103557949A CN 201310355794 A CN201310355794 A CN 201310355794A CN 103458251 A CN103458251 A CN 103458251A
Authority
CN
China
Prior art keywords
bundle
scanning
light
integrated photonics
photonics module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2013103557949A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103458251B (zh
Inventor
兰黛尔·B·斯帕拉古
乔舒亚·O·米勒
玛格丽特·K·布朗
马克·O·弗里曼
马尔滕·尼斯滕
薛彬
克里斯托弗·A·维克勒夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Microvision Inc
Original Assignee
Microvision Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Microvision Inc filed Critical Microvision Inc
Publication of CN103458251A publication Critical patent/CN103458251A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103458251B publication Critical patent/CN103458251B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/02Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes by tracing or scanning a light beam on a screen
    • G09G3/025Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes by tracing or scanning a light beam on a screen with scanning or deflecting the beams in two directions or dimensions
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1006Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths
    • G02B27/102Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths for generating a colour image from monochromatic image signal sources
    • G02B27/104Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths for generating a colour image from monochromatic image signal sources for use with scanning systems
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1066Beam splitting or combining systems for enhancing image performance, like resolution, pixel numbers, dual magnifications or dynamic range, by tiling, slicing or overlapping fields of view
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/145Beam splitting or combining systems operating by reflection only having sequential partially reflecting surfaces
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N9/00Details of colour television systems
    • H04N9/12Picture reproducers
    • H04N9/31Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
    • H04N9/3102Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators
    • H04N9/3111Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators for displaying the colours sequentially, e.g. by using sequentially activated light sources
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N9/00Details of colour television systems
    • H04N9/12Picture reproducers
    • H04N9/31Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
    • H04N9/3129Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] scanning a light beam on the display screen
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/141Beam splitting or combining systems operating by reflection only using dichroic mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/28Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G02B27/283Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/3433Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices
    • G09G3/346Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices based on modulation of the reflection angle, e.g. micromirrors

Abstract

本发明提供了一种使用集成光子学模块的系统,包括:系统资源,可用作提供视频信号、电力和用户接口;安装系统,被构造成容纳集成光子学模块;和其中具有孔的外壳,所述孔对准集成光子学模块的出射面的位置和集成光学引擎部分。

