CN102271922A - 干墨排放喷嘴的快速充墨 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用于将一种或多种材料(例如一个或多个膜，诸如一个或多个固体)沉积在一个或多个基底上的方法和装置，基底可形成OLED或其它类型显示器的一部分。在一些实施例中，本发明涉及用于将墨沉积在一个或多个基底上的装置和方法。该装置可包括：例如用于容纳墨的一个或多个腔室，在一个或多个腔室内构造有适于喷射墨滴的多个孔口；排放喷嘴，其包括微孔阵列(例如，以矩形阵列构造)，每个微孔具有入口端口和出口端口，且排放喷嘴通过入口端口处的孔口接纳来自腔室的多个量(例如多滴)的墨并从出口端口分配墨。可在排放喷嘴的入口端口上的唯一的间隔开的位置处接纳墨滴。在一些实施例中，包括多个孔口(例如三个)的单个液态墨保持腔室容纳具有多个悬浮颗粒的液体形式的墨，且墨滴从腔室大致同时喷射到在排放喷嘴上相应的间隔开的位置处；且排放喷嘴使载液蒸发并使固态颗粒沉积在一个或多个基底上。

Description

干墨排放喷嘴的快速充墨
相关申请的交叉引用
本申请根据35U.S.C.§119(e)要求2009年1月5日提交的美国临时专利申请No.61/142,575的优先权权益，该临时专利申请通过引用整体并入此处。
技术领域
本教导涉及用于将一种或多种材料(例如一个或多个膜，诸如一个或多个固体)沉积在一个或多个基底上的方法和装置。更具体地，本教导的各方面涉及用于将可包括一个或多个固体的一个或多个膜沉积在一个或多个基底上的方法和装置，该基底可形成LED或其它类型显示器的一部分。
背景技术
有机发光器件(OLED)的制造需要将一个或多个有机膜沉积在基底上或将膜堆叠的顶部和底部联接到电极。膜厚度是主要考虑因素。总的层堆叠厚度是大约10nm，且每层最佳在比±1nm好的精度的情况下均匀沉积。膜纯度也很重要。常规装置使用以下两种方法中的一种来形成膜堆叠：(1)使有机材料在相对真空环境中的热蒸发以及随后使有机蒸气在基底上的冷凝；或者，(2)将有机材料溶解到溶剂内，用形成的溶液涂覆基底，且随后去除溶剂。
沉积OLED的有机薄膜的另一考虑是将膜精确地放置中所需的位置。根据膜沉积的方法，存在两种执行该任务的常规技术。对于热蒸发来说，使用荫罩板(shadow masking)来形成所需结构的OLED膜。荫罩板技术要求将良好限定的掩膜放置在基底的一个区域上，接着将膜沉积在整个基底区域上。一旦完成沉积，将荫罩板去除。通过掩膜露出的区域限定沉积在基底上的材料的图案。该工艺效率低下，因为虽然仅通过荫罩板露出的区域需要膜，但是必须涂覆整个基底。此外，荫罩板随着每次使用被越来越多地涂覆，且最终必须丢弃或清洁。最后，由于需要使用非常薄的掩膜(以实现小的装置尺寸)使得难以在大的区域上使用荫罩板，该非常薄的掩膜使得掩膜在结构上不稳定。然而，气相沉积技术产生具有高均匀性和高纯度以及优良的厚度控制的OLED膜。
对于溶剂沉积来说，可使用喷墨印刷来沉积OLED膜的图案。喷墨印刷需要将有机材料溶解到产生可印刷墨的溶剂中。此外，喷墨印刷通常限于使用单层OLED膜堆叠，这与多层堆叠相比通常具有较差的性能。因为印刷通常造成任何下方有机层的破坏性溶解，所以出现对单层的限制。最后，除非基底首先制备成限定待沉积墨的区域，该步骤增加了该工艺的成本和复杂度，与气相沉积膜相比，喷墨印刷局限于具有较差厚度均匀性的圆形沉积区域。由于在干燥工艺期间发生的材料的结构变化以及由于存在于墨中的材料杂质，材料质量也通常较低。然而，喷墨印刷技术能够以良好的材料效率在非常大的区域上提供OLED膜的图案。
没有常规技术将喷墨印刷的大面积图案化能力与利用有机薄膜的气相沉积实现的高均匀性、纯度和厚度控制结合。因为喷墨处理的单层OLED器件仍然不具有足以广泛商业化的质量，且热蒸发对于扩展到大面积来说仍然不可行，所以对于OLED工业来说主要的技术挑战是开发可提供高的膜质量和经济有效的大面积可扩展性的技术。
最后，制造OLED显示器可能还需要金属薄膜、无机半导体和/或无机绝缘体的图案化沉积。通常，已经使用气相沉积和/或溅射以沉积这些层。使用预先的基底制备(例如具有绝缘体的图案化涂层)、上述荫罩板、以及采用新基底或保护层时的常规光刻来完成图案化。这些方法中的每个与所需图形的直接沉积相比都效率低下，还因为其浪费材料或者需要附加的处理步骤。因此，对于这些材料来说，也存在对沉积高质量、经济有效、可大面积扩展的膜的方法和装置的需要。
发明内容
接下来阐述各实施例的示例性且非限制性概要。
根据各实施例，例如提供用于将一种或多种材料沉积在一个或多个基底上的装置和方法。在各实施例中，这样的一种或多种材料可包括一个或多个膜。在一些实施例中，这样的一个或多个膜可包括一个或多个固体。在一些实施例中，一种或多种墨沉积在一个或多个基底上。
根据各实施例，提供用于将一种或多种材料(例如一个或多个膜，诸如一个或多个固体)沉积在一个或多个基底上的装置。在一些实施例中，本教导的装置可包括以下部件中的一个或多个：(i)用于容纳墨的腔室；(ii)排放喷嘴，该排放喷嘴以与腔室间隔开的关系布置且包括多个微孔，其中每个微孔包括限定入口端口的第一端区域和限定出口端口的第二端区域，所述第一端区域面对腔室；以及(iii)与腔室流体连通的多个孔口(也称为端口)，其中所述孔口适合于将墨滴从腔室沿分开的相应的输送路径计量供给到在排放喷嘴的入口端口上的相应的间隔开的位置。在各实施例中，腔室容纳呈液态形式的墨，其中所述墨由溶解或悬浮在载液中的多个大致固态的颗粒限定，且墨滴被从所述腔室穿过所述孔口脉动地计量供给到所述排放喷嘴；并且所述排放喷嘴使所述载液蒸发，并使所述大致固态的颗粒沉积在基底上。