Description

使用集成光子学模块的系统
分案申请
本申请是申请号为200780012965.0的中国专利申请的分案申请,上述申请的申请日为2007年4月11日,发明名称为“集成光子学模块以及使用该集成光子学模块的设备”。
相关申请的交叉引用
本申请要求于2006年4月11日提交的美国临时专利申请系列号60/791,074的优先权,且通过参考将其结合于此。
背景技术
视频显示器广泛地用于各种应用中,包括便携式和固定位置的应用。在至少一些应用中,且尤其是在一些便携式应用中,可视屏幕尺寸至今已受到产品封装的物理尺寸的限制。
发明内容
根据本发明的一个方面,提供了一种系统,包括:系统资源,可用作提供视频信号、电力和用户接口;安装系统,被构造成容纳集成光子学模块;和其中具有孔的外壳,所述孔对准集成光子学模块的出射面的位置和集成光学引擎部分。
集成光子学模块提供了一种可集成到一系列系统内的小型扫描束(swept-beam)显示器。根据一些实施例,小型扫描束显示器可被构造成投射物理尺寸大于系统、产品或容纳集成光子学模块的封装件的物理尺寸的图像。
根据一些实施例,集成光子学模块包括一个或多个光源诸如激光器、束成形光学器件、组合光学器件、MEMS扫描器以及一个或多个机械部件诸如光学框架,以便于安装和保持光学对准。根据一些实施例,集成光子学模块可包括MEMS驱动电子器件、光源驱动电子器件、传感器、以及视频电子器件中的一些或全部。根据各种实施例,MEMS驱动电子器件可包括MEMS控制器、一个(多个)D/A和/或A/D转换器以及一个(多个)MEMS驱动放大器。视频控制器电子器件可包括光源控制器、一个(多个)D/A转换器和一个(多个)光源驱动放大器。根据其它实施例,集成光子学模块的输出可代替诸如被构造成将光传送到远程扫描器的光纤耦合器这样的束扫描器的不同接口。
附图说明
图1是根据实施例的集成光子学模块的框图。
图2是根据实施例的至少一部分集成光子学模块的透视图。
图3是根据实施例的至少一部分集成光子学模块的另一透视图。
图4是根据实施例的至少一部分集成光子学模块的另一透视图。
图5是根据实施例的包括外部尺寸的至少一部分集成光子学模块的另一透视图。
图6是根据实施例的图2-5的至少一部分集成光子学模块的局部剖视图。
图7是根据实施例的图2-5的至少一部分集成光子学模块的另一局部剖视图。
图8是根据实施例的图2-5的至少一部分集成光子学模块的另一局部剖视图。
图9是根据实施例的图2-8的集成光子学模块的一些主要光学部件的视图。
图10是根据实施例的用于图2-8的集成光子学模块的光学框架的视图。
图11是根据实施例的包括机械耦合电路板的至少一部分集成光子学模块的透视图。
图12是根据实施例的可用在图2-8的集成光子学模块中的MEMS扫描器的透视图。
图13是示出根据实施例的用于集成光子学模块三种应用的示例性束形状和束成形光学器件的视图。
图14是示出根据实施例的用于集成光子学模块的束成形光学器件的分立变型形式和集成变型形式的视图。
图15是示出根据实施例的用于便携式扫描束投影仪的至少一部分集成光子学模块的视图。
图16是示出根据实施例使图15的至少一部分集成光子学模块适合于扫描束平视显示器(head-up display)应用的视图。
图17是示出根据实施例将图16的透镜元件集成到集成透镜中的视图。
图18是根据实施例的至少一部分集成光子学模块的透视图,示出了光传导路径和可选的适配器光学器件的布置。
图19是示出根据实施例的至少一部分集成光子学模块的束组合器和光源的关系的视图。
图20是示出根据实施例的至少一部分集成光子学模块中的光传导的视图。
图21是示出根据另一实施例的至少一部分集成光子学模块中的光传导的视图。
图22是示出根据另一实施例的至少一部分集成光子学模块中的光传导的视图。
图23是示出根据另一实施例的至少一部分集成光子学模块中的光传导的视图。
图24是示出根据另一实施例的至少一部分集成光子学模块中的光传导的视图。
图25A是示出根据另一实施例的至少一部分集成光子学模块中的光传导的视图。
图25B是示出根据实施例的包括非成像检测器的至少一部分集成光子学模块的视图。
图25C是示出根据实施例的具有焦面检测器的至少一部分集成光子学模块的视图。
图25D是示出根据实施例的至少一部分集成光子学模块的视图,其中扫描器被对准以接收通过选择性反射镜的调制合成束。
图25E是示出根据实施例的至少一部分集成光子学模块中的光传导的视图,其中束扫描器处于除垂直于标称图像投射方向以外的平面内。
图26是示出根据另一实施例的至少一部分集成光子学模块中的光传导的视图,其中一个光源与束组合器轴向对准。
图27是根据实施例的包括至少一部分集成光子学模块的扫描器控制器的框图。
图28是根据实施例的包括具有至少一部分集成光子学模块的扫描器控制器和光源的显示器控制器的框图。
图29是示出根据实施例的集成到移动电子设备中的集成光子学模块的使用的视图。
图30是示出根据实施例的集成光子学模块在平视显示器应用中的使用的视图。
图31是使用根据实施例的集成光子学模块的便携式扫描束投影显示器的透视图。
具体实施方式
图1是根据实施例的包括用于显示图像诸如视频图像的集成光子学模块102的电子器件101的框图。根据说明性实施例,集成光子学模块102可包括与系统资源104的接口。视频控制器电子器件106接收输入视频信号,并可具体化为包括系统控制器和软件108的集成视频专用集成电路(ASIC)。视频控制器电子器件106可在视频存储器110中至少临时缓冲所接收的视频图像,该视频存储器110可包括帧缓冲存储器和屏幕显示菜单。当到时间显示新的视频帧的时候,视频控制器电子器件106就从视频存储器110读取高速缓存的视频帧并将一个或多个光源驱动器112顺序驱动至与输入视频信号中的像素值对应的一系列亮度值。根据实施例,光源驱动器112驱动一个或多个光源116,该一个或多个光源116可包括在集成光子学模块102的集成光学引擎部分114中。光源116产生一条或多条调制光束,可通过组合器和束成形光学器件118将该光束成形并组合成调制合成光束119。光源116例如可包括红、绿和蓝色的已调制激光。根据一些实施例,调制合成光束119可被导向到扫描器120,该扫描器120例如是MEMS扫描器,可操作其以在视场(FOV)内扫描调制合成束从而产生图像。
当视频控制器电子器件106驱动光源驱动器112时,它同时驱动扫描器驱动器122,该扫描器驱动器122可选地具体化为扫描器驱动ASIC,根据一些实施例,该扫描器驱动ASIC也可含有扫描器驱动器和软件124。可操作扫描器驱动器122以驱动扫描器120,从而以周期性扫描模式顺序扫描在整个FOV上的发射光作为调制扫描光束125。
扫描器120偏转在整个FOV上的调制光束以产生扫描光束125。通过终端光学器件126可选地调节和/或中继(relay)扫描光束125以产生视频图像128。
总之,光源116、组合器和束成形光学器件118、以及扫描器120,与机械安装结构、致动器等一起,可包括集成光学引擎112;其也可包括集成光子学模块。扫描光束125的瞬时位置顺序地照亮FOV中的点,该FOV包括显示器表面、出瞳扩张器(EPE)、或投射屏幕。为了显示图像,顺序照亮FOV中的基本所有点,标称为具有正比于与每个点对应的输入视频图像像素的亮度的功率量。
当束照亮点时,一部分照明光束被反射或散射成散射能量。一部分散射光能可传送到一个或多个观察者130。观察者眼中和头脑中的视觉连续性将FOV中被照亮的点的顺序结合到可识别视频图像128中,该可识别视频图像128可包括静止图像和/或运动图像。
根据一些实施例,也可对准光检测器(未示出)以从FOV接收一部分散射光能。可将多种处理应用于所接收的散射光能以提供功能性。在检测器功能性的一些实施例中,检测器可包括为集成光子学模块的一部分。可以经由向后聚光(retro-collective)或共焦布置来对准这种检测器以接收从扫描器扫描出来的能量,或者可以经由凝视型(staring)检测装置来对准这种检测器以直接从FOV或者通过中继光学器件从FOV接收光。
光源116可包括多个发射器,诸如发光二极管(LED)、激光器、热源、电弧光源、荧光光源、气体放电光源或其它类型的发射器。根据一个实施例,光源116包括具有大约635至670纳米(nm)波长的红色激光二极管。根据另一个实施例,光源116包括三个激光器,其包括可用于发出大约635nm束的红色二极管激光器;绿色二极管泵浦固态(DPSS)激光器,诸如由约1064nm波长的红外激光二极管激励的频率耦合或第二谐波发生器(SHG)激光器,可操作该绿色SHG激光器以发出约532nm的绿色光束;以及可用于发出约473nm的光的蓝色激光二极管。虽然可直接调制一些激光器,但是其它激光器需要外部调制诸如声光调制器(AOM)。在使用外部调制器的情况下,考虑部分光源116。激光二极管光源示例为以下示出的集成光子学模块实施例的部分。
对准束组合和成形光学器件118以接收由光源发出的光束并将一些或所有束组合成单条束。束组合和成形光学器件118也可以包括束成形光学器件诸如一个或多个圆形透镜(circularizing lenses)、准直透镜、聚焦透镜、中继透镜(relay lenses)和/或孔径及波长选择光学器件诸如双折射滤光器(birefringent filter)、凝胶滤光器(gel filter)、热反射镜等。此外,虽然所描述的波长已经在可见光范围内,但是其它波长也可在本发明的范围内。
根据各种实施例,扫描器120可使用很多公知技术形成,所述公知技术诸如有旋转反射镜的多边形(rotating mirrored polygon)、音圈上的反射镜、固定到高速马达上的反射镜、双压电晶片梁(bimorphbeam)上的反射镜、同轴或“共轴”回转扫描元件、MEMS扫描器或其它类型。MEMS扫描器可以是例如名称为“MEMS DEVICE HAVINGSIMPLIFIED DRIVE”的美国专利申请序列号10/984327中描述的类型,通过参考将其结合于此。
在1D扫描器的情况下,扫描器可包括被驱动以沿着单个轴扫描输出束的第一束导向器和被驱动以在第二轴上扫描输出束的第二束导向器。在这种系统中,两个扫描器都称作扫描器120。在2D扫描器的情况下,驱动扫描器120被驱动以沿着多个轴(可选地,通过终端光学器件126)扫描输出束125,从而顺序照亮视场内的像素,以生成图像128。
对于小型和/或便携式显示器系统101,由于MEMS扫描器的频率、耐用性、可重复性和/或能量效率较高,因此通常优选这种器件。根据特定性能、环境或构造,对于一些应用优选批量的微加工或者表面微加工的硅MEMS扫描器。在图12中的透视图中示出了一个示例性MEMS扫描器实施例。对于其它应用优选其它实施例。
扫描器120的2D MEMS扫描器实施例在帧周期内在覆盖整个投射屏幕或投射屏幕所选区域的模式中高速扫描一个或多个光束125。典型帧频例如可以是60Hz。通常,谐振地运行一个或两个扫描轴是有利的。在一个实施例中,以约19KHz谐振运行一个轴,同时以锯齿模式非谐振地运行另一个轴以产生渐进扫描模式。以单条束渐进扫描的双向方法,以大约19KHz的扫描频率水平扫描和以60Hz的锯齿模式垂直扫描能接近SVGA分辨率。在一个这种系统中,静电驱动水平扫描移动和磁性驱动垂直扫描移动。可选地,可磁性或电容性驱动水平扫描。静电驱动可包括静电板、梳状驱动装置或相似方法。在各种实施例中,可成正弦地或谐振地驱动两个轴。
集成光子学模块102可具体化为单色的、全彩色的或超光谱的。一些实施例中,也希望在用于很多彩色显示器的常规RGB通道之间添加彩色通道。在此,应理解术语灰度级和相关讨论涉及这些实施例以及本发明范围内的其它方法或应用中的每一个。在下述的控制装置和方法中,像素灰度级在单色系统情况下可包括单个值,在彩色或超光谱系统的情况下可包括RGB三基色或更多基色。可对特定通道(例如红、绿和蓝色通道)单独施加控制或对所有通道全体施加控制,例如亮度调制。
系统资源104可包括电源132、用户界面134、视频界面136、和封装件138。视频界面例如可包括USB端口、蓝牙、Wi-Fi、火线、SD插座、IRdA端口或其它接口,以接受用于投射的图像。根据各种实施例,可使用各种接口包括蓝牙、USB等使视频界面与视频控制电子装置106通信。根据实施例,系统资源包括能够从无源存储器件例如USB驱动、SD卡或其它存储器检索图像或视频,并单独或以幻灯片放映图像或视频的操作系统。这例如对于从数码相机接收存储器件以及将最近捕获的图像放映给朋友或家人是有用的。
图2、3和4是根据实施例的集成光子学模块102的集成光学引擎部分114的一系列透视图。光学框架202相互光学对准地支撑三个光源204、206和208;束成形光学器件(未示出);束组合器210;以及束扫描器120,以通过所示的输出面212传送扫描调制束。图5提供根据实施例的集成光子学模块102的集成光学引擎部分114的尺寸。如可看到的,封装件的外部尺寸(高11.5mm深23mm宽40mm,或者小于高1/2英寸深1英寸宽13/8英寸)很小,从而甚至允许容易地集成到尺寸受限的便携式电子器件中。总计正好是10.6立方厘米(0.65立方英寸)。如可从下面的图中看到的,该封装件在光源之间提供相对宽裕的间隙。通过在光源之间生成更紧密的间隙能够进一步缩窄封装件的宽度。
根据一些实施例,光学框架202可热耦合到光源204、206和208。这种热耦合可允许光学框架用作光源的散热器。热敏电阻、热电耦等可热耦合到光学框架202以监测温度。如果确定温度超出了操作范围,则可改变、停止光输出。
图6、7和8是根据实施例的与图2-4的各透视图对应的、集成光子学模块102的集成光学引擎部分114的一系列透视局部剖视图。可看出图示束成形光学器件602、604和606被设置成从各光源204、206或208接收光束。当光源204包括SHG激光器时,其相应的束成形光学器件602可包括排除红外滤波器(infrared-excluding filter),其被构造用以防止红外泵浦光(infrared pump light)射出光源204。可看出束组合器210的各反射镜608、610和612被对准以接收和沿着束组合器的长轴将来自光源206、204和208的光束导向作为合成束。对准选择性折叠反射镜614以接收合成束并将其导向到扫描器120的MEMS扫描器618部件的反射镜616。可对准选择性折叠反射镜614以从基本垂直于标称反射镜(中心交叉)位置的方向朝向扫描反射镜616发射合成束。这种配置可用于最小化扫描束的几何失真。根据实施例的、包括扫描器120的磁体620和接口电缆622的附加部件也可从图6-8中看到。
图9是示出根据实施例对准图2-8的集成光子学模块的一些主要光学部件的视图。这些部件如上所述。可看到集成光子学模块的束组合器210中的扫描束出射面212。