根据本教导的各方面，用于将一种或多种材料(例如一个或多个膜，诸如一个或多个固体)沉积在一个或多个基底上的装置的其它实施例可包括例如如下部件中的一个或多个：(i)腔室，该腔室构造成保持液体，诸如液态墨；(ii)与腔室流体连通地布置的多个孔口，所述孔口的尺寸(例如，直径或与孔口的轴线正交的横截面面积)通常防止墨诸如通过表面张力而穿过该孔口；(iii)一个或多个腔室激励器(activator)(例如一个或多个加热器和/或压电材料)，所述一个或多个腔室激励器可操作地联接到腔室或孔口，适于提供足以大致同时经由多个孔口中的每个孔口从腔室喷射多滴液体(例如从每个孔口一滴)的能量。(iv)排放喷嘴，该排放喷嘴以与腔室间隔开的关系布置且包括多个微孔，所述多个微孔限定一个阵列，其中每个微孔包括限定入口端口的面对腔室的第一端区域和限定出口端口的背离腔室的第二端区域；(v)多个间隔开的输送路径，每个输送路径从所述孔口中的相应一个延伸到在排放喷嘴的入口端口上的相应的唯一(unique)位置；以及(vi)一个或多个喷嘴激励器(例如，一个或多个加热器和/或压电材料)，所述一个或多个喷嘴激励器可操作地联接到排放阵列、适合于例如通过将微孔加热到一个或多个选定的温度和/或选定的温度范围(例如大约100摄氏度至大约300摄氏度)来提供足够从微孔排放材料的能量。
在一些实施例中，与腔室流体连通地设置两个或更多个(例如三个)孔口，而微孔阵列限定具有长尺寸和短尺寸的矩形。此外，由孔口限定的直线平行于矩形阵列的长轴线布置。在其它实施例中，布置两个或更多个(例如三个)孔口以与腔室流体连通，且微孔阵列形成非矩形阵列，诸如具有V形或三角形形状的阵列。此外，在将多个墨滴从腔室沿相应输送路径喷射到微孔阵列时，三个孔口布置成实现微孔阵列的最佳(例如最大)覆盖。
根据各实施例，提供用于将一种或多种材料(例如一个或多个膜，诸如一个或多个固体)沉积在一个或多个基底上的方法。例如，在一些实施例中，本教导的方法可包括如下步骤中的一个或多个：(a)向腔室提供液态墨，所述液态墨由溶解或悬浮在载液中的多个颗粒限定；(b)向至少两个间隔开的孔口脉动地提供能量，以大致同时从每个孔口计量供给来自所述腔室的液态墨滴，所述至少两个间隔开的孔口中的每个孔口与所述腔室流体连通地布置；(c)将所计量供给的墨滴沿分开的相应输送路径大致同时地传送到在排放喷嘴上的相应间隔开的位置；(d)在排放喷嘴处接纳所计量供给的墨滴，所述排放喷嘴包括用于引导所计量供给的墨滴的多个微孔；(e)在多个微孔处加热所述墨以使所述载液蒸发，由此致使所述多个颗粒大致不含载液；以及(f)将所述多个颗粒从所述微孔排放到所述基底上；由此所述多个颗粒以大致固态形式沉积在基底上。
根据本教导的用于将一种或多种材料(例如一个或多个膜，诸如一个或多个固体)沉积到一个或多个基底上的方法的其它实施例可包括例如如下步骤中的一个或多个：(a)将指定体积的液态墨保持在保持区域中，其中液态墨包括溶解或悬浮在载液中的多个颗粒；(b)将能量(例如热的和/或机械的)输送到保持区域，由此沿所述保持区域从至少两个间隔开的位置大致同时喷射多个液态墨滴，使得每个墨滴沿相应输送路径传送到沿与保持区域相邻的平面的唯一位置；(c)将喷射的墨滴中的每个墨滴细分成多个微体积的液态墨，每个微体积的液态墨布置在紧邻所述平面的相应微保持区域中；(d)将微保持区域加热到第一温度(例如100摄氏度)，使得载液蒸发，由此在保持区域内提供大致不含载液的固态颗粒；(e)将微保持区域加热到第二温度(例如300摄氏度)使得在微保持区域内的固态颗粒气化成气体；以及(f)将气体引出微保持区域(例如通过施加诸如热的和/或机械的能量)并引导到与所述微保持区域相邻的基底上，所述气体在所述基底上固化。在各实施例中，由此形成膜。
附图说明
将参考以下非限制性且示例性图示讨论本教导的这些和其它实施例，其中相同的元件进行类似地标号，且其中：
图1A是根据本教导的示例性打印头的侧剖示意图，该打印头包括热墨分配机构和排放喷嘴，如各实施例所考虑的那样；
图1B是根据本教导的排放喷嘴的示例性实施方式的示意性仰视平面图，该排放喷嘴包括矩形微孔阵列，如各实施例所考虑的那样；
图2A是侧视图，其中各部分以剖视图示出，示意性地描绘了打印头的所选择部件，该打印头具有带有单个喷墨孔口的喷墨件和带有微孔阵列的排放喷嘴。喷墨件描绘为沿共同输送路径朝向在微孔阵列上的共同位置喷射单个墨滴。
图2B是侧视图，其中各部分以剖视图示出，示意性地描绘了根据本教导的各实施例的打印头的所选择部件，该打印头具有带有三个喷墨孔口的喷墨件和带有微孔阵列的排放喷嘴。喷墨件描绘为沿三个相应的输送路径朝向在微孔阵列上的唯一位置喷射墨滴。
图3A是示意性描绘在由图2A的打印头喷射的墨滴的撞击之后散布在矩形微孔阵列的入口上的液态墨的俯视图。
图3B是示意性描绘根据本教导的各个实施例在由图2B的打印头喷射的三个一组的墨滴的撞击之后散布在矩形微孔阵列的入口上的液态墨的俯视图。
图3C是示意性描绘根据本教导的各实施例在由适于同时喷射三个一组的墨滴的喷墨件喷射的三个一组的墨滴的撞击之后散布在V形微孔阵列的入口上以形成V形的液态墨的俯视图。
图4是示意性描绘根据本教导的各实施例在撞击之后散布在矩形微孔阵列的入口上的三个一组的液态墨滴的俯视图，其中每个墨滴的直径小于阵列的长尺寸且其直径大于阵列的短尺寸。
图5是示意性描绘根据本教导的各实施例在撞击之后散布在微孔阵列的入口上的三个一组的液态墨滴的俯视图，其中墨滴的尺寸不同。
具体实施方式