图10是根据实施例的图2-8的集成光子学模块的光学框架202的视图。根据实施例,光学框架202可由金属诸如铝、钛等使用压铸件工艺制造。可选地,光学框架202可包括注射成型的塑性材料诸如玻璃填充或其它尺寸稳定的塑性材料。任选地,对光学框架进行二次加工操作以提供精细尺寸容限以及或者实现其它设计参数选择。根据其它实施例,光学框架202可使用加工和/或片状金属形成操作制造。可选的材料和制造工艺对本领域技术人员是显而易见的,且除非另外指出,都落入各种实施例的范围内。光学框架202可任选是一件或两件部件,如所示出的。任选地,光学框架202可包括较大量的部件诸如印刷电路板和其上的部件、分离的发射器/光学器件/组合器以及扫描部分等。
光学框架202可包括形成以接收各光源206、204和208以及相关联的束成形光学器件的钻孔1002、1004和1006。光学框架202可进一步包括形成为接收和对准选择性折叠反射镜、束组合器等的一个或多个定位面1008(所示的1008a、1008b、1008c和1008d)。面1010可形成为成一直线地接收扫描器(未示出)。此外,其它安装面和功能部件1012可沿着其它轴形成。
根据一些实施例,光学部件可利用盖部(未示出)诸如固定装置(例如螺丝、铆钉等)、使用粘合剂、通过夹具等机械夹持到光学框架202中。根据其它实施例,一个或多个光学部件可使用分立或集成固定技术、粘合剂(例如UV-固化光学粘合剂)等机械耦合到光学框架202。根据实施例,在部件直接耦合到光学框架的情况下,可省略分离的盖部。
图11是根据实施例的包括机械耦合电路板1102的集成光子学模块的至少一部分的透视图。电路板1102可任选地形成集成光子学模块102的集成光学引擎部分114的结构部分。根据各种实施例,电路板1102可包含传感器、光源驱动器、扫描器控制器、视频控制器电子器件以及存储器中的一个或多个。如上所述,各种传感器、光源驱动器、扫描器控制器、视频控制器电子器件以及存储器可采取很多种形式,包括但不限于常规的微处理器或微控制器以及相关联的部件、单个集成ASIC、两个或多个ASIC、两个或多个ASIC加上诸如DSP或常规CISC或RISC微处理器的一个或多个微处理器、诸如视频存储器IC的存储器、其它集成部件、分立部件以及软件。此外,可操作其以将视频信号转换成优选模式的媒体模块可被集成到控制器中以及集成到电路板1102上。MEMS扫描器120和光源116可直接与电路板1102接口。
图12是根据实施例可用在集成光子学模块中扫描光束的微电子机械系统(MEMS)扫描器618的透视图。MEMS扫描器618可由一层单晶硅晶片1202和一层诸如派热克斯玻璃(pyrex glass)的介电材料晶片1204形成,且根据常规绝缘体上硅(SOI)技术气密地接合所述晶片。所述层可使用诸如氢氧化钾(KOH)蚀刻、深反应离子蚀刻(DRIE)及其组合等方法部分或全部地被蚀刻以形成整体微加工(bulkmicromachined)的MEMS扫描器。根据一个实施例,扭转铰链和反射镜扫描板(下述)被部分蚀刻以形成减薄的结构,调整该结构以提供所需的谐振频率、能量存储、质量、弹簧常数等。
MEMS扫描器618包括由扫描板上的反射金属或电介质的四分之一波长叠层形成的扫描反射镜616。反射镜和扫描板从平衡环1208被悬置在扭转快速扫描铰链1206a和1206b上。可操作扭转快速扫描铰链1206a和1206b以允许反射镜606相对于平衡环1208围绕由它们的中心线限定的轴旋转。反过来,平衡环从安装框架1212悬置在扭转慢速扫描铰链1210a和1210b上。可操作扭转慢速扫描铰链1210a和1210b以允许平衡环和反射镜相对于安装框架1212围绕由它们的中心线限定的轴旋转。包括电磁线圈的致动器1214被形成在平衡环上用于驱动围绕慢速扫描轴和快速扫描轴的旋转。可经由MEMS放大器(未示出)通过导线1216(以及接口电缆622,未示出)从MEMS控制器接收包含慢速扫描波形和快速扫描波形的合成的信号。致动器1214形成合成周期性磁场,该磁场对由扫描器磁体620(未示出,但是在上面的图中可看到)形成的外部磁场排斥或吸引(push and pull)。
由于直接驱动平衡环1208,因此慢速扫描驱动器可提供任意驱动波形,选择该波形以排除会激励快速扫描的频率。根据实施例,慢速扫描波形可近似于与诸如60Hz帧频对应的周期性频率(periodicfrequency)下的锯齿波或不对称的三角波。锯齿慢速扫描波形可照这样操作以提供以所需角度回扫(retrace)的垂直帧扫描。
快速扫描驱动信号包括周期性波形诸如正弦波形,选择该波形以与反射镜和扫描板616的谐振频率对应。可操作系统中微小的不对称以通过快速扫描柔性件(flexure)1206a和1206b将平衡环1208以快速扫描频率移动中的微小波动传送到反射镜616。通过谐振放大移动中的微小波动以提供所需快速扫描角度。
MEMS扫描器618可进一步包括各种传感器以将反馈提供到MEMS控制器。这些可包括扭转铰链中的压敏电阻(PZR)应变传感器、温度结(temperature junction)或热敏电阻等。根据实施例,反射镜和扫描板616具有约1.2mm的直径,足以接收合成输入束而没有束限幅(beam clipping)。
示出了在一个未通电或“中止(rest)”位置处具有扫描板和形成于其上的扫描反射镜616的MEMS扫描器618。根据实施例,可通过施加DC偏置至致动器而在慢速扫描轴中在通电中止位置(powered restposition)处倾斜反射镜。DC偏置可围绕由慢速扫描扭转铰链1210a、1210b定义的慢速扫描轴而将标称“倾斜”施加到平衡环1208。可操作MEMS扫描器的可选实施例以在两个轴上建立反射镜616的通电中止平面。例如,MEMS扫描器可形成有形成在扫描板上的致动器1214。除了在平衡环1208上的致动器1214提供相对于慢速扫描轴中止倾斜以外,还可操作在扫描板上的致动器中的DC偏置以围绕由扭转铰链1206a、1206b限定的快速扫描轴而将标称倾斜施加到反射镜616。
可使用中止位置中的这种标称倾斜,例如以更加精确地将反射镜616对准集成光学组件(未示出)。
图13是示出根据实施例的示例性束形状119、125和束成形光学器件602、604和606的视图,其中所述束成形光学器件602、604和608用于与集成光子学模块的三种应用对应的三种结构1302、1304和1306。
根据与平视显示器对应的第一种构造1302,可从集成光子学模块的输出面212(未示出)将束119、125聚焦到大约100mm距离处的腰部(waist)1308。根据各种实施例,来自多个光源204、206和208的发射束可由束组合器210组合成调制合成束,且束扫描器120扫描所调制的合成束作为扫描调制束125,如图所示。100mm的示例性距离对应于出瞳扩张器(未示出)的距离。在这种应用中,出瞳扩张器通常都在终端光学器件126(未示出)之前插入,以提供扩张的出瞳或在其中将图像投射到观察者视网膜上的窥眼箱(eye-box)。
根据与便携式扫描束视频投影仪相对应的第二种构造1304,可将束119、125聚焦到距集成光子学模块的输出面212(未示出)大约500mm处的腰部1308。根据各种实施例,来自多个光源204、206和208的发射束可由束组合器210组合成调制合成束,且束扫描器120扫描所调制的合成束作为扫描调制束125。根据各种实施例,终端光学器件126可设置在束路径中,如图所示。500mm的示例性距离对应于自投射表面的标称工作距离。
根据与头戴(head-worn)扫描束或视网膜显示器对应的第三种结构1306,将束119聚焦到自集成光子学模块的输出面212(未示出)大约10mm距离的腰部1308。根据各种实施例,来自光源204、206和208的发射束可由束组合器210组合成调制合成束119,且将该调制合成束发射到光纤中,用于传送到显示器的头戴部分。10mm的示例性距离与集成光子学模块的输出面和光纤输入耦合器之间的距离相对应。根据各种实施例,可以是单模光纤的光纤将调制合成束119传送到观测者眼睛附近的末端。光通常以发散角射出光纤的末端,该发散角基本上与由输入或近端的束得到的会聚角相对应。射出光纤(未示出)末端的光可被聚焦到与光测者眼睛距离相对应的距离,通过末端安装的束扫描器(未示出)以周期性模式扫描,并通过终端光学器件(未示出)中继到观测者眼睛。
从图13的图中得到的一个一般观察结果是集成光子学模块适合于在各种应用中操作。附加地或可选地,集成光子学模块设计的变型适合于各种应用,其中一些于图13中示出。图14-18以及此处文字的和固有的其它描述示出了一些方法,这些方法用以提供具有在整个应用范围内具有共用性或者设计共用性的集成光子学模块。
图14是示出用于根据实施例的集成光子学模块的束成形光学器件的分立变型形式和集成变型形式的视图。根据实施例,平视显示器应用1302可使用圆形透镜1402、准直透镜1404、平顶透镜(top hat lens)1406以及聚焦透镜1408中的一些或全部,以使它的束成形。任选的圆形透镜1402可提供像散校正以将在两个轴中每一个上具有不同散度的很多激光器的输出转换成在任意轴上都具有基本相同的散度的径向对称束。这种透镜可以提供光功率损失最小的圆形。附加地或者可选地,限幅孔径可用在该系统中。准直透镜1404提供具有基本平行的边的束形状以引入到平顶透镜1406。平顶透镜1406将输入束的高斯能量分布转换成在其整个截面上具有基本相同功率的平顶形状的输出束。聚焦透镜1408将束聚焦到工作距离,如上所指出的。
平顶束在卷积(convolve)回平顶能量分布之前卷积通过正弦型能量分布。因此,希望对于平顶透镜1406选择焦距以在视距处产生卷积的平顶函数。可选择聚焦透镜1408的焦距以在EPE处产生腰部,该EPE例如可以是规则的微透镜阵列(MLA)。EPE在远场产生小束(beamlet)以提供扩展区域,在该区域上方观测者的视网膜会接收到视频图像。通过选择平顶形复合扫描束,由EPE产生的小束在所需观测距离范围内也可以是平顶形(在卷积通过正弦能量分布之后)。平顶形小束相互“倾斜”且降低或消除在整个窥眼箱上的功率的可见变化。
如从由图14中的顶视图表示的HUD(平视显示器)应用1302中可看到的,将圆形、准直、平顶和聚焦透镜1402、1404、1406和1408组合成一个或多个集成透镜1410。
根据实施例,便携式投射应用1304可使用圆形透镜1402和聚焦透镜1408中的一些或全部以使它的束成形。如同HUD应用1302一样,任选圆形透镜1402可提供像散校正,以将在两个轴中每一个上具有不同散度的很多激光器的输出转换成在任一轴上具有基本相等散度的径向对称束。这种透镜可提供光功率损失最小的圆形。附加地或可选地,在该系统中可使用限幅孔径。聚焦透镜1408将束聚焦到如上所示的工作距离。任选地,在便携式投射实施例中也可使用其它透镜例如准直和平顶透镜。
如可在由图14中间的图表示的便携式投射应用1304中看到的,圆形和聚焦透镜1402和1408可组合成一个或多个集成透镜1412。
根据实施例,头盔显示器应用1306可使用圆形透镜1402和聚焦透镜1408中的一些或全部以使它的束成形。与HUD和便携式投射应用1302和1304一样,任选的圆形透镜1402可提供像散校正以将在两个轴中每一个上具有不同散度的很多激光器的输出转换成在任一轴上具有基本相等散度的径向对称束。这种透镜可提供光功率损失最小的圆形。附加地或可选地,在该系统中可使用限幅孔径。聚焦透镜1408将束聚焦至如上所示的工作距离。任选地,在头盔显示器实施例中也可使用其它透镜诸如准直和平顶透镜。
如在由图14下部的图所表示的头盔显示器应用1306中可看到的,圆形和聚焦透镜1402和1408可组合成一个或多个集成透镜1414。
集成透镜1416表示上述集成透镜1410、1412和1414的实体(physical)实施例。
图15-17表示用于通过在全部多个光学元件上分配束成形功能而在可用在各种应用中的集成光子学模块中提供至少公共部分的方法。图15是示出根据实施例的用于便携式扫描束投影仪1502的集成光子学模块的一部分的视图。来自光源116的束通过束成形光学器件602、604和606成形且通过束组合器210组合以形成如上所述的调制合成束119。
图16是示出根据实施例的、用于图15的便携式投影仪的集成光子学模块部分1502的使用的视图,从而为图13所特别示出的具有不同束形状的HUD1602提供一部分集成光子学模块。如图16中所示,集成光子学模块部分1502可与合成束成形光学组件1604组合在一起。根据说明性实施例,可操作集成光子学模块部分1502以提供具有适合于便携式扫描束视频投影仪的特性、例如具有约500mm腰距(waistdistance)的束的调制合成束,如通过图13所示。此时束可被引入到包括准直透镜1404、平顶透镜1406和彩色平衡聚焦光学器件1606的一系列透镜中。涉及到组合为光学组件1604的这一系列透镜1404、1406和1606被构造成将束由适合于便携式扫描束视频投影仪的形状转换为适合于HUD的形状,例如是具有平顶功率分布和100mm焦距的形状。
图17是示出根据实施例将光学组件1604集成到合成透镜1704中以形成用于HUD的集成光子学模块部分1702的视图。
图18是根据实施例的至少一部分集成光子学模块114的透视图,示出了可选适配器光学器件的光传导路径和布置。集成光子学模块114包括被构造成用于便携式扫描视频投影仪的部分1502和被构造成用以接收来自部分1502的调制合成束并产生具有不同特性的调制合成束119的适配器光学器件1704。根据该实施例,部分1502和适配器光学器件1704包括被构造成用于平视显示器的一部分集成光子学模块1702。如上所述,通过扫描器120以周期性模式扫描调制合成束以形成该实例中可用于提供视频图像给车辆操作者的调制扫描束125,其中该车辆装配有包括具有该模块114的集成光子学模块的HUD。
图19是示出光源204、206和208与根据实施例的至少一部分集成光子学模块的束组合器210之间的关系的视图。图19包括用于将分离的R、G和B光束1902、1904和1906组合成单个的、合成光束119的束组合器210的侧视图以及根据实施例的RGB束源114的视图。
束组合器210包括三个分段1908、1910和1912,三者结合在一起且由透明材料如玻璃或适合于光学应用的聚合物制成。组合器210还包括在X-Z平面上的具有3W长度和矩形截面的输入面1914,且包括在Y-Z平面上的具有W高度和正方形截面的输出面1916。在一个实施例中,W=5.5毫米(mm),而在另一实施例中,W=3.5mm。输入面1914和输出面1916都是平坦的、光学性能表面。名称为“APPRATUSAND METHOD FOR COMBINING MULTIPLE ELECTROMAGNETICINTO A COMPOSITE BEAM”的美国专利申请序列号10/828,876讨论了组合器210的制造,由此共同指定且通过参考并入本文。