现在将对各非限制性和示例性的实施例进行参考。
根据各实施例，本教导涉及用于将一种或多种材料(例如一个或多个膜，诸如一个或多个固体)沉积在一个或多个基底上的方法和装置。这种膜可用于例如OLED和大面积晶体管电路的设计和构造。此外，可通过此处的装置和方法沉积的材料包括有机材料、金属材料以及无机半导体和绝缘体，诸如无机氧化物、硫属化合物、IV族半导体、III-V族复合半导体、以及II-VI族半导体。
此外，本教导在各实施例中涉及墨分配器和排放喷嘴，两者组合地构成打印头。根据各实施例，分配器可以是例如喷墨件，且喷嘴可适于以大致干燥或固态形式排放材料膜。在各实施例中，排放的膜材料可沉积在一个或多个基底上。
本教导可在例如美国专利申请US2008/0311307A1(此处称为′307公开)中所教导的装置和方法中实施和/或实现，所述美国专利申请通过引用整体地明确并入此处。
在打印头装置的一些构造和/或因此的应用中，仅具有用于将液态墨喷射到单个排放喷嘴上的单个孔口的喷墨分配器可能是令人满意且合要求的。然而，本教导构思出打印头装置和/或因此的应用的一些构造，其中所想要的结果不能通过用于将液态墨喷射到单个排放喷嘴上的单孔口喷墨件来实现。此外，本教导提供具有用于将液态墨喷射到单个排放喷嘴上的多个(即，多于一个)孔口的喷墨分配器。例如，′307公开的打印头装置的各实施例可构造成每个用于保持液态墨的腔室具有多个(例如2、3、4、5、6或更多个)孔口。因此，激活时，可从腔室喷射多个墨滴。此外，用于喷射墨的激活装置(例如热能和/或机械能的能量源)可构造成使得大致同时喷射多个墨滴(例如对于具有三个互相连通的孔口的腔室来说是三个墨滴)。此外，激活装置可构造成使得从每个孔口连续地喷射多个墨滴。
在本教导的打印头装置的一些构造中，如此处进一步所讨论的，可使用来自多个墨保持腔室的与单个目标微孔阵列对准的孔口来将多个墨滴沉积到单个目标微孔阵列上。例如，在各实施例中，与目标微孔阵列关联的多个腔室中的每个包括用于将液态墨滴输送到该目标微孔阵列的一个或多个孔口。在一些这种实施例中，多个腔室中的每个仅包括用于输送液态墨滴的单个孔口。例如，一些实施例中(未示出)，当使用诸如此处所教导的具有设置在单个墨保持腔室内的三个孔口的打印头装置时，三个墨滴可从三个不同孔口-腔室对输送以实现相同的结果。
如下面更进一步所讨论的，存在各种构造的打印头装置，其中可能想要采用用于保持液态墨的每个腔室有多个孔口的喷墨件。一种这种构造是具有喷墨件和相邻的排放喷嘴的打印头装置，所述喷墨件具有用于保持液态墨的腔室，所述相邻的排放喷嘴具有微孔阵列，其中微孔阵列的至少一个尺寸大于从喷墨件喷射的墨滴的大小。如果在这种构造中仅使用单个喷墨件，其中该喷墨件仅具有用于从液体保持腔室喷射墨的单个孔口，则当努力用液态墨润湿整个微孔阵列时，可能必须连续地喷射多个墨滴。应注意，在一些这种单孔口构造中，可能无法或实践上不能够润湿整个阵列，即使在微孔阵列处连续喷射多个墨滴时。
图1A是根据本教导的各种实施例的用于沉积材料的装置的示意图。图1A提供根据各实施例的热喷打印头的示意图，该热喷打印头包括热墨分配机构和排放喷嘴。
参考图1A，用于将材料沉积在基底上的示例性装置包括腔室130、多个孔口170、排放喷嘴180、以及多个多微孔管道160；所述多个多微孔管道160还称为微孔。腔室130容纳呈液态形式的墨并将墨从孔口170连通到排放喷嘴180。墨可包括例如在载液或溶剂内的悬浮或溶解的颗粒。这些颗粒可例如包括单个分子或原子、分子和/或原子的聚集体、或其任意组合。在所示实施例中，排放喷嘴180上的相应位置和每个孔口170之间的路径限定三个分开的、间隔开的、相应的输送路径，其由附图标记P1、P2和P3指示的虚线示出。
在图1A的实施例中，排放喷嘴180包括由分隔部165分开的微孔160。根据一些实施例，微孔160可包括在其中的多微孔材料。排放喷嘴180的靠近孔口170的表面限定有到排放喷嘴180的入口端口，而排放喷嘴180的背离孔口170的远端表面限定有出口端口。基底(未示出)可定位成靠近排放喷嘴180的出口端口以用于接纳从出口端口排放的墨。
图1的热喷射打印头还包括底部结构140，该底部结构140接纳排放喷嘴180。排放喷嘴180可制造成为底部结构140的一部分。替代地，排放喷嘴180可分开地制造且可与底部结构140组合以形成一体结构。顶部结构142接纳腔室130。顶部结构142可形成有适当的空腔和管道以形成腔室130。顶部结构142和底部结构140通过粘结剂120联接以形成壳体结构。该壳体允许热喷射打印头在压力下或在真空中运行。该壳体还可包括入口端口(未示出)，以接受用于将材料从排放喷嘴运送到基底(未示出)的输运气体。替代地，端口(未示出)可集成到顶部结构142以接收输运气体。端口可包括适于接收输运气体的凸缘，根据一个实施例，该输运气体包括一种或多种气体的大致惰性混合物。混合物可包括当与常用的有机材料一起使用时大致不与由装置沉积的材料反应的气体，诸如氮气或氩气。输运气体可通过流过微孔160而将颗粒远离排放喷嘴180地运送。
应注意，喷墨件和排放喷嘴的一体化是可选的。本领域的技术人员将理解喷墨头和排放喷嘴可作为物理上分开的单元而布置和使用，如此处所构思的。本教导构思出包括布置在构造中的喷墨头和排放喷嘴的各种实施例，其中这些部件作为物理上分开的单元布置和使用。
可选地，腔室130可增加加热器110以加热和/或分配墨。在图1A中，加热器110定位在腔室130内部。加热器110可以是可操作地联接到腔室130和/或孔口170的任何热能源，以向液态墨提供脉动能并由此通过每个孔口170排放相应的液态墨滴。在一个实施例中，加热器110以具有一分钟或更少的持续时间的脉冲形式输送热。例如，加热器可用具有可变占空比和1kHz循环频率的方形脉冲通电。因此，加热器能量可用于计量供给从腔室130输送到排放喷嘴180的墨量。除了墨，腔室130还可包含对形成用在OLED或晶体管的制造中的膜有用的材料。孔口170可构造成使得腔室130内液体的表面张力防止在用于分配墨的机构激活之前排放液体。
通常，可采用联接到腔室130的能够提供足以从孔口170喷射液态墨滴的能量的任何合适的能量源；例如，机械能(例如振动)。根据本教导，在一个实施例中，使用压电材料作为加热器110的替换或补充。在另一实施例中，每个孔口170联接到分开的加热器和/或压电材料。在后一实施例中，例如，可设置三个加热元件；一个加热元件用于(且靠近于)每个孔口170。
在图1A的实施例中，排放喷嘴180包括由管道或微孔160分开的分隔部(或刚性部分)165。微孔160和刚性部分165可共同限定多微孔环境。该多微孔环境可包括多种材料，包括多微孔氧化铝、或者硅或碳化硅的固态薄膜，并具有微加工孔。微孔160构造成防止在液体中溶解或悬浮的材料在适当地激活媒质之前通过排放喷嘴180逃离。当排放的液滴遇到排放喷嘴180时，液体在毛细管作用的帮助下被抽入微孔160。在排放喷嘴180的激活之前，墨中的液体可能蒸发，在微孔壁上留下悬浮或溶解的颗粒的涂层。
载液可包括例如一种或多种溶剂。墨中的液体可包括具有相对低的蒸气压力的一种或多种溶剂。替代地或附加地，墨中的液体可包括具有相对高的蒸气压力的一种或多种溶剂。该一种或多种溶剂可具有蒸气压力使得在运送和沉积工艺过程中溶剂大致蒸发且载液中的多个颗粒作为固体颗粒沉积。因此，所沉积的多个固体颗粒可构成基底上的膜。
墨中液体的蒸发可通过加热排放喷嘴而促进或加速。所蒸发的液体可例如通过使气体在一个或多个排放喷嘴面上方流过而从腔室去除并随后收集(未示出)。取决于所想要的应用，微孔160可设置具有几纳米到几百微米的最小线性横截面距离W的管道(或通道)。取决于所想要的应用，包括排放喷嘴180的多微孔区域将采用不同形状并覆盖不同区域(例如矩形、L形、三角形、V形等)，其中典型的最大线性横截面尺寸DL的范围从几百纳米到数十或数百毫米。在一个实施例中，W/D之比在大约1/5至大约1/1000的范围内。
在图1A的示例性装置中，排放喷嘴180通过喷嘴加热器150激活。喷嘴加热器150定位成靠近排放喷嘴180。喷嘴加热器150可包括薄金属膜。薄金属膜可例如包括铂。当激活时，喷嘴加热器150向排放喷嘴180提供脉动热能，这用于移去容纳在微孔或管道160内的材料，该材料可大致从排放喷嘴流出。在一个实施例中，脉动可在一分钟或更少的时标上变化。
喷嘴加热器150可适于将排放喷嘴180内的材料加热到所想要的温度或跨越指定范围的温度。例如，在各实施例中，喷嘴加热器150将在排放喷嘴180内的材料加热到从大约75摄氏度到大约500摄氏度的范围内的一个或多个温度。在一些实施例中，喷嘴加热器150将在排放喷嘴180内的材料加热到从大约100摄氏度到大约400摄氏度的范围内的温度。
移去墨颗粒可包括蒸发，或者通过升华、或者通过熔化和随后的沸腾。在一个实施例中，排放喷嘴180内的材料(例如载液内的墨颗粒)初始被加热到约100摄氏度以使载液蒸发。然后剩余的固体(例如无溶剂或大致无溶剂的墨颗粒)被加热到约300摄氏度，使得它们变成气体。此后，该气体可沉积到基底上，该气体在基底上固化。由此可形成一个或多个膜。
应再次注意，通常使用术语颗粒，且术语颗粒包括例如来自单分子或原子到分子或原子簇、以及前述的组合中的任何一种。通常，可采用联接到排放喷嘴的任何合适的能量源，该能量源能够向排放喷嘴180供能并由此将材料从微孔160排放；例如，机械能(例如振动)。在根据本教导的一个实施例中，使用压电材料作为喷嘴加热器150的替换或补充。
如上所述，在图1A所示装置中，存在多个孔口170，每个孔口适于与腔室130流体连通。孔口的数量可变化，且对于特定装置来说选择的数量可根据各种因素确定，诸如在下面进一步描述的那些因素。简言之，孔口的数量可例如基于由微孔160限定的阵列的尺寸和/或形状(例如矩形、L形、三角形、V形等)和从孔口喷射的液态墨的墨滴的尺寸(在该上下文中术语“尺寸”指在排放喷嘴的入口表面上降落和散布之后一个或多个墨滴的平均直径)来选择。
图1B是根据各实施例的排放喷嘴180的示意图，该排放喷嘴180作为用于在基底上沉积膜的装置的一部分。在图1B中，排放喷嘴加热器150包括在硅壳体140上的薄铂膜。在排放喷嘴180的中央还示出排放喷嘴微孔160。在所示实施例中，微孔160限定规则的矩形阵列，其中标示为“DL”的尺寸是阵列的长尺寸而标示为“DS”的尺寸是阵列的短尺寸。另外参考图1A，孔口170限定直线，而微孔160限定大致平面的矩形阵列。由孔口170限定的直线布置成大致平行于矩形阵列的长尺寸“DL”。
如上所示，本教导在此处可在美国专利申请US2008/0311307A1(此处为′307公开)中所教导的装置和方法中实施和/或实现，该美国专利申请整个通过引用明确并入此处。
如此处所述，′307公开的打印头装置的各实施例可构造成每个用于保持液态墨的腔室具有多个(例如2、3、4、5、6或更多个)孔口。因此，当激活时，可从腔室喷射多个墨滴。此外，激活装置(例如诸如热能和/或机械能的能量源)可构造成使得大致同时喷射多个墨滴(例如对于具有三个互相连通的孔口的腔室来说是三个墨滴)。此外，激活装置可构造成使得从每个孔口连续地喷射多个墨滴。