第一分段1908在X-Y平面上具有高和宽为W的平行四边形截面,并且包括形成部分组合器输入面1914的分段输入面(segment inputface)1918和用于将R束1902朝向组合器输出面1916反射后的反射面608。在一个实施例中,通过涂覆常规光学涂层将面608制成反射的。人们可以根据束组合器系统的参数选择该涂层(以及如下讨论的其它涂层)的反射特性和透射特性。输入面1918和反射面608之间的角度α是锐角。在优选实施例中,α=45°以允许R束1902在X尺寸上具有等于W的最大宽度。也就是说,如果α=45°,则只要R束适当地与输入面1918对准,W宽度的R束全部都将投射到反射面608上。然而,如果将组合器210设计成用于具有宽度小于W的R束1902,则面608的反射区域限于R束将照在上面的区域。可选地,可使角度α大于45°。但是由于角度α对于所有分段1908、1910和1902都是相同的,因此人们应在改变α的值之前考虑对其它分段1910和1912的影响。而且,如果α不等于45°,则R束与束源114的角度被调整成使得反射后的R束仍垂直于输出面1916。
相似地,第二分段1910在X-Y平面中具有高度和宽度为W的平行四边形截面,并且包括形成部分组合器输入面1914的分段输入面1920和反射面610,该反射面610沿着分段1908和1910之间的界面且通过反射后的R束1902并将G束1904朝向组合器输出面1916反射。在一个实施例中,通过对面610和与面610相接的分段1908的面中的一个或两个涂覆常规光学涂层而将面610制成反射的。输入面1920和反射面610之间的角度α是锐角,且优选等于45°以允许G束1904在W尺寸上具有等于W的最大宽度。但是,如果对于具有宽度小于W的G束1904设计组合器210,则面610的反射区域限于G束将照在上面的区域。可选地,可使得角度α大于45°。但是由于角度α对于所有分段1908、1910和1912都是相同的,因此人们应在改变α的值之前考虑对其它分段1908和1912的影响。而且,如果α不等于45°,则G束与束源114的角度被调整成使得反射后的G束保持垂直于输出面1916。
第三分段1912在X-Y平面上具有三角形截面,并且包括组合器输出面1916、分段输入面1922以及反射面612,其中,所述分段输入面1922具有宽度W且形成部分组合器输入面1914,所述反射面612沿着分段1910和1912之间的界面且通过反射后的R和G束1902和1904并将B束朝向组合器输出面反射。在一个实施例中,通过对面612和与面612相接的分段1910的面涂覆常规光学涂层而将面612制成反射的。在输入面1922和反射面612之间的角度α是锐角,且优选等于45°以允许B束1906在X尺寸上具有等于W的最大宽度。但是如果对于宽度小于W的B束1906设计组合器210,则面612的反射区域限于B束将照在上面的区域。可选地,可使得角度α大于45°。但是由于角度α对于所有分段1908、1910和1912都是相同的,因此人们应当在改变α的值之前考虑对其它分段1908和1910的作用。而且,如果α不等于45°,则B束与束源114的角度被调整成使得反射后的B束垂直于输出面1916。而且,在优选实施例中,在分段输入面1922和输出面1916之间的角度β基本上是直角。
图20是示出根据实施例2001的至少一部分集成光子学模块中的光传导的视图。可包括三个光源204、206和208的光源116被构造用以将调制光束通过其相应的束成形光学器件602、604和606射向束组合器210。光源被构造用以发射偏振光束。可选地,束成形光学器件602、604和/或606可包括被构造用以向所示的束组合器210提供S偏振光的偏振器。任选地,反射镜608、610和612可被构造用以组合输入束的S偏振分量并将P偏振分量朝向光阱(未示出)传导。束组合器的各反射镜608、610和612将来自发射器206、204和208的调制光束组合成S偏振的调制合成光束。适配器光学器件1704可任选地被插入到束路径当中以接收来自束组合器的输出面1916的光。
包括偏振束分离器的选择性折叠反射镜614将调制合成束119导向到扫描器120的反射镜616。可对准选择性折叠反射镜614以将合成束从基本垂直于标称反射镜(中心交叉)位置的方向射向扫描反射镜616。这种配置用于最小化扫描束中的几何失真。
作为在束组合器210中提供S偏振光的可选方式,可通过偏振束分离器614提供束的一些或全部偏振,可操作偏振束分离器以将S调制合成束119的偏振分量导向到扫描反射镜616并将光的P分量传送到光阱(未示出)。
将偏振束分离器614构造成优选反射S偏振光且由此将S偏振光朝向扫描器120反射。S偏振调制合成束在其路径上通过偏振旋转器2002射向扫描反射镜616。偏振旋转器可构造为四分之一波片,可操作该四分之一波片以在S偏振光射到扫描镜片616之前将其转换成圆偏振光。如上所述,可操作扫描器120以在整个视场上以周期性模式扫描束,以产生扫描调制光束125。在通过扫描反射镜616反射(和扫描)之后,扫描束在此通过偏振旋转器2002。偏振旋转器将当前来自扫描反射镜的圆偏振束转换成P偏振光。
P偏振光朝向偏振束分离器614传播。偏振束分离器614被构造成优选通过P偏振光且由此允许P偏振扫描束125通向FOV。
作为使用偏振光的可选方式,图20的系统可使用非偏振光或者椭圆偏振光。在这种可选实施例中,折叠反射镜614可包括选择性反射器例如半镀银反射镜。所射达的束119中的一部分通过折叠反射镜614,例如通向光阱(未示出),而一部分光能被导向到扫描反射镜616。在可选实施例中省略偏振旋转器。扫描束119再次射在半镀银反射镜614上且其一部分通向FOV。被反射的该部分被反射回光源和/或被反射向光阱。
图20的构造的几个可选实施例也是可行的。图21是示出根据另一实施例2101的光传导的视图,其中将合成束119成倾斜角度地射向扫描器120。扫描束125以一模式通向FOV,与图20的方法相比该模式具有一些梯形失真量。根据一些实施例,当扫描束不再次通向折叠反射镜时,该调制合成束119不需要被偏振并且折叠反射镜614不需要是选择性反射器。
图22示出了其中将扫描器120构造成位于束组合器的、与光源116相反的一侧上的实施例2201。扫描光束由此在光源116“后面”的方向上通向FOV。
图23是示出实施例2301的视图,其中折叠反射镜可包括被构造成固态光学器件的偏振光束分离器。
图24是示出实施例2401的视图,其中折叠反射镜614集成到束组合器210中。所示出的实施例示出折叠反射镜614作为偏振束分离器。如上所述,折叠反射镜朝向扫描器120反射第一偏振光。偏振旋转器2002被构造成在扫描器120的往返双程中旋转偏振90度,优选朝向扫描器反射输入能量和优选朝向FOV传送扫描束。
实施例2401使用被构造在与束组合反射镜608、610和612的平面平行的平面内的折叠反射镜614。
图25A是示出实施例2510的视图,其中折叠反射镜614被集成到束组合器210中。该实施例具有以相对于光源116向前的方向输出扫描束125的构造。折叠反射镜614的平面被构造成基本与组合反射镜608、610和612的平面成直角。
图25B是示出实施例2502的视图,其中包括具有非成像检测器的集成光子学模块的至少一部分。该实施例2502包括光检测模块2504,其可包括任选的光漫射器2506、任选的隔板2508、任选的反射侧壁2510、和非成像光检测器2512。如上所述,在整个FOV上扫描被任选地制成非调制的P偏振扫描束125。一部分扫描束125从FOV中的物体散射开作为散射光2514。通常,对于非镜面物体,散射光2514是非偏振的或者是椭圆偏振的。该散射光也通常被形成为一束平行的光线或者一束离散的光线,所述光线基本上布满了选择性折叠反射镜614。选择性折叠反射镜614接收散射束2514并朝向任选的光漫射器2506反射它的S偏振分量(如所示的)。任选的光漫射器2506被构造成在所示出的散射角度上散射所接收的光线。散射光线通过隔板2508射在光检测器2512上。一部分散射光线以不可能被检测器接收到的角度散射。任选的反射侧壁2510可用于将这种“损耗的”能量再次朝向检测器2512反射。可操作例如被构造成接收波长对应于光源的发射波长的检测器2512以将所接收的光能转换成电信号。根据实施例,集成光子学模块2502被构造成发射红、绿和蓝色激光作为合成扫描束125,滤波检测器2512以从FOV接收相应的红、绿和蓝色散射光。
操作中,来自检测器2512的电信号可与像素扫描同步读取以产生FOV的视频图像。
可将一个或多个任选检测器2516构造成接收来自FOV的P偏振分量,任选地通过一个或多个聚焦透镜。如果将束组合器210的反射镜608、610和612制成波长选择性反射镜,则可操作由任选的一个(多个)检测器2516所接收的信号以接收来自FOV的光并产生相应的电信号,该电信号并非由扫描束产生。例如将这种光用于确定FOV处的环境光,反过来,这可用于确定发光器的亮度、彩色平衡等。
图25C是示出实施例2503的视图,其中包括具有焦平面检测器阵列的集成光子学模块的至少一部分。实施例2503包括光检测模块2518,该光检测模块2518可包括透镜或透镜系统2520、孔径2522、隔板块2524以及诸如CCD或CMOS像素相关阵列(pixelated array)的焦平面检测器阵列2526。
如上所述,在整个FOV上扫描任选地制成非调制的P偏振扫描束125。一部分扫描束125从FOV中的物体散射作为散射光2514。通常,对于非镜面物体,散射光2514可以是非偏振的或是椭圆偏振的。散射光也通常形成为一束平行光线或一束离散光线,基本布满选择性折叠反射镜614。选择性折叠反射镜614接收散射束2514并朝向透镜2520反射它的S偏振分量(如所示的)。透镜2520和孔径2522被构造用以在隔板2524的远表面处形成共轭图像平面。可操作焦平面检测器阵列2526以检测FOV的共轭图像并将其转换成相应的电信号。操作中,例如在扫描器的回扫期间,可读取焦平面检测器阵列2526并以视频帧频刷新,以产生FOV的视频图像。
如所指出的,如此成像的光可通过选择性折叠反射镜614由被选择用于反射的S偏振光形成。可选地,例如在透镜2520和孔径2522之间可包括偏振旋转器例如检测路径四分之一波片(未示出),以将平面偏振光转换成圆偏振光。这种方法例如有利于避免与焦平面检测器2526相关的偏振依赖(polarization-dependent)接收作用。
对于图25B和25C的说明性实施例可选地,检测器2512和2526可被构造成直接接收来自FOV的散射光而不是接收来自选择性折叠反射镜614的散射光。
对于包括光检测子系统、诸如图25B和25C的相应说明性实施例的子系统2504和2518的应用,系统的控制器部分理所当然被构造成可用于接收来自检测器的电信号、将模拟信号转换成数字信号(或者对于具有集成ADC的检测器仅接收数字信号)、并且将所接收的信号组合成视频图像、将所接收的图像解码成相应的数据诸如解码的条形码或OCR数据、或者另一方面对所接收的数据进行处理以根据应用来执行功能。
一些实施例可使用来自检测器2512、2526的信号以更改光源激励的深度和/或时序,从而更改扫描调制束125,例如以补偿投射表面的不均匀性、距离和/或环境光。在名称为“PROJECTION DISPLAYWITH SCREEN COMPENSATION”的美国专利申请序列号11/284,043中公开了用于进行这种补偿的一些实施例,通过参考将其结合于此。
其它实施例可使用来自检测器2512、2526的信号,以例如通过更改光源和束扫描器的移动之间的相位关系来补偿集成光子学模块和投射表面之间的相对移动。在名称为“PROJECTION DISPLAY WITHMOTION COMPENSATION”的美国专利申请序列号11/635,799中公开了进行补偿的一些实施例,通过参考将其结合于此。
图25D是与图25A的实施例2501对应的实施例2527,但是其中移动扫描器120且以90度定向选择性折叠反射镜614以通过调制合成束而反射扫描束125。具有S偏振的至少一部分调制合成束119被从束组合器210射出并且通过选择性折叠反射镜614,通过偏振旋转器2002并射在扫描器120的反射镜616上。对准选择性折叠反射镜614从而通过处于与调制合成束119的角度相对应的角度的平面偏振光而反射处于垂直偏振角度的平面偏振光。光旋转器2002在合成调制束119通往扫描反射镜616的路径中将它的偏振旋转至圆偏振。扫描反射镜616以通过偏振旋转器2002的周期性扫描模式扫描所接收光束的反射光束。偏振旋转器将扫描束的偏振从圆偏振旋转至其取向与调制合成束119在从束组合器210射出时的取向基本成90度的平面偏振。选择性折叠反射镜614将旋转后的扫描束朝向视场反射作为扫描束125。在图25D的实例中,扫描束125具有S偏振。
图25E是示出根据实施例的至少一部分集成光子学模块2529中的光传导的视图,其中束扫描器在除了垂直于标称图像投射方向以外的平面中。与图25A的实施例一样,例如被构造成偏振束分离器的偏振选择性反射镜614被构造用以沿着所指示的方向将调制合成光束导向至偏振旋转器2002。在通过偏振旋转器之后,竖直的折叠反射镜2530将调制合成光束导向到束扫描组件120(被反射镜2530部分遮掩),以射在扫描反射镜(未示出)上。此时扫描光离开反射镜2530被反射回去,通过偏振束分离器2002,且由于扫描光的旋转后的偏振,所以通过选择性折叠反射镜614并进入到视场中作为扫描束125。根据一个实施例,将扫描反射镜构造成标称上处于图的平面中且因此位于平行于标称视频投射轴的平面中。除了其它事物之外,该方法还可通过允许扫描组件120的永久磁铁在厚度尺寸上具有较小的外部尺寸而提供在垂直于图的尺寸上较薄的封装件。折叠反射镜2530例如可以是至少在与光源116的输出波长对应的波长上反射基本所有射在其上的光的第一表面金属、电介质或其它反射镜。当然,偏振旋转器2002的位置可改变,例如位于竖直的折叠反射镜2530和扫描反射镜(未示出)之间。
图26是示出可选实施例2601的视图,其中一个光源204被构造成从束组合器210的一端射出它的束。如所示出的,它的束通过束成形光学器件602射入与折叠扫描器120和反射镜614端相对的一端。实施例2601在使用体积大的光源204时尤其有利。
图27是包括具有根据实施例的至少一部分集成光子学模块的扫描器控制器的框图2701。
根据图27的实施例,扫描器控制器122包括印刷电路板上的柔性电路互连、扫描控制ASIC2702、数字信号处理器(DSP)2704和支撑电路,其中,所述数字信号处理器(DSP)2704可用作共处理器,所述支撑电路包括电源电路和存储器。可注意到,图27的实施例与图1的扫描器控制器122相比稍微降低了集成度,其中将大部分控制功能集成到扫描器控制器ASIC中。根据各种实施例,操作的一般理论是相似的。