其中可能想要每个用于保持液态墨的腔室采用多个孔口的打印头的各构造包括如下构造，其中关联的排放喷嘴包括以靠近喷墨件的阵列布置的多个微孔，且(i)微孔阵列的面积和/或(ii)微孔阵列的至少一个线性尺寸大于(例如1.5倍、3倍、5倍、10倍、20倍或更多)从喷墨件喷射的墨滴的尺寸(例如参考在排放喷嘴的入口表面上撞击和散布之后墨滴的平均直径)。例如，在矩形微孔阵列的情况下，仅使用包括仅具有用于从腔室喷射墨的单个孔口的墨保持腔室的单个喷墨件，可能要求连续喷射多个墨滴以用液态墨润湿整个矩形阵列。然而，在一些这种单孔口喷墨件构造中，可能难以、不可能或实践上不可行地来润湿整个阵列，即使在微孔阵列处连续喷射多个墨滴。
在本教导的一些实施例中，布置两个或更多个(例如三个)孔口以与液体保持腔室流体连通，且排放喷嘴的微孔阵列限定具有长尺寸和短尺寸的矩形。此外，由孔口限定的直线平行于矩形阵列的长轴线地布置。在其它实施例中，布置两个或更多个(例如三个)孔口以与腔室流体连通，且微孔阵列形成非矩形阵列，诸如(尤其)具有V形或三角形形状的阵列。此外，三个孔口可布置成实现在从腔室喷射的多个(例如三个一组)墨滴撞击和散布在微孔阵列上之后液态墨在微孔阵列的入口上的最佳(例如最大)覆盖。
因而，与单孔口喷墨的液态墨分配器相反，本教导的实施例可包括三孔口喷墨的液态墨分配器。喷墨件的孔口可邻近(例如在上方)排放喷嘴地排列。三孔口喷墨件可同时发射三滴(即从三个端口中的每一个一滴)，该墨滴向前移动、降落并散布在排放喷嘴上。
现参考图2A和图2B，其中与结合图1A和图1B所示和所述的元件相同或大致类似的元件以相同的附图标记标示。图2A和图2B示意性示出用于沉积材料的装置，其中图2A描绘了′307申请的教导内的实施例而图2B描绘了根据本公开的教导的实施例。更具体地，图2A提供热喷射打印头的选择部件的示意图，包括保持液态墨101的腔室130并具有与腔室130流体连通的单孔口170，液态墨101包括在载液中的颗粒。还示出以与腔室130间隔开的关系布置的排放喷嘴180，其中排放喷嘴180包括在由160处的虚线矩形标示的区域中的微孔阵列。在200处示出已经从腔室130连续朝向微孔阵列160喷射的三个墨滴。三个墨滴中的每个墨滴被描绘在沿腔室130和微孔阵列160上的共同目标位置之间的大致线性输送路径的相应位置处。
图2B提供根据本公开的教导的热喷射打印头的选择部件的示例性实施例的示意图，其中包括保持液态墨101的腔室130并具有与腔室130流体连通的三个孔口(主要以附图标记170标示)，液态墨101包括在载液中的颗粒。还示出以与腔室130间隔开的关系布置的排放喷嘴180，其中排放喷嘴180包括在由160处的虚线矩形标示的区域中的微孔阵列。在202、204、和206处示出已经从腔室130朝向微孔阵列160连续喷射(例如以上面参考图1A所述的方式)的三组三个一组的墨滴。三个一组的墨滴中的每组墨滴中的每一个墨滴被描绘在沿腔室130和微孔阵列160上相应目标位置之间的大致线性输送路径的相应位置处。因而，三孔口中的每一个孔口经由相应的输送路径将从其喷射的墨滴引导到微孔阵列上的唯一的目标位置。
图3A是示意性地描绘了能够从图2A的打印头(即单腔室、一次喷射单个墨滴的单孔口喷墨件)的使用而获得的结果的俯视图。如前面所讨论的，当由微孔阵列(诸如图3A所示排放喷嘴180的微孔160的矩形阵列)所限定的区域的至少一个线性尺寸大于墨滴的直径时，从喷墨件的单孔口腔室朝向阵列上的共同位置喷射一个或多个墨滴会得到不足够的结果，因为墨滴在撞击后可能无法散布在阵列的大部分区域上并将其润湿。在实践中，使用图2A的打印头时，在任何合适的喷射力和本体力(诸如重力)的影响下，单个墨滴可被分配并移动穿过空间，然后降落且润湿排放喷嘴的阵列的一子组微孔。如所示的，每个墨滴将首先润湿其目标区域的中心并然后在向外散布时继续润湿更大区域：首先是区域305a、其次是区域305b、以及最后且最大地是区域305c。甚至对应于305c的区域覆盖了少于一半的微孔区域，并且在很多应用中，该覆盖量是不足够的。
然而，根据本教导，当使用多个孔口(例如三个)同时从喷墨件的液体保持腔室喷射多个液态墨滴时，例如使用图2B的三孔口打印头，将更均匀地润湿矩形阵列，如图3B所示。具体来说，每个墨滴在其在微孔阵列上的相应目标位置处撞击时散布开，其中每个墨滴的径向远端部分与来自其相邻墨滴的液态墨聚结。三个撞击点可选择成在墨滴的撞击之后使得液态墨对微孔阵列的覆盖最大。因此，微孔阵列的更大部分将接收墨。
图3C是示意性描绘在由喷墨件喷射的三个一组的墨滴的撞击之后散布在V形阵列的微孔的入口上的液态墨的俯视图，所述喷墨件适于同时喷射呈V形形状的三个一组的墨滴。
通过引用整体明确并入的此处的美国申请US2008/0311307 A1的特定附加方面可与本公开的教导结合采用。例如，′307申请中描述的无溶剂材料的沉积工艺的方面可用在此处；例如与根据本教导的具有多孔口喷墨件的打印头一起使用。此外，例如，本教导的多个打印头可布置在具有多个排放喷嘴的装置中，每个具有相应的多孔口喷墨件。此外，例如，一个或多个储液器可将液态墨供应到本教导的打印头装置的腔室。在此处构思的一些实施例中，本教导的打印头布置在一起，其中多个储液器将墨供应到一个或多个关联的液体保持腔室。在各实施例中，意图接纳液态墨的目标微孔阵列由保持壁限定，所述保持壁形成限制井以机械地限制墨和/或供应到微孔的入口的其它材料。根据各实施例，采用定位系统以调节打印头或打印头阵列的位置。作为补充或替代，可采用基底定位系统。在一些实施例中，微孔的侧壁可具有限定的非柱形几何形状，例如它们可以是锥形的使得每个微孔的直径沿从入口端到出口端的方向增大。在此处的各实施例中，可设置控制系统以控制具有多孔口液体保持腔室和排放喷嘴的打印头。′307公开的适于与本公开的教导结合使用的其它方面可由本领域的技术人员选择和实施。