可操作扫描器控制器122以驱动双轴MEMS扫描器,同时在整个控制器互连2706上将适当的时序信息提供至控制器电子器件106(图27中未示出)。可另外操作扫描器控制器122以控制环境光级(lightlevel)并处理自动相位校准脉冲,并任选地将这些测量结果中继到视频控制器电子器件。
如图12中所描述和示出的,一个扫描器实施例包括MEMS扫描器,所述MEMS扫描器具有用于两个轴的PZR传感器和两个轴上的磁性驱动。
根据一些实施例,扫描器控制器122可物理安装在集成光子学模块的光学引擎部分114(未示出)附近。根据一些实施例,诸如上面描述的头盔显示器,扫描器控制器122可位于扫描器附近的末端位置处并且可物理上与光源116(未示出)以及束组合器和束成形光学器件118(未示出)的至少一部分分离,其中光源和束成形光学器件被构造成从近端位置通过光纤至末端位置将光提供给MEMS扫描器618的反射镜。相似地,视频控制器电子器件106(未示出)可安装在光源和束成形光学器件附近并通过电、射频、或光学接口2706与安装在末端的扫描器控制器122通信。在这种实施例中,它适合于将这种集成光子学模块中的近端部分安装在可支撑在使用者的皮带上的小型封装件中以及将系统的末端部分安装在头盔封装件中。
根据实施例,DSP2704可根据名称为“CIRCUIT FOR DRIVING APLANT AND RELATED SYSTEM AND METHODS”的美国专利申请序列号11/266,584中公开的方法,提供慢速扫描快速傅里叶变换(FFT)处理以提供慢速扫描的调整和有效衰减(active damping),通过参考将该美国专利申请结合于此。此外,DSP2704可以提供功能性,包括下列功能中的一项或多项:与视频控制器电子器件的数据通信;提供用于输入MEMS扫描器校准数据的接口;在正常操作期间将与MEMS操作相关的参数、自动相位调整结果、从环境光传感器2707接收的环境亮度、从温度传感器2708接收的温度等传送到视频控制光学器件;现场升级固件和软件的接口;确保关键操作的适当时序的任务安排;初始化和调整快速扫描振荡寄存器;以及PZR传感器的开环温度补偿。
根据实施例,扫描器驱动ASIC2702可以为混合信号(模拟和数字)器件,其可用以提供MEMS控制和提供自动相位(自动相位调整)校正。可操作扫描驱动ASIC2702以驱动和控制双轴MEMS扫描器618。双轴MEMS扫描器618可以是用压敏电阻(PZR)反馈传感器在两个轴上进行磁性激励的类型。根据实施例,扫描器驱动ASIC2702可包括各种模拟和数字功能中的一些或全部,所述各种模拟和数字功能例如包括:用PZR偏置电路2709将用户可编程电流偏置提供至PZR反馈传感器;提供在可编程振幅下可用以使快速扫描轴自谐振的闭环振荡电路2710,其中AGC参数可调节以允许软起动并调整控制选项;提供锁相环(PLL)以产生慢速扫描取样时钟(50至200kHz),该时钟与快速扫描谐振频率同步,其中倍增因子是可编程的;提供慢速扫描模数转换器(ADC)2712,其中来自PZR放大器的慢速扫描输入信号被转换成用于DSP处理器2704的数字信号,其中ADC分辨率可以是12至16位,取样率是50至200kHz;提供慢速扫描数模转换器(DAC)2714,其中慢速扫描波形的数字输入信号被转换成模拟电压并在求和电路2716中用快速扫描驱动信号求和;提供表示反射镜角度处于可接受范围内的反射镜状态信号;提供自动相位传感器接口电路,其中该电路与一个(多个)外部光检测器2718一起操作以调节用于自动相位功能的信号并测量调节结果;以及提供SPI串联数字接口2720以与视频控制器电子器件通信并允许向内部寄存器的读取/写入存取,用于初始化和监测。
快速扫描振荡器块2710使用PZR反馈信号以建立闭环振荡电路。振荡频率由扫描器的快速扫描轴的谐振频率确定。振荡的振幅通过具有可编程设置点的AGC电路来控制。来自该回路的输出是FS谐振频率的方形波的FS SYNC,其提供了主同步信号,以驱动其它系统部件。谐振频率可从约5kHz至40kHz变化。
从MEMS扫描器618上的慢速扫描PZR接收慢速扫描位置信号,之后放大、滤波并在慢速扫描ADC2712中转换成数字信号。将该数字信号发送到DSP2704用于分析。DSP将在慢速扫描DAC2714中转换为模拟信号的数字指令信号发送回去。在求和电路2716中用快速扫描输出对模拟慢速扫描驱动信号进行求和,且将该和发送到外部功率放大器2722,该外部功率放大器2722放大求和后的模拟信号以将驱动功率提供到扫描器618。
自动相位电路2724与一个或多个外部光检测器2718一起工作。扫描束125(未示出)周期性地穿过一个(多个)检测器2718。模拟接口电路2724响应于激光束交叉点产生脉冲并且脉冲长度是被传送到DSP2704的信息。
将快速扫描振荡器2710设计成模拟“自谐振”电路,其从MEMSPZR传感器取得实时位置信息,应用适当的振幅增益和相位延迟并且基于反射镜的反馈信号来驱动谐振中的反射镜。可经由SPI处理器接口来调整具有寄存器的块以提供MEMS特性,从而适应器件间、批次间和/或设计间的容限。
如结合图12所描述的,集成到MEMS扫描器618上的管芯柔性件(die flexure)中的PZR应变传感器感应反射镜的快速扫描移动。通过PZR偏置电路2709向PZR传感器提供可调节的DC偏置电流。偏置电流可以利用软件控制的值或者利用外部电阻器来编程。PZR反馈差动感测信号在具有可调节增益的低噪音差动预放大器(differentialpre-amplifier)2722中被放大。差动预放大器2722的增益可以是软件控制的或者是利用外部电阻器设置的,以对于给定反射镜角度偏差提供校准信号电平(在峰间电压中)。预放大器2722输出在限制了噪音带宽的带通滤波器2725中被滤波。带通滤波器2725可包括在低通滤波器之前的高通滤波器。带通滤波器2725的输出信号可用于驱动扫描控制系统。谐振时,在驱动信号和扫描移动之间存在90度相移。为了保持闭环振荡,通过移相器2726将额外90度的相移引入到回路中。在比较器2728中“清算(square up)”移相器2726的输出以产生数字快速扫描同步信号。对于慢速扫描驱动以及在视频控制器电子器件106(未示出)中进行的视频信号处理,快速扫描同步信号可通过锁相环输出2730传导到DSP2704并且用作主时基(primary time base)。
自动增益控制(AGC)电路可用于将振荡振幅保持在一非常精确的值。该回路可包括振幅检测器、可变增益放大器以及AGC控制器。振幅检测器产生与带通滤波器2725的输出振幅成比例的DC电压。该电压与AGC控制器中的设置点相当,该AGC控制器执行比例积分微分(PID)控制计算法。PID控制器的输出用作可变增益放大器2732的控制电压输入。
反射镜角度和频率监控电路(frequency watchdog circuit)2734控制振幅检测器的输出。如果振幅超出可编程设置点,则保护电路发出立即禁止(disable)驱动信号的关闭指令。二次安全电路(secondarysafety circuit)监测驱动信号的振幅,并防止其超出可编程值。
图28是根据实施例的用于集成光子学模块控制器的框图2801,该集成光子学模块控制器包括视频控制器106、扫描驱动器122以及束扫描器618。
可操作视频控制器106以执行以下操作中的一些或全部:从系统资源接收视频信号;任选地在视频存储器中超高速缓存所接收的视频数据;将信号转换成德伽马(de-gamma)信号;将德伽马信号转换成平衡彩色信号;缓冲线(buffering lines);进行插值以确定由扫描束扫描的实际像素位置的值作为所接收视频信号中的理想像素位置的函数;确定光源的亮度值;进行光源补偿和校正;以及与从像素时钟接收到的时序信号同步地将补偿后的亮度值传送到光源驱动电路,其中所述像素时钟由MEMS控制模块122所提供的水平和垂直同步脉冲产生。
任选地,视频控制器106可包括可用以将所接收的视频模式转换成较佳视频模式的媒体模块2802。根据一个实施例,可操作媒体模块2802以将所接收的模拟视频信号转换成数字视频信号。根据其它实施例,可省略媒体模块或者可集成媒体模块作为系统资源。
名称为“CIRCUIT FOR DETECTING A CLOCK ERROR IN ASWEPT-BEAM SYSTEM AND RELATED SYSTEMS ANDMOTHODS”的美国专利申请序列号11/316,326、名称为“CIRCUIT FORDETECTING A CLOCK ERROR IN A SCANNED IMAGE SYSTEMAND RELATED CIRCUITS,SYSTEM,AND MOTHODS”的美国专利申请序列号11/316,683、名称为“METHOD AND APPARATUS FORILLUMINATING A FIELD-OF-VIEW AND CAPTURING AN IMAGE”的美国专利申请序列号10/630,062、名称为“APPARATUS ANDMETHOD FOR BI-DIRECTIONALLY SWEEPING AN IMAGE BEAMIN THE VERTICAL DIMENSION AND RELATED APPARATI ANDMETHODS”的美国专利申请序列号10/441,916、名称为“ELECTRONICALLY SCANNED BEAM DISPLAY”的美国专利申请序列号10/118,861、名称为“APPARATUSES AND METHODS FORUTILIZING NON-IDEAL LIGHT SOURCES”的美国专利申请序列号10/933,033、名称为“SCANNED DISPLAY WITH VARIATIONCOMPENSATION”的美国专利号6,661,393、以及名称同样为“SCANNED DISPLAY WITH VARIATION COMPENSATION”的美国专利号6,445,362中公开了集成光子学模块控制器2801的可操作性的几个实施例的各方面,通过参考全部结合于此。
图29是示出根据实施例2901使用集成到移动电子设备2902中的集成光子学模块102的视图。如可看到的,该实施例被构造成在标称上对准便携式电子设备2902的顶部尺寸或长边尺寸的方向上发出调制光的扫描束125。任选地,集成光子学模块102可被构造成在不同方向上或者在多个方向上射出扫描束。可选地,集成光子学模块102被构造成将图像投射到扩散器的背侧上,由此形成背投屏幕。
移动设备2902可包括一系列设备类型,其包括但不限于:条形码扫描器、便携式计算机、掌上计算机、移动电话、便携式音频设备诸如MP3播放器、基于硬盘的便携式音频播放器、便携式视频播放器、基于硬盘的便携式视频播放器、数字游戏系统、商业演示指示器、激光指示器、前投电视或者背投电视等。
图30是示出根据实施例3001在车用平视显示器应用中使用集成光子学模块的视图。可选实施例或应用可包括用于飞机、船只、摩托车等的HUD。
车辆3002可包括容纳了仪表组3006的仪表板3004。仪表组包括具有光学部分104的集成光子学模块201,所述光学部分104被构造成通过中继光学器件3008而将扫描束图像投射向乘客3010,其中所述中继光学器件3008可包括车辆挡风玻璃。可构造该系统用以提供与乘客3010的一只或两只眼睛的位置对应的出瞳或窥眼箱3012。
这种系统可用于向观测者呈现各种信息,包括但不限于可任选地与车辆3002的方位相关的广告内容、微光前向图像(low-light forwardimage)、车辆限界信息、地图或驾驶方向、娱乐内容、紧急通告等。
图31是根据实施例3101使用集成光子学模块的便携式扫描束投射显示器3102的透视图。如图31中所示,根据实施例的构造,便携式投射显示器3102可拿在用户3010手中。示出了被构造成根据用户愿望在与便携式视频投影仪3102的主体纵向对准的方向3106上通过扫描束125投射图像的输出光学元件3104。
根据另一实施例,便携式视频投影仪3102可投射和/或检测控制区域(control field)。任选地,通过检测器诸如散射光检测器控制显示器视场以使得能够反馈供鼠标、指示器等使用,如用户所希望的,例如用于控制所投射的图像。
如图31中所示出的,根据实施例,便携式扫描束投射显示器3102可包括具有安装于其上的输出光学元件3104的主体。根据一些实施例,可旋转输出元件3104至一系列位置。例如,在第一位置处,用设备主体遮蔽光学元件且将设备切换到“关闭”或睡眠状态。例如使用光学编码器、旋转开关等感应光学元件3104的位置以自动切换模式。在另一示例性位置处,可旋转光学元件3104从而通常以适合与工作台面交叉的一个或多个角度将图像向前投射。任选地自动旋转所投射的图像使得“顶部”朝向设备3102主体的底部定位,以便于面向主体前面的用户观测。在第三示例性位置处,旋转光学元件3104至通常向前且与工作台面平行的位置,例如通常垂直于便携式视频投影仪3102主体的长轴,从而将图像投射到墙上而将主体设置在台上。可从与工作台面平行向上或向下调节该位置以选择墙上的图像高度。可任选地自动旋转所投射的图像,以在墙上投射其“顶部”取向在向上的方向上的图像。
在图31中示出的第四位置处,旋转光学元件3104至通常与便携式视频投影仪3102主体的纵轴平行的位置。这种模式下,例如在给出特别演示时,图像投影仪可便利地拿在用户手中并且瞄向垂直或水平表面。
如上所指出的,用在各种应用中的集成光子学模块可包括图像捕获功能。被捕获的图像可用于执行各种功能。例如希望图29的系统2901的实施例除了提供投影显示器之外还可用作激光相机。
图30的系统3001可包括分析被捕获的视频以根据一个或多个车辆乘客3010所确定的特性而发出警报声、执行系统关闭、转换成“自动驾驶”、存储视频或静止图像等。例如,如果确定司机或者驾驶员3010是近睡眠状态,就使用警报以唤醒个别人。如果确定不能识别乘客,且警报系统已经禁止或者另外被损害,则系统会捕获乘客图像、关闭车辆和/或通知表示该状态的法律实施。如果分析一连串视频帧确定乘客喝醉了,则该系统通知乘客将车辆拉到路边且随后执行至少部分系统关闭直到机能障碍不再是个问题。
相似地,系统3001可根据所检测的FOV或环境照明等来调节显示亮度、内容等。
如之前描述的,系统3101可依照所捕获的图像进行操作以控制显示内容。这种操作可用于例如“摇摄(pan)”显示全景作为较大部分虚像、校正显示表面不规则性、补偿显示表面和便携式视频投影仪之间的相对移动等。
前述的本发明概述、附图的简要说明以及具体说明以帮助读者容易理解的方式描述了根据本发明的示例性实施例。其它结构、方法和等同物也在本发明的范围内。在此描述的本发明的范围应当仅由权利要求书限制。