如前面所讨论的，根据本教导，在打印头装置的一些构造中，可例如大致同时地利用来自多个关联的墨保持腔室的与阵列对准的孔口将多个墨滴沉积到单个目标微孔阵列上。在打印头装置的各实施例(未示出)中，例如，与单个目标微孔阵列关联的多个腔室中的每个腔室包括用于将液态墨滴输送到目标微孔阵列的一个或多个孔口。在一些这种实施例中，多个腔室中的每个腔室仅包括用于输送液态墨滴的单个孔口。例如，在一些实施例(未示出)中，可例如大致同时从三个不同的孔口-腔室对(即，三个分开的腔室中的每个腔室仅构造有用于喷射液态墨滴的单个孔口，根据需要以连续方式喷射)输送三个墨滴以实现与当使用诸如此处教导的具有设置在单个墨保持腔室内的三个孔口的打印头装置时相同的结果。在一个实施例(未示出)中，例如，三个分开的腔室彼此相邻地例如并排地布置。三个腔室例如可构造在共同的壳体内、分开的壳体(其可彼此相邻地附连或安装)内、或其组合内。三个腔室中的每个腔室保持待沉积到单个关联的目标微孔阵列(例如矩形微孔阵列)上的液态墨(其可以是相同的墨或不同的墨)。在该实施例中，三个腔室中的每个腔室仅包括用于将液态墨滴输送到腔室的单个孔口。相应的墨滴可沿其引导的三个输送路径由从每个孔口延伸到在单个目标微孔阵列上的相应的间隔开位置的相应线限定。
根据本教导，在各实施例中，优选的是将多个墨滴沉积到目标微孔阵列上使得墨滴溢出由阵列限定的区域。一些这种实施例包括例如如下的构造，其中微孔阵列包括不同长度的至少两个尺寸(例如第一线性尺寸和第二线性尺寸，其可互相垂直，且第一尺寸长于第二尺寸)，且微孔阵列的最长线性尺寸大于墨滴的直径(例如在排放喷嘴的入口表面上撞击和散布之后所测量的平均直径)，而微孔阵列的最短线性尺寸小于墨滴的直径。例如在一些实施例中并另外参考图4，本教导的打印头装置可包括矩形微孔阵列，以附图标记160标示，其中阵列的长尺寸DL大于沉积在该阵列上的墨滴305的直径d1，而阵列的短尺寸DS小于墨滴305的直径d1。这种构造是有益的，例如，因为微孔在液态墨内吸取(由于毛细管作用)，且可通过完全覆盖阵列以及阵列周围区域(例如外切)的所述墨滴线实现非常均匀的填充。因而，本教导包括这样的构造和/或应用，其中墨滴直径大于阵列的至少一个线性尺寸；但不必大于阵列的每个线性尺寸。
本教导的各实施例构思了从喷墨件喷射的不同尺寸的墨滴的使用，作为便于有效填充给定的微孔阵列区域的方法。现参考图5，在微孔的一些阵列构造，诸如由微孔160限定的阵列的情况下，优选的是采用构造成喷射多于一个尺寸的墨滴的喷墨件(例如一个孔口可喷射第一尺寸的墨滴，而两个孔口可喷射第二尺寸的墨滴；其中第二尺寸小于第一尺寸)。例如，在图5中，三个墨滴在大致沿一条线的相应位置处沉积到排放喷嘴180的微孔160阵列上，其中以附图标记305e标示的两个外或最末端墨滴具有直径d2，该直径小于标示为305m的中间或中央墨滴的直径d1。
如由此处所描述的实施例所示例的，本教导的各方面促进对排放喷嘴的目标微孔阵列的入口的有效率的且有效果的润湿，以及因此的将液态墨放入微孔中的放置。根据各实施例，至少百分之五十、至少百分之六十、至少百分之七十、至少百分之八十、至少百分之九十、和/或大致所有的目标阵列微孔接纳液态墨。
在各实施例中，根据本公开的排放装置可用于将诸如墨的一种或多种材料以大致固体的形式沉积在一个或多个基底上。在其中墨被沉积的各实施例中，墨可包括例如具有初始悬浮或溶解在载液中的颗粒的形式的待沉积到基底上的材料。载液可例如是诸如丙酮、三氯甲烷、异丙醇、氯苯、以及甲苯的有机物，或诸如水的含水物。载液还可是上面指定的材料的混合物。待沉积在基底上的一个或多个组分可以是有机分子化合物，例如并五苯、三(8-羟基喹啉)铝(AlQ3)、N，N′-二苯基-N，N′-二(3-甲基苯基)-(1，1′-联苯)-4，4′-二胺(TPD)、浴铜灵(BCP)、或三(2-苯基吡啶)合铱(Irppy)。待沉积在基底上的一种或多种材料还可以是聚合物。待沉积在基底上的一种或多种材料可以是无机物，诸如半导体或绝缘体或导体。一种或多种沉积材料可以是电子注入材料。一种或多种沉积材料可以是电子输运材料。一种或多种沉积材料可以是发光材料。一种或多种沉积材料可以是空穴传输材料(holetransport material)。一种或多种沉积材料可以是空穴喷射材料(holeinjecting material)。一种或多种沉积材料可以是激子阻挡材料(excitonblocking material)。一种或多种沉积材料可以是吸光材料。一种或多种沉积材料可以是化学感测材料。沉积材料例如可以用作例如在OLED、晶体管、光电检测器、太阳能电池、以及化学传感器中的导体、发光器、光吸收器、电荷阻挡器(charge blocker)、激子阻挡器(excitonblockers)、以及绝缘体。
墨的特性可限定在沉积膜时的重要因素。墨的一个重要性能标准可以是墨材料从腔室到排放喷嘴中的有效、可靠且均匀的加载。有关性能标准包括墨的下述能力：(1)润湿一个或多个排放喷嘴表面；(2)被快速地吸入排放喷嘴孔中；以及(3)在排放喷嘴的包含排放喷嘴孔的区域上快速地散布。墨的另一重要性能标准是将所需质量的材料一致地输送入排放喷嘴，从而每当排放喷嘴排放其材料时连续地沉积所需量的材料。墨可以被调节使得墨可靠地从腔室孔以一致的墨体积输送到排放喷嘴。对于目标墨，这些调节可通过设计墨液的物理和化学特性以及在墨中溶解或悬浮的材料来实现。这些特性包括但不限于：粘性、触变性、沸点、材料可溶性、表面能、以及蒸气压力。