Claims (4)

1.一种系统,包括:
系统资源,可用作提供视频信号、电力和用户接口;
安装系统,被构造成容纳集成光子学模块;和
其中具有孔的外壳,所述孔对准集成光子学模块的出射面的位置和集成光学引擎部分。
2.如权利要求1所述的系统,其中所述系统包括蜂窝电话;并且
还包括集成光子学模块;
由此蜂窝电话可用作通过所述孔投射视频图像。
3.如权利要求1所述的系统,其中所述系统包括机动车辆和所述视频信号,所述视频信号包括限界信息;并且
还包括:
束分离表面,其与乘客位置对准;和
集成光子学模块,其可用作朝向所述束分离表面投射所述限界信息;
由此所述乘客可通过所述束分离表面同时观测限界信息和操作环境。
4.如权利要求1所述的系统,其中所述系统包括数码相机;并且
还包括:
用户接口,可用于捕获图像;和
集成光子学模块,其可由观测者操作,用于观测所捕获的图像。
CN201310355794.9A 2006-04-11 2007-04-11 使用集成光子学模块的系统 Active CN103458251B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US79107406P 2006-04-11 2006-04-11
US60/791,074 2006-04-11

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2007800129650A Division CN101422048B (zh) 2006-04-11 2007-04-11 集成光子学模块以及使用该集成光子学模块的设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103458251A true CN103458251A (zh) 2013-12-18
CN103458251B CN103458251B (zh) 2015-06-24

Family

ID=38480668

Family Applications (5)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310356466.0A Active CN103458252B (zh) 2006-04-11 2007-04-11 束扫描器
CN201310356470.7A Active CN103458253B (zh) 2006-04-11 2007-04-11 用于扫描光束以投射图像的方法
CN2007800129650A Active CN101422048B (zh) 2006-04-11 2007-04-11 集成光子学模块以及使用该集成光子学模块的设备
CN201210019529.9A Active CN102595147B (zh) 2006-04-11 2007-04-11 扫描束显示器引擎
CN201310355794.9A Active CN103458251B (zh) 2006-04-11 2007-04-11 使用集成光子学模块的系统

Family Applications Before (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310356466.0A Active CN103458252B (zh) 2006-04-11 2007-04-11 束扫描器
CN201310356470.7A Active CN103458253B (zh) 2006-04-11 2007-04-11 用于扫描光束以投射图像的方法
CN2007800129650A Active CN101422048B (zh) 2006-04-11 2007-04-11 集成光子学模块以及使用该集成光子学模块的设备
CN201210019529.9A Active CN102595147B (zh) 2006-04-11 2007-04-11 扫描束显示器引擎

Country Status (5)

Country Link
US (5) US7834867B2 (zh)
EP (2) EP2793471B1 (zh)
JP (1) JP4856758B2 (zh)
CN (5) CN103458252B (zh)
WO (1) WO2007120831A2 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111722238A (zh) * 2019-03-19 2020-09-29 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 基于双轴谐振式mems微镜的扫描控制系统及控制方法
CN112650124A (zh) * 2020-12-23 2021-04-13 华中科技大学 一种实现不同类型集成光子系统闭环控制的系统

Families Citing this family (157)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006069510A1 (fr) * 2004-12-28 2006-07-06 Ning Yuan Appareil de projection d'images video et son procede
US7834867B2 (en) * 2006-04-11 2010-11-16 Microvision, Inc. Integrated photonics module and devices using integrated photonics modules
US20080001850A1 (en) * 2006-06-06 2008-01-03 Mark Champion Beam scanner with reduced phase error
US8810637B2 (en) * 2007-04-03 2014-08-19 Karl Storz Imaging, Inc. Universal camera control unit
US8031403B2 (en) 2007-07-02 2011-10-04 Texas Instruments Incorporated System and method for reducing visible speckle in a projection visual display system
US20090136212A1 (en) * 2007-11-28 2009-05-28 Klein Scott V Self contained projection module suitable for retail and method
US20090190098A1 (en) * 2008-01-29 2009-07-30 Microvision, Inc. Scanned Beam Display Engine with Polarizing Beam Splitter
DE102008002809A1 (de) * 2008-03-21 2009-09-24 Patev Gmbh & Co. Kg Mikromechanische Vorrichtung
JP5143772B2 (ja) * 2008-03-28 2013-02-13 パナソニック株式会社 画像表示装置および画像表示方法
US8941627B2 (en) * 2008-05-06 2015-01-27 Lg Electronics Inc. Driving a light scanner
US20100039514A1 (en) * 2008-08-14 2010-02-18 John Brand System and Method for Image Projection of Operator Data From An Operator Control Unit
US20100060863A1 (en) * 2008-09-11 2010-03-11 Microvision, Inc. Distortion Altering Optics for MEMS Scanning Display Systems or the Like
US8059322B1 (en) 2008-09-16 2011-11-15 National Semiconductor Corporation System for suppressing undesirable oscillations in a MEMS scanner
US8154782B1 (en) 2008-10-01 2012-04-10 Texas Instruments Incorporated Method and system for generating a drive signal for a MEMS scanner
US7907019B1 (en) * 2008-10-01 2011-03-15 National Semiconductor Corporation Method and system for operating a MEMS scanner on a resonant mode frequency
JP2010249966A (ja) * 2009-04-14 2010-11-04 Hitachi Ltd 光学エンジン
WO2010122853A1 (ja) * 2009-04-21 2010-10-28 コニカミノルタオプト株式会社 走査光学系およびそれを備えたプロジェクタ
US8331005B2 (en) * 2009-04-24 2012-12-11 National Semiconductor Corporation Method and system for providing resonant frequency change compensation in a drive signal for a MEMS scanner
EP2427795A1 (en) * 2009-05-05 2012-03-14 Lemoptix SA Passive alignment method and its application in micro projection devices
WO2010140998A1 (en) * 2009-06-02 2010-12-09 Vladimir Yankov Optical integrated nanospectrometer and method of manufacturing thereof
US8634024B2 (en) * 2009-06-15 2014-01-21 Microvision, Inc. Asynchronous scanning display projection
US8248541B2 (en) 2009-07-02 2012-08-21 Microvision, Inc. Phased locked resonant scanning display projection
US9581756B2 (en) 2009-10-05 2017-02-28 Lighting Science Group Corporation Light guide for low profile luminaire
US9157581B2 (en) 2009-10-05 2015-10-13 Lighting Science Group Corporation Low profile luminaire with light guide and associated systems and methods
JP2011081551A (ja) * 2009-10-06 2011-04-21 Panasonic Corp データ処理システム
WO2011061914A1 (ja) * 2009-11-19 2011-05-26 パナソニック株式会社 走査型画像表示装置
JP5652124B2 (ja) * 2009-12-28 2015-01-14 株式会社リコー 走査型画像表示装置、携帯電話、携帯型情報処理装置、携帯型撮影装置
JP5349355B2 (ja) * 2010-02-01 2013-11-20 三菱電機株式会社 プロジェクションテレビ及びプロジェクションテレビのスクリーンユニットの固定方法
CN101788688B (zh) * 2010-03-04 2012-12-26 清华大学 微型集成化非合作目标探测装置
JP5321511B2 (ja) * 2010-03-17 2013-10-23 コニカミノルタ株式会社 走査光学系およびそれを備えたプロジェクタ
JP2013108999A (ja) * 2010-03-18 2013-06-06 Konica Minolta Advanced Layers Inc 走査光学系およびそれを備えたプロジェクタ
US8558889B2 (en) 2010-04-26 2013-10-15 Sensormatic Electronics, LLC Method and system for security system tampering detection
WO2011135848A1 (ja) * 2010-04-28 2011-11-03 パナソニック株式会社 走査型画像表示装置
WO2012000556A1 (en) * 2010-07-01 2012-01-05 Lemoptix Sa A mems micro-mirror device
US8547391B2 (en) 2011-05-15 2013-10-01 Lighting Science Group Corporation High efficacy lighting signal converter and associated methods
US9827439B2 (en) 2010-07-23 2017-11-28 Biological Illumination, Llc System for dynamically adjusting circadian rhythm responsive to scheduled events and associated methods
US8841864B2 (en) 2011-12-05 2014-09-23 Biological Illumination, Llc Tunable LED lamp for producing biologically-adjusted light
US8743023B2 (en) 2010-07-23 2014-06-03 Biological Illumination, Llc System for generating non-homogenous biologically-adjusted light and associated methods
US9024536B2 (en) 2011-12-05 2015-05-05 Biological Illumination, Llc Tunable LED lamp for producing biologically-adjusted light and associated methods
US8465167B2 (en) 2011-09-16 2013-06-18 Lighting Science Group Corporation Color conversion occlusion and associated methods
US8760370B2 (en) 2011-05-15 2014-06-24 Lighting Science Group Corporation System for generating non-homogenous light and associated methods
US9532423B2 (en) 2010-07-23 2016-12-27 Lighting Science Group Corporation System and methods for operating a lighting device
US8686641B2 (en) 2011-12-05 2014-04-01 Biological Illumination, Llc Tunable LED lamp for producing biologically-adjusted light
US9681522B2 (en) 2012-05-06 2017-06-13 Lighting Science Group Corporation Adaptive light system and associated methods
US9735550B2 (en) * 2010-07-30 2017-08-15 Sony Corporation Light source unit, illuminator, and display
US8855447B2 (en) 2010-08-12 2014-10-07 Octrolix Bv Scanning laser projector
US8965156B2 (en) 2010-08-12 2015-02-24 Octrolix Bv Beam combiner
US8602561B2 (en) 2010-08-19 2013-12-10 Octrolix Bv Three-dimensional projection device
JP5617429B2 (ja) * 2010-08-19 2014-11-05 ソニー株式会社 バスシステムおよびバスシステムと接続機器とを接続するブリッジ回路
JP5648368B2 (ja) * 2010-08-23 2015-01-07 ミツミ電機株式会社 光走査装置
US20120050690A1 (en) * 2010-08-31 2012-03-01 Panasonic Corporation Image display device and information processing device including the same
US8675061B2 (en) * 2010-11-01 2014-03-18 Richard D. Balentine Digital video projection display system
US8401231B2 (en) 2010-11-09 2013-03-19 Biological Illumination, Llc Sustainable outdoor lighting system for use in environmentally photo-sensitive area
CN102566220B (zh) * 2010-12-20 2015-11-18 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 投影装置保护系统及保护方法
US8384984B2 (en) 2011-03-28 2013-02-26 Lighting Science Group Corporation MEMS wavelength converting lighting device and associated methods
JP2012230321A (ja) 2011-04-27 2012-11-22 Hitachi Media Electoronics Co Ltd 走査型画像表示装置
US9151482B2 (en) 2011-05-13 2015-10-06 Lighting Science Group Corporation Sealed electrical device with cooling system
US9360202B2 (en) 2011-05-13 2016-06-07 Lighting Science Group Corporation System for actively cooling an LED filament and associated methods
US8608348B2 (en) 2011-05-13 2013-12-17 Lighting Science Group Corporation Sealed electrical device with cooling system and associated methods
US9681108B2 (en) 2011-05-15 2017-06-13 Lighting Science Group Corporation Occupancy sensor and associated methods
US8674608B2 (en) 2011-05-15 2014-03-18 Lighting Science Group Corporation Configurable environmental condition sensing luminaire, system and associated methods
US8901850B2 (en) 2012-05-06 2014-12-02 Lighting Science Group Corporation Adaptive anti-glare light system and associated methods
US9185783B2 (en) 2011-05-15 2015-11-10 Lighting Science Group Corporation Wireless pairing system and associated methods
US9173269B2 (en) 2011-05-15 2015-10-27 Lighting Science Group Corporation Lighting system for accentuating regions of a layer and associated methods
US8754832B2 (en) 2011-05-15 2014-06-17 Lighting Science Group Corporation Lighting system for accenting regions of a layer and associated methods
US8729832B2 (en) 2011-05-15 2014-05-20 Lighting Science Group Corporation Programmable luminaire system
US9648284B2 (en) 2011-05-15 2017-05-09 Lighting Science Group Corporation Occupancy sensor and associated methods
JP5995214B2 (ja) 2011-05-31 2016-09-21 インテル・コーポレーション 光学デバイス
JP2013041236A (ja) * 2011-07-01 2013-02-28 Hitachi Media Electoronics Co Ltd 走査型画像表示装置及び走査型投影装置
US8847436B2 (en) 2011-09-12 2014-09-30 Lighting Science Group Corporation System for inductively powering an electrical device and associated methods
US8408725B1 (en) 2011-09-16 2013-04-02 Lighting Science Group Corporation Remote light wavelength conversion device and associated methods
JP5335873B2 (ja) 2011-09-20 2013-11-06 株式会社日立メディアエレクトロニクス レーザ光源モジュールおよびそれを備えた走査型画像表示装置
US8515289B2 (en) 2011-11-21 2013-08-20 Environmental Light Technologies Corp. Wavelength sensing lighting system and associated methods for national security application
US8492995B2 (en) 2011-10-07 2013-07-23 Environmental Light Technologies Corp. Wavelength sensing lighting system and associated methods
US8439515B1 (en) 2011-11-28 2013-05-14 Lighting Science Group Corporation Remote lighting device and associated methods
US9220202B2 (en) 2011-12-05 2015-12-29 Biological Illumination, Llc Lighting system to control the circadian rhythm of agricultural products and associated methods
US9289574B2 (en) 2011-12-05 2016-03-22 Biological Illumination, Llc Three-channel tuned LED lamp for producing biologically-adjusted light
US8866414B2 (en) 2011-12-05 2014-10-21 Biological Illumination, Llc Tunable LED lamp for producing biologically-adjusted light
US9913341B2 (en) 2011-12-05 2018-03-06 Biological Illumination, Llc LED lamp for producing biologically-adjusted light including a cyan LED
US8963450B2 (en) 2011-12-05 2015-02-24 Biological Illumination, Llc Adaptable biologically-adjusted indirect lighting device and associated methods
US9197790B2 (en) 2012-01-13 2015-11-24 Industrial Technology Research Institute Optical scanning projection module
US8545034B2 (en) 2012-01-24 2013-10-01 Lighting Science Group Corporation Dual characteristic color conversion enclosure and associated methods
US9038917B2 (en) 2012-02-01 2015-05-26 Optoelectronics Co. Ltd. System and method for noise reduction in a bar code signal
KR101334216B1 (ko) 2012-02-22 2013-11-28 주식회사 나무가 레이저 다이오드의 히트 싱크 모듈 및 상기 모듈을 구비하는 3d 카메라
EP2834696A1 (en) * 2012-03-30 2015-02-11 Technicolor USA, Inc. Laser projector system with graphical pointer
EP2834772A4 (en) * 2012-04-03 2015-12-16 Optoelectronics Co Ltd VARIABLE POWER AMPLIFIER FOR BARCODE READER
US9402294B2 (en) 2012-05-08 2016-07-26 Lighting Science Group Corporation Self-calibrating multi-directional security luminaire and associated methods
US9366409B2 (en) 2012-05-06 2016-06-14 Lighting Science Group Corporation Tunable lighting apparatus
US8680457B2 (en) 2012-05-07 2014-03-25 Lighting Science Group Corporation Motion detection system and associated methods having at least one LED of second set of LEDs to vary its voltage
US8899775B2 (en) 2013-03-15 2014-12-02 Lighting Science Group Corporation Low-angle thoroughfare surface lighting device
US9006987B2 (en) 2012-05-07 2015-04-14 Lighting Science Group, Inc. Wall-mountable luminaire and associated systems and methods
US8899776B2 (en) 2012-05-07 2014-12-02 Lighting Science Group Corporation Low-angle thoroughfare surface lighting device
JP5983056B2 (ja) 2012-06-04 2016-08-31 セイコーエプソン株式会社 画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP6028400B2 (ja) 2012-06-04 2016-11-16 セイコーエプソン株式会社 画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP2014026128A (ja) * 2012-07-27 2014-02-06 Hitachi Media Electoronics Co Ltd 光モジュールおよび走査型画像表示装置
CN102868850B (zh) * 2012-08-16 2015-10-14 浙江宇视科技有限公司 一种摄像机加热装置
JP5914254B2 (ja) * 2012-08-24 2016-05-11 株式会社日立エルジーデータストレージ 光モジュールおよび走査型画像表示装置
US9127818B2 (en) 2012-10-03 2015-09-08 Lighting Science Group Corporation Elongated LED luminaire and associated methods
US9174067B2 (en) 2012-10-15 2015-11-03 Biological Illumination, Llc System for treating light treatable conditions and associated methods
US9129429B2 (en) 2012-10-24 2015-09-08 Exelis, Inc. Augmented reality on wireless mobile devices
US9322516B2 (en) 2012-11-07 2016-04-26 Lighting Science Group Corporation Luminaire having vented optical chamber and associated methods
CN103852962B (zh) * 2012-12-04 2016-08-10 光宝科技股份有限公司 扫描投影装置及其扫描控制方法
DE102012222283A1 (de) * 2012-12-05 2014-06-05 Robert Bosch Gmbh Lasermodul und Scannerprojektor
US9303825B2 (en) 2013-03-05 2016-04-05 Lighting Science Group, Corporation High bay luminaire
JP5996774B2 (ja) * 2013-03-11 2016-09-21 インテル コーポレイション Memsスキャニングミラーの視野の提供方法及び装置
GB2560826B (en) * 2013-03-11 2019-02-27 Intel Corp MEMS scanning mirror field of view provision apparatus
US9353935B2 (en) 2013-03-11 2016-05-31 Lighting Science Group, Corporation Rotatable lighting device
US9347655B2 (en) 2013-03-11 2016-05-24 Lighting Science Group Corporation Rotatable lighting device
US9459397B2 (en) 2013-03-12 2016-10-04 Lighting Science Group Corporation Edge lit lighting device
US9018854B2 (en) 2013-03-14 2015-04-28 Biological Illumination, Llc Lighting system with reduced physioneural compression and associate methods
US9255670B2 (en) 2013-03-15 2016-02-09 Lighting Science Group Corporation Street lighting device for communicating with observers and associated methods
US9222653B2 (en) 2013-03-15 2015-12-29 Lighting Science Group Corporation Concave low profile luminaire with magnetic lighting devices and associated systems and methods
US20140268731A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Lighting Science Group Corpporation Low bay lighting system and associated methods
US9157618B2 (en) 2013-03-15 2015-10-13 Lighting Science Group Corporation Trough luminaire with magnetic lighting devices and associated systems and methods
US9151453B2 (en) 2013-03-15 2015-10-06 Lighting Science Group Corporation Magnetically-mountable lighting device and associated systems and methods
US9124061B2 (en) * 2013-05-14 2015-09-01 Spectralus Corporation Projection RGB-laser light source with stabilized color balance
JP2015028595A (ja) * 2013-07-03 2015-02-12 セイコーエプソン株式会社 プロジェクター、プロジェクターの制御方法および表示装置
WO2015019370A1 (en) * 2013-08-06 2015-02-12 Datalogic Ip Tech S.R.L. Laser light beam scanning device for reading coded information
JP5925746B2 (ja) * 2013-10-18 2016-05-25 増田 麻言 レーザ光投射装置および投影装置
US9429294B2 (en) 2013-11-11 2016-08-30 Lighting Science Group Corporation System for directional control of light and associated methods
US11536956B2 (en) * 2013-11-25 2022-12-27 Preco, Llc High density galvo housing for use with multiple laser beams
US9364178B2 (en) 2013-11-26 2016-06-14 Elwha Llc Robotic vehicle control
US9761051B2 (en) 2013-12-26 2017-09-12 Empire Technology Development Llc Out-of focus micromirror to display augmented reality images
JP6457185B2 (ja) * 2014-03-27 2019-01-23 カンタツ株式会社 光学エンジンおよびその製造方法、ならびにプロジェクタ
US20160033728A1 (en) * 2014-04-03 2016-02-04 Infinera Corporation Hybrid polarization-multiplexed coherent pic transmitters and receivers
JP2016038537A (ja) * 2014-08-11 2016-03-22 旭硝子株式会社 ワイヤグリッド型偏光子、光源モジュールおよび投射型表示装置
US11218688B2 (en) * 2016-01-04 2022-01-04 Occipital, Inc. Apparatus and methods for three-dimensional sensing
US10191188B2 (en) 2016-03-08 2019-01-29 Microsoft Technology Licensing, Llc Array-based imaging relay
US10012834B2 (en) 2016-03-08 2018-07-03 Microsoft Technology Licensing, Llc Exit pupil-forming display with reconvergent sheet
US9945988B2 (en) 2016-03-08 2018-04-17 Microsoft Technology Licensing, Llc Array-based camera lens system
ITUA20161818A1 (it) 2016-03-18 2017-09-18 St Microelectronics Srl Dispositivo mems proiettivo per un picoproiettore di tipo flying spot e relativo metodo di fabbricazione
TWI579675B (zh) * 2016-04-01 2017-04-21 Laser dimming system
US10962764B2 (en) 2016-04-01 2021-03-30 Intel Corporation Laser projector and camera
CN105865324B (zh) * 2016-05-12 2019-02-01 全普光电科技(上海)有限公司 电容传感装置
JP6829375B2 (ja) * 2016-09-28 2021-02-10 ミツミ電機株式会社 光走査型ヘッドマウントディスプレイ及び網膜走査型ヘッドマウントディスプレイ
AU2017350941B2 (en) * 2016-10-28 2022-07-28 Magic Leap, Inc. Method and system for large field of view display with scanning reflector
US10816795B2 (en) * 2016-11-28 2020-10-27 Amalgamated Vision, Llc Wearable display for near-to-eye viewing
CN106448121A (zh) * 2016-12-12 2017-02-22 北京强度环境研究所 一种无线传感器
JP6891589B2 (ja) * 2017-03-28 2021-06-18 セイコーエプソン株式会社 画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
DE112018004438T5 (de) 2017-10-05 2020-05-20 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optisches modul
US10837891B2 (en) * 2017-12-11 2020-11-17 Honeywell International Inc. Miniature optical particulate matter sensor module
DE112019002260T5 (de) 2018-05-02 2021-01-14 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optisches Modul
JP7099044B2 (ja) * 2018-05-17 2022-07-12 日本精機株式会社 ヘッドアップディスプレイ装置
WO2019230144A1 (ja) 2018-05-28 2019-12-05 住友電気工業株式会社 ミラー駆動機構および光モジュール
US10884257B2 (en) 2018-06-25 2021-01-05 Faro Technologies, Inc. Background light suppression for a laser projector
US10866484B2 (en) 2018-09-04 2020-12-15 Abl Ip Holding Llc Light frequency upconversion of laser light, for cleansing
US10484656B1 (en) * 2018-12-12 2019-11-19 Microsoft Technology Licensing, Llc Driver system resonant frequency determination
US11218506B2 (en) 2018-12-17 2022-01-04 Microsoft Technology Licensing, Llc Session maturity model with trusted sources
US10873175B2 (en) * 2019-01-28 2020-12-22 Abl Ip Holding Llc Light frequency up-conversion of laser light, for producing green or yellow light
US20220206289A1 (en) 2019-04-11 2022-06-30 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optical module
DE102019209112A1 (de) 2019-06-24 2020-12-24 Infineon Technologies Ag Ein LIDAR-System, das eine Größe des Sichtfelds selektiv verändert
US11199710B2 (en) 2019-09-06 2021-12-14 Facebook Technologies, Llc Low-obliquity beam scanner with reflective polarizer
US11796791B2 (en) 2020-01-16 2023-10-24 Magic Leap, Inc. Scanning mirror systems and methods of manufacture
US11373567B2 (en) * 2020-01-24 2022-06-28 Rockwell Collins, Inc. Light modulated photodiode-based display monitor system
DE102021102254A1 (de) * 2021-02-01 2022-08-04 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Optoelektronische anordnung
WO2023272746A1 (zh) * 2021-07-02 2023-01-05 华为技术有限公司 一种光源装置、投射装置、光扫描设备及其组装方法
US20240036259A1 (en) * 2022-07-21 2024-02-01 The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Micromechanically-tunable polarization rotator for photonic integrated circuits