在一个实施例中，根据所公开的实施例的排放装置可用于将金属材料沉积在基底上。所沉积的金属材料可以以大致固态形式沉积。所沉积材料可包括通过使用溶解或悬浮在溶剂中的有机金属前体材料或使用溶解或悬浮在溶剂中的金属而形成的金属。溶解或悬浮在溶剂中的金属可至少部分地包括纳米颗粒，其可涂覆有有机化合物。金属可例如是金、银、铝、镁、或铜。金属可以是合金或多种金属的混合物。这种金属材料在很多应用中是有用的，例如，作为电子电路元件之间的电互连件、薄膜电极、以及被动吸收性的或反光性的图案。通过排放装置沉积的金属膜可用于沉积用在包括诸如OLED、晶体管、光电检测器、太阳能电池、以及化学传感器的有机电子器件的电路中的电极和电互连件。有机金属材料或金属材料可被输送到排放喷嘴，且在激活排放喷嘴时可被输送到基底。将有机金属材料转换成金属材料的反应可在下述时间实施或发生：在将液体从腔室输送到排放喷嘴之前和/或其过程中、从排放喷嘴输送到基底的过程中、或在沉积在基底上之后。根据各实施例，当从排放喷嘴输送金属材料到基底时，使用纳米颗粒是有利的，因为这可减少从微孔移去金属所需的能量。使用排放装置在基底上沉积的金属具有有效地使用材料和采用可不损坏金属膜沉积其上的材料(包括位于下方的基底和任何其它沉积层)的沉积技术的优点。
在另一实施例中，排放装置用于以大致固态形式在基底上沉积无机半导体或绝缘体材料。沉积材料可包括利用溶解或悬浮在载液中的有机和无机前体材料或者溶解或悬浮在载液中的无机半导体或绝缘体的合成物。溶解或悬浮在液体中的无机半导体或绝缘体可以包括(全部或部分地)纳米颗粒，其可涂覆有有机化合物。无机半导体或绝缘体可以是例如IV族半导体(例如碳、硅、锗)、III-V族化合物半导体(例如氮化镓、磷化铟、砷化镓)、II-VI化合物半导体(例如，硒化镉、硒化锌、硫化镉、蹄化汞)、无机氧化物(例如，氧化铟锡、氧化铝、氧化钛、氧化硅)、以及其它硫属化合物。无机半导体或绝缘体可以是合金或多种无机化合物的混合物。半导体或绝缘体材料能够在很多应用中是有用的，例如，作为用于电子电路元件之间的电互连件和电极的透明导体、绝缘和钝化层，以及作为电子和光电器件中的有源层。当集成在一起时，这些层可用在包括诸如OLED、晶体管、光电检测器、太阳能电池、以及化学传感器的有机电子器件的电路中。
在另一实施例中，前体或无机半导体或绝缘材料可被输送到排放喷嘴，且在激活排放喷嘴时可被输送到基底。将前体材料转换成所需的无机半导体或绝缘体材料的反应可在下述时间实施：在将液体从腔室输送到排放喷嘴之前和/或其过程中、从排放喷嘴输送到基底的过程中、或在沉积在基底上之后。当从排放喷嘴输送无机半导体或绝缘体材料到基底时，根据各实施例，能够有利的是使用纳米颗粒用于减少从微孔移去材料所需的能量。利用排放装置在基底上沉积的无机半导体或绝缘体材料具有有效地利用材料和采用可不损坏膜沉积在其上的材料(包括位于下方的基底和任何其它沉积层)的沉积技术的优点。
虽然就此处所示和所述的各示例性实施例说明了本教导的原理，但本教导的原理不限于此而包括其任何修改、替换、变型和/或其等同物。

Claims (23)

1.一种用于将一种或多种材料沉积在一个或多个基底上的装置，所述装置包括：
用于容纳墨的腔室；
排放喷嘴，所述排放喷嘴以与所述腔室间隔开的关系布置，并且所述排放喷嘴包括多个微孔，每个微孔包括限定入口端口的第一端区域和限定出口端口的第二端区域，所述第一端区域面对所述腔室；以及
与所述腔室流体连通的多个孔口，所述孔口适于将墨滴从所述腔室沿分开的相应输送路径计量供给到在所述排放喷嘴的所述入口端口上的相应的间隔开的位置；
其中所述腔室容纳呈液态形式的墨，所述墨由溶解或悬浮在载液中的多个大致固态的颗粒限定，并且墨滴被从所述腔室穿过所述孔口脉动地计量供给到所述排放喷嘴；并且
所述排放喷嘴使所述载液蒸发，并将所述大致固态的颗粒沉积在所述基底上。
2.如权利要求1所述的装置，还包括：靠近每个孔口的激励器，所述激励器提供用于将相应的墨滴从所述腔室内穿过每个孔口喷射的脉动能量。
3.如权利要求2所述的装置，其中所述激励器适于大致同时地提供所述脉动能量，由此大致同时喷射所述相应的墨滴。
4.如权利要求1所述的装置，其中所述多个孔口包括第一孔口、第二孔口和第三孔口。
5.如权利要求4所述的装置，其中(i)所述多个微孔的所述入口端口限定大致矩形的阵列，所述大致矩形的阵列包括长轴线和短轴线，并且(ii)所述第一孔口、所述第二孔口和所述第三孔口限定一条直线，其中所述直线大致平行于所述长轴线地布置；并且此外，其中所计量供给的墨滴中的至少一个墨滴的直径小于所述轴线中的至少一个。
6.如权利要求4所述的装置，其中(i)所述多个微孔的所述入口端口限定大致平面的阵列，所述大致平面的阵列具有非矩形形状，并且(ii)由(a)所述第一孔口和所述第二孔口限定的相应线段以及由(b)所述第二孔口和所述第三孔口限定的相应线段一起限定大致类似于所述非矩形形状的形状；并且此外，其中所述非矩形形状的沿所述非矩形形状的平面的至少一个尺寸大于所计量供给的墨滴中的至少一个墨滴的直径。
7.如权利要求6所述的装置，其中(i)所述大致平面的阵列具有V形形状，并且(ii)由(a)所述第一孔口和所述第二孔口限定的相应线段以及由(b)所述第二孔口和所述第三孔口限定的相应线段一起限定V形形状。
8.如权利要求1所述的装置，其中所述孔口中的至少一个孔口构造成喷射第一尺寸的墨滴，并且所述孔口中的至少一个另外的孔口构造成喷射第二尺寸的墨滴；其中所述第一尺寸大于所述第二尺寸。
9.一种用于将一种或多种材料沉积在一个或多个基底上的方法，所述方法包括：
(a)向腔室提供液态墨，所述液态墨由溶解或悬浮在载液中的多个颗粒限定；
(b)向至少两个间隔开的孔口脉动地提供能量，以大致同时地从每个孔口计量供给来自所述腔室的液态墨滴，所述至少两个间隔开的孔口中的每个孔口与所述腔室流体连通地布置；
(c)将所计量供给的墨滴沿分开的相应输送路径大致同时地传送到在排放喷嘴上的相应的间隔开的位置；
(d)在所述排放喷嘴处接纳所计量供给的墨滴，所述排放喷嘴包括用于引导所计量供给的墨滴的多个微孔；
(e)在所述多个微孔处加热所述墨以使所述载液蒸发，由此致使所述多个颗粒大致不含载液；以及
(f)将所述多个颗粒从所述微孔排放到所述基底上；
由此所述多个颗粒以大致固态形式沉积在所述基底上。
10.如权利要求9所述的方法，其中所述孔口中的至少一个孔口喷射第一尺寸的墨滴，并且所述孔口中的另一个孔口喷射第二尺寸的墨滴；其中所述第一尺寸大于所述第二尺寸。
11.如权利要求9所述的方法，其中步骤(b)包括向第一、第二、以及第三间隔开的孔口脉动地提供能量以大致同时地计量供给三个一组的墨滴，所述第一、第二、以及第三间隔开的孔口中的每个孔口与所述腔室流体连通地布置；并且此外，其中连续地计量供给多个三个一组的墨滴。
12.如权利要求9所述的方法，其中在所述排放喷嘴处接纳所计量供给的墨滴的步骤还包括：将多个入口处的所计量供给的墨滴接纳到所述微孔，以及将所计量供给的墨滴穿过所述入口运送到相应的微孔中。
13.如权利要求12所述的方法，其中给定数量的所述多个入口规则地间隔开而形成大致平面阵列，且所述阵列的沿所述阵列的平面的至少一个尺寸大于所计量供给的墨滴中的一个墨滴的直径；并且其中所计量供给的墨滴沿所述阵列在相应的间隔开的位置处沉积，使得所述将所计量供给的墨滴穿过所述入口运送的步骤导致与所述给定数量的入口对应的所述微孔中的至少百分之五十的微孔接纳微体积液态墨。
14.如权利要求13所述的方法，其中与所述给定数量的入口对应的所述微孔中的至少百分之八十的微孔接纳微体积液态墨。
15.如权利要求9所述的方法，其中步骤(b)包括向第一、第二、以及第三间隔开的孔口脉动地提供能量以大致同时地从每个孔口计量供给来自所述腔室的液态墨滴，所述第一、第二、以及第三间隔开的孔口中的每个孔口与所述腔室流体连通地布置，并且步骤(c)包括沿分开的相应输送路径将所述三个墨滴大致同时地传送到在排放喷嘴上的相应的间隔开的位置。
16.如权利要求15所述的方法，其中(i)所述多个微孔限定矩形阵列，所述矩形阵列包括长轴线和短轴线，并且(ii)所述第一孔口、所述第二孔口和所述第三孔口限定一条直线，其中所述直线大致平行于所述长轴线地布置；并且此外，其中所计量供给的墨滴中的至少一个墨滴的直径小于所述轴线中的至少一个。
17.如权利要求15所述的方法，其中(i)所述多个微孔限定具有非矩形形状的阵列，并且(ii)由(a)所述第一孔口和所述第二孔口限定的相应线段以及由(b)所述第二孔口和所述第三孔口限定的相应线段一起限定大致类似于所述非矩形形状的形状；并且此外，其中所述阵列具有表面区域，所述表面区域的大体上与所述输送路径垂直的至少一个尺寸比所计量供给的墨滴中的一个墨滴的直径大。
18.一种用于将一种或多种材料沉积在一个或多个基底上的方法，所述方法包括：
将指定体积的液态墨保持在保持区域中，所述液态墨包括溶解或悬浮在载液中的多个颗粒；
将能量输送到所述保持区域，由此沿所述保持区域从至少两个间隔开的位置大致同时喷射多个液态墨滴，使得每个墨滴沿相应的输送路径传送到沿与所述保持区域相邻的平面的唯一位置；
将所喷射的墨滴中的每个墨滴细分成多个微体积的液态墨，每个微体积的液态墨布置在紧邻所述平面的相应微保持区域中；
将所述微保持区域加热到第一温度，使得所述载液蒸发，由此在所述微保持区域中提供大致不含载液的固态颗粒；
进一步将所述微保持区域加热到第二温度，使得在所述微保持区域中的所述固态颗粒气化成气体；以及
将所述气体引导出所述微保持区域并引导到与所述微保持区域相邻的基底上，所述气体固化在所述基底上。
19.如权利要求18所述的方法，其中在将能量输送到所述保持区域时，三个液态墨滴大致同时从所述保持区域喷射，然后大致同时沿相应的输送路径传送到沿所述平面的三个唯一的位置。
20.如权利要求19所述的方法，其中给定数量的规则间隔开的微保持区域限定阵列，其中所述三个墨滴沿所述阵列在相应的间隔开的位置处沉积，使得所述细分步骤导致所述阵列的所述给定数量的微保持区域的至少百分之八十接纳微体积液态墨；并且此外，其中所述阵列限定大致平面的表面区域，所述大致平面的表面区域的大体上与所述输送路径垂直的至少一个尺寸比所喷射的墨滴中的一个墨滴的直径大。
21.如权利要求20所述的方法，其中所述大致平面的表面区域的大体上与所述输送路径垂直的至少第二尺寸比所喷射的墨滴中的一个墨滴的直径小。
22.如权利要求18所述的方法，其中从所述至少两个间隔开的位置中的一个位置喷射的墨滴是第一尺寸的，并且从所述至少两个间隔开的位置中的另一个位置喷射的墨滴是第二尺寸的；其中所述第一尺寸大于所述第二尺寸。
23.如权利要求19所述的方法，其中所述至少两个间隔开的位置中的至少一个位置是与第一腔室流体连通的第一孔口，而所述至少两个间隔开的位置中的至少一个另外的位置是与第二腔室流体连通的第二孔口。
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