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5920361A (en) * 1993-02-03 1999-07-06 Nitor Methods and apparatus for image projection
US6480325B1 (en) * 2000-05-25 2002-11-12 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Laser light source and image display based on quasi-phasematched nonlinear optical devices
US20030011751A1 (en) * 2001-07-10 2003-01-16 Canon Kabushiki Kaisha Projection display device
CN1409154A (zh) * 2001-09-14 2003-04-09 中华映管股份有限公司 反射式液晶投影系统
CN1472591A (zh) * 2002-07-15 2004-02-04 ������ʣ�ŷ�ޣ��ɷ����޹�˾ 成象装置
WO2005096055A2 (en) * 2004-03-31 2005-10-13 Koninklijke Philips Electronics N.V. Projection system with scanning device

Family Cites Families (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US584821A (en) * 1897-06-22 William john
US580222A (en) * 1897-04-06 Sealing-cap for cans or other receptacles
GB2231138A (en) * 1989-04-26 1990-11-07 Full Spectrum Lighting Inc Computer controlled light with continuously variable colour temperature, colour, focus, magnification, and position
US5673127A (en) * 1993-12-01 1997-09-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Display panel and display device using a display panel
DE19549395A1 (de) * 1995-02-07 1996-10-31 Ldt Gmbh & Co Bilderzeugungssysteme zur Bestimmung von Sehfehlern an Probanden und für deren Therapie
US5767924A (en) * 1995-06-09 1998-06-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Display unit which is immersed in a coolant
GB9524884D0 (en) * 1995-12-05 1996-02-07 Gareth Jones Scanning system
US5848211A (en) * 1996-08-28 1998-12-08 Hewlett-Packard Company Photonics module having its components mounted on a single mounting member
DE19737374C2 (de) * 1997-08-27 1999-09-02 Ldt Gmbh & Co Verfahren zur Kompensation geometrischer Bildfehler bei Videobildern sowie ein Projektor zur Durchführung des Verfahrens
US6295154B1 (en) * 1998-06-05 2001-09-25 Texas Instruments Incorporated Optical switching apparatus
US6002507A (en) * 1998-12-01 1999-12-14 Xerox Corpoation Method and apparatus for an integrated laser beam scanner
JP4147698B2 (ja) 1999-06-03 2008-09-10 コニカミノルタオプト株式会社 表示光学装置
US7310174B2 (en) 1999-08-05 2007-12-18 Microvision, Inc. Method and apparatus for scanning regions
US6661393B2 (en) 1999-08-05 2003-12-09 Microvision, Inc. Scanned display with variation compensation
US6384406B1 (en) 1999-08-05 2002-05-07 Microvision, Inc. Active tuning of a torsional resonant structure
US6654158B2 (en) * 2001-04-20 2003-11-25 Microvision, Inc. Frequency tunable resonant scanner with auxiliary arms
US6882462B2 (en) * 2002-11-01 2005-04-19 Microvision, Inc. Resonant scanner with asymmetric mass distribution
US7262765B2 (en) 1999-08-05 2007-08-28 Microvision, Inc. Apparatuses and methods for utilizing non-ideal light sources
US6445362B1 (en) 1999-08-05 2002-09-03 Microvision, Inc. Scanned display with variation compensation
JP4474000B2 (ja) 2000-01-20 2010-06-02 キヤノン株式会社 投影装置
JP2001264662A (ja) * 2000-03-16 2001-09-26 Fuji Photo Film Co Ltd カラーレーザディスプレイ
US6606173B2 (en) 2000-08-01 2003-08-12 Riake Corporation Illumination device and method for laser projector
US6501530B2 (en) * 2000-10-19 2002-12-31 Eastman Kodak Company Motion picture film projector illumination system for minimizing film buckle
US6542307B2 (en) 2000-10-20 2003-04-01 Three-Five Systems, Inc. Compact near-eye illumination system
AU2001214632A1 (en) * 2000-11-03 2002-05-15 Microvision, Inc. Scanned display with variation compensation
US6736517B2 (en) * 2001-02-28 2004-05-18 Principia Lightworks Inc. Dual mode laser projection system for electronic and film images
US7061450B2 (en) 2001-04-09 2006-06-13 Microvision, Inc. Electronically scanned beam display
US6612703B2 (en) 2001-05-09 2003-09-02 Aculight Corporation Spectrally beam combined display system
US6961045B2 (en) 2001-06-16 2005-11-01 Che-Chih Tsao Pattern projection techniques for volumetric 3D displays and 2D displays
US6980321B2 (en) 2001-08-20 2005-12-27 Eastman Kodak Company Method and apparatus for printing high resolution images using multiple reflective spatial light modulators
US6980280B2 (en) 2001-10-12 2005-12-27 Eastman Kodak Company Two level image writer
JP4055590B2 (ja) * 2002-01-30 2008-03-05 ブラザー工業株式会社 画像表示装置
US7283112B2 (en) * 2002-03-01 2007-10-16 Microsoft Corporation Reflective microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system
US7446822B2 (en) * 2002-05-15 2008-11-04 Symbol Technologies, Inc. High-resolution image projection
US7924349B2 (en) * 2002-05-15 2011-04-12 Microvision, Inc. Arrangement for and method of projecting an image with linear scan lines
EP1508242B1 (en) 2002-05-17 2012-05-09 Microvision, Inc. Apparatus and method for sweeping an image beam in one dimension and bidirectionally sweeping an image beam in a second dimension
JP4111074B2 (ja) * 2002-08-20 2008-07-02 セイコーエプソン株式会社 プロジェクタ
JP2005018040A (ja) * 2003-06-02 2005-01-20 Seiko Epson Corp 走査装置、レーザプロジェクタ、及び光学装置
US7023463B2 (en) 2003-07-22 2006-04-04 Eastman Kodak Company Method and apparatus for printing images from digital image data
US7428997B2 (en) 2003-07-29 2008-09-30 Microvision, Inc. Method and apparatus for illuminating a field-of-view and capturing an image
CN1279743C (zh) * 2003-08-13 2006-10-11 中国科学院理化技术研究所 大屏幕电视激光显示系统(a)
JP2007510304A (ja) * 2003-10-27 2007-04-19 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 光学像を形成する装置及び方法
US7184646B2 (en) * 2004-04-15 2007-02-27 Jds Uniphase Corporation Optical module with multiple optical sources
IL162573A (en) * 2004-06-17 2013-05-30 Lumus Ltd Optical component in a large key conductive substrate
JP2006066875A (ja) * 2004-07-26 2006-03-09 Fuji Photo Film Co Ltd レーザモジュール
JP2006091072A (ja) * 2004-09-21 2006-04-06 Brother Ind Ltd 画像表示装置
WO2006069387A2 (en) 2004-12-21 2006-06-29 Microvision, Inc. Circuit for detecting a clock error in a scanned-image system and related circuits, systems, and methods
US7834867B2 (en) * 2006-04-11 2010-11-16 Microvision, Inc. Integrated photonics module and devices using integrated photonics modules
CN113934091B (zh) 2020-06-29 2023-12-01 中强光电股份有限公司 照明系统与投影装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5920361A (en) * 1993-02-03 1999-07-06 Nitor Methods and apparatus for image projection
US6480325B1 (en) * 2000-05-25 2002-11-12 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Laser light source and image display based on quasi-phasematched nonlinear optical devices
US20030011751A1 (en) * 2001-07-10 2003-01-16 Canon Kabushiki Kaisha Projection display device
CN1409154A (zh) * 2001-09-14 2003-04-09 中华映管股份有限公司 反射式液晶投影系统
CN1472591A (zh) * 2002-07-15 2004-02-04 ������ʣ�ŷ�ޣ��ɷ����޹�˾ 成象装置
WO2005096055A2 (en) * 2004-03-31 2005-10-13 Koninklijke Philips Electronics N.V. Projection system with scanning device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111722238A (zh) * 2019-03-19 2020-09-29 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 基于双轴谐振式mems微镜的扫描控制系统及控制方法
CN112650124A (zh) * 2020-12-23 2021-04-13 华中科技大学 一种实现不同类型集成光子系统闭环控制的系统
CN112650124B (zh) * 2020-12-23 2022-04-12 华中科技大学 一种实现不同类型集成光子系统闭环控制的系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN103458253B (zh) 2015-07-29
US20110234919A1 (en) 2011-09-29
CN102595147B (zh) 2014-07-09
US7986315B2 (en) 2011-07-26
CN102595147A (zh) 2012-07-18
EP2793471B1 (en) 2016-05-25
EP2005763A2 (en) 2008-12-24
EP2793471A3 (en) 2014-10-29
JP4856758B2 (ja) 2012-01-18
US20110025983A1 (en) 2011-02-03
US7956858B2 (en) 2011-06-07
US7978189B2 (en) 2011-07-12
JP2009533715A (ja) 2009-09-17
WO2007120831A2 (en) 2007-10-25
US8355013B2 (en) 2013-01-15
CN103458253A (zh) 2013-12-18
US20070273794A1 (en) 2007-11-29
CN101422048A (zh) 2009-04-29
EP2793471A2 (en) 2014-10-22
CN103458252B (zh) 2015-05-13
CN103458252A (zh) 2013-12-18
EP2005763B1 (en) 2014-08-20
US20110025930A1 (en) 2011-02-03
US20110018986A1 (en) 2011-01-27
CN103458251B (zh) 2015-06-24
CN101422048B (zh) 2013-09-04
WO2007120831A3 (en) 2008-02-07
US7834867B2 (en) 2010-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102595147B (zh) 扫描束显示器引擎
US11933970B1 (en) Head up display for podium based on laser MEMS emissive film projection system
US6151167A (en) Scanned display with dual signal fiber transmission
US6583772B1 (en) Linked scanner imaging system and method
EP2318879B1 (en) Optical relay for compact head up display
US20060215244A1 (en) Vehicle display system
EP1952189B1 (en) Display with image-guiding substrate
US7982765B2 (en) Apparatus, system, and method for capturing an image with a scanned beam of light
CN102105831A (zh) 光学扫描单元、包括该光学扫描单元的图像投影器、车辆平视显示装置和移动电话
US10848721B2 (en) Laser projection device and laser projection system
US20210263321A1 (en) Wearable smart optical system using hologram optical element
US5984477A (en) Helmet mounted display with improved SLM illumination
JP2009288520A (ja) 光走査型プロジェクタ
CA2387740C (en) Linked scanner imaging system and method

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